那个，我也是从网上找的，字数有点多，可能不大合适呢 关于高中生怎样集中注意力研究的文献综述摘要：本文正文中综述了围绕高中生集中注意力所进行的研究结果。第一部分中阐述了集中注意力的定义，第二部分阐明了其在我们的学习和生活中的作用，第三部分分析了学习注意力分散的原因，第四部分则指出了高中生如何集中注意力。在小结中，我写了如下三个方面的内容：我根据此次文献综述而得出的培养自己集中注意力的方法、此次在做文献综述过程的收获、此次作业中留下的遗憾。 引言：我在以往的学习中，没有注意到集中注意力的重要性，所以在学习中注意力不集中，以至于浪费了不少有用的时间。所以此次文献综述作业，我选择了关于高中生集中注意力的方法研究的题目，并为此查阅了不少资料，希望对自己集中注意力的培养带来一定的帮助。 关键词：集中 注意力 培养 正文：一、良好注意力的定义注意力是指人的心理活动指向和集中于某一事物的能力。判断注意力优劣主要看注意的广度、稳定性、转移和分配。其中最重要的是注意的稳定性，注意的稳定性是指注意保持在某一对象或某一活动上的时间久暂。注意总是伴随着人的全部心理活动，一旦注意中止，心理过程将偏离目标，甚至终止。外界的一切信息，只有在注意的监控下才能进人人的大脑，离开了注意，就不能正确、清晰、全面的感知事物、记忆事物，就不能深刻、全面的思考事物。因而注意是学生认识事物必不可少的心理条件，是提高学生综合素质的基本条件，在学生的智力活动中起着极其重要的作用[1]。 二、良好注意力的作用进入高中阶段的学生，智力因素对于他们正常地发展、稳步地进入史高一级学校去受教育固然很重要，但是非智力因素的影响，也是不容忽视的，比如牡意”的问题。学生注意的稳定性与学习效果有着密切的关系。1、有意注意和无意注意是学生接受知识的关键因素 无意注意是没有预定目的，也不需要做意志努力的注意。有意注意是有预定目的，在必要时还需要作一定意志努力的注意。而有意注意稳定性”是指通过意志努力，把注意有目的地集中Jl二保持在某一事物或行为上能否持久的心理素质，是一种非智力因素。 有意和无意注意是教学过程中，学生接受知识的2个基木环连点和必不可少的因素，对这2个环连点和重要因素的准确把握，既是教师有效控制课堂教学的关键，史是教师了解学生学习状况和提高教学质量的重要手段。2、扩展无意注意，加深有意注意，发挥两方而优势 如果说，一般的课堂教学对学生有意和无意注意的科学调节不是一件容易的事，那么，生物课对学生有意和无意注意的调节控制就史不容易了。这是因为，第一，学生对生物学相关知识的感性认识不足，很多知识涉及微观世界，在宏观世界里见不到;第一，有些内容理论性、科学性强，比较枯燥;第二，学生对学习生物学的目的和意义比较模糊。[2]。三、学习注意力分散的原因引起学生课堂分心的原因是什么呢？本人经过长期的观察、分析，认为主要有以下几个方面的原因：1、教师教学方式呆板，教学内容枯燥乏味，讲话语调平淡，经常使用冗长的句子，重复已经说过的话等，这样学生就容易将注意力分散到能引起自己兴趣的对象上去，年龄越小的学生越是如此。如7岁的学生对某一对象可连续注意的时间约为15分钟左右；在组织得很好的教学活动中，3—4年级的学生连续注意某一对象的时间可达30—45分钟。所以，教师教学应尽量采用多样化的形式，语调应富于变化，有幽默感。另外，教师授课时，尽量注意新旧知识的衔接帮助学生建立良好的认知结构。2、上课前或刚上课时学生被突然发生的事件引起情绪波动，如刚上课教师就发试卷，公布考试成绩，宣布要去看电影，组织春游，批评某些学生等，都很难使学生的注意力集中到后继的课堂教学内容上。因此，切忌在课前或上课一开始就将与教学无关而又比较重要的事情告知学生。课程安排应尽量做到后继的课比先前的课有更大的吸引力。3、无关刺激达到学生无意注意的程度，学生的注意就不可能集中于教学内容。如：教师把学生从未见过的教具放在讲台上、多媒体课件画面过于艳丽、邻近教室的学生学唱优美动听的歌曲、教室外不时有陌生人走动等。所以，尽量避免和克服无关刺激对学生的干扰。比如，教室内不要有过多的装饰教室周围尽量保持安静等。4、学生同某教师发生过情感冲突，他们就会厌烦这位老师，上课时故意将注意力转移到其他活动中。因此，教师与学生应保持良好的关系，做到心理相容，只要学生意识到老师爱自己，他们就乐意接受老师所传授的知识。5、学生身体不适或前日休息不好，造成学习精力不足，就很难在课堂上集中注意力。因此，教师要使学生劳逸结合，不可给学生布置过多的作业，影响他们的睡眠。