MEMS表面微工艺技术.【摘要】:在介绍了北大微电子所开发的两层多晶硅表面微工艺和源于加州Berkely传感器与执行器研究中心的三层多晶硅表面微工艺的基础上,介绍了美国Sandia国家实验室开发的五层MEMS表面微工艺的主要技术特点。.给出了...
科学家提出非平面基底表面微新方法.近日,中国科学院大连化学物理研究所副研究员陆瑶团队与复旦大学教授张炜佳团队合作,在非平面基底...
圆柱表面微结构超精密关键技术研究.【摘要】:具有各种形式微结构的光学薄膜在液晶显示、LED照明、光学仪器等领域应用广泛,市场需求巨大。.辊子是微结构光学薄膜模压制造的核心零件。.在辊子上出高质量的光学微结构,如微球面阵列、菲涅尔...
相较于现有的微方法,蚊子叮咬产生结构的方式快速且灵活。.究其根本原因是由于人体为了维持内部稳态结构而导致体液迁移、聚集在叮咬部位,从而产生结构。.借鉴上述过程,浙江大学赵骞教授团队提出了一种基于液体迁移的新型微策略。.图1...
论文级别:硕士博士学科专业:材料工程论文题目:铝合金表面微弧氧化工艺的研究作者签名:指导教师签名:作者联系地址(邮编):吉林大学南岭校区材料科学与工程学院130025作者联系电话:0431-85095862本研究以6060型铝合金为基体材料,在
2005年,第一代激光微样机问世;2012年,“高效节能低摩擦内燃机零部件表面激光微织构关键技术的研发与产业化”项目获批国家重大科技成果转化项目;2016年,激光微设备更新升级至第五代,已实现对关键零部件表面进行激光微织构处理。
表面微不同于体,它不对基片本身进行。在基片上有淀积的薄膜,它们被有选择地保留或去除以形成所需的图形。表面微的主要工艺是湿法刻蚀、干法刻蚀和薄膜淀积。薄膜为微器件提供敏感元件、电接触、结构层、掩膜层和牺牲层。
镁合金表面微弧氧化工艺的研究-材料工程专业毕业论文.docx,V621255V621255兰州理工大学硕士学位论文摘要摘要本论文在分析大量国内外文献的基础上,对微弧氧化技术研究现状、应用前景和应用领域进行了综述,并对微弧氧化技术所涉及的理论基础知识讲行了概括。
1微小型机械零件的类别根据微小型机械零件的几何特征,微小型机械零件主要包括微小型轴类零件,微小型三维结构零件,微小型平板类零件及微小型齿轮类零件[1]。各类型微小型零件被广泛应用在不同的场合中。1.1
飞秒激光在金属表面微的研究.【摘要】:本文主要对飞秒激光应用于金属表面微的理论基础与实验进行了研究。.其中包括飞秒激光与金属间相互作用的过程和机理。.具体讨论了飞秒激光能量在不锈钢试件表面上的沉积,激光烧蚀的过程,热作用区域的...