要加强学生的身体锻炼，只有身体强健，学生学习时才能保持较持久的注意。6、学生课前的活动强度过大，如刚看完电影、刚结束体育课、音乐课等，那么学生在后继的学习活动中一开始不可能注意力十分集中，因为不少学生还沉浸在原先的活动中。7、某些学生因学业成绩不佳或其他原因屡遭挫折，对学习产生厌烦情绪，又常常被老师忽视或受老师的奚落，因而很难将注意力集中到学习活动的过程中。对于这样的学生，我们要注意培养其学习的兴趣和意志品质，只有学生对所学课程感兴趣，课堂上才能保持注意力的高度集中。平时不仅要对学生加强学习目的性的教育，课堂教学前还可根据具体情况提出较明确的学习任务。可见，引起学生课堂“分心”的原因是多方面的，既有主观方面的，也有客观方面的。教师不可对学生的“分心”现象简单地以不守纪律论之，应根据不同的情况，采取有效的措施，这样才能真正提高课堂教学效率。[3]。四、如何集中注意力在实际的教学中要怎样来吸引并保持学生的注意力?我认为应当从教师与学生两方面着手。 (一)教师方面 教学过程是学生与教师的交互作甩的过程。在这一过程中，教师和学生是教或学的中心人物，在这一过程中，教师通过教学意图和策略等影响学生，即把学生置于主体地位并提供主体地位的天地。未来的学校必须把教育的对象变成自己教育自己的主体，受教育者必须成为教育自己的人:别人的教育必须成为这个人的教育。注意分散的主要因素在教师。基于此，教师在教学中应做到以下几点: 指明学生所要达到的明确的目标，学生只有知道了自己学什么或学到什么程度，才会有意识的主动参与到学习中。 发挥指导作用，激发学生学习的内在动机。在教学过程中，可通过“创设问题情境”将学生引人到一种认知矛盾的状态，使之产生特殊好奇心。让学生产生自我决定感，变要我学为我要学。让学生感受到自己有能力把学习搞好，使之产生自我效能感，利用兴趣的迁移等方法来激发内在动机。激发学生学习的兴趣。兴趣是学生学习的内驱力，是最好的老师，是求知的先导。学习的最好刺激乃是对学习材料的兴趣，困在书本里，锁在课堂内的学生，远离了丰富多彩的生活体验，好奇心与求知欲必然与日俱减，直到湮灭，学习必然成为最痛苦的事。兴趣有赖于实践中的成功。当学生运用已学知识、技能克服了生活中、学习上的种种困难，突破了一道道障碍，获取了知识，增长了技能，心里就有一种成功的喜悦，越学就越有劲，学生就会感到学习的乐趣，进而产生浓厚的兴趣，形成终身学习的志趣。这样学生的注意才能引起。根据教学目标、内容、学生的个性特点选择恰当的教学方法及教学手段。任何学科的基本原理都能够按照某种正确的方式，交给任何年龄阶段的儿童。提高教学语言艺术。教学是语词的教学，教师语言水平的高低，对吸引和集中学生注意力至关重要，一个能够动听地教学的教师，他的声音应该浸人学生的心理把知识一道带进去。要使语言达到吸引和保持学生注意的效果，须做到:语言要生动。生动的语言可以调动学生的形象思维，激发学生的认知兴趣，从而使注意集中。语言要有启发性。一方面要“启”，即教学语言要有丰富的信息，能唤起学生的思维欲望，开启学生的思维动机;另一方面要“发”，即能为学生思维留下时空上的回旋余地。语言要有逻辑性。教师表达的思想要层次清晰，环环相扣，前后连贯呼应。语言要幽默诙谐，以此来调节课堂气氛，缓解思维紧张，使大脑皮层兴奋点转移，更有利于注意的集中。语言要有感情。缺乏情感的语言就像失去绿叶衬托的红花一样黯然失色，会严重影响学生注意集中的持久性。注意非语言表达对学生注意的影响。教师进行教学时，除运用有声语言外，都自觉不自觉地运用非语言行为，如表情、眼神、体态等，它和语言表达构成相辅相成的关系，可以提高课堂教学信息的容量和准确性，增强师生间的感情交流，使学生在课堂上注意力更集中更持久。根据注意规律组织教学。教学内容应难易相间，学习任务有难有易，深浅适度，教学节奏快慢适当，教学环节有机联系，使无意注意与有意注意交融在一起，减少注意分散的机会。教师要科学分配自己的注意，不要让少数学生成为注意的中心，其他同学成为注意的边缘。这样学生的注意才能保持。8、要尽力激发学生学习动机，养成自觉学习习惯。学生要在相互干扰的环境中坚持学习，除需要教师科学安排教学过程，灵活运用教学方法，充分利用各种诱因，适时调解课堂气氛外，还应依靠学生的顽强意志和自我控制能力。这种自我控制注意方向的品质，来自对学习目的、学习兴趣以及对自己严格要求的激发，即学习动机的刺激。学生只有接受动机刺激后，才能保证自己注意的既定方向，自觉排除干扰刺激。所以，加强常规训练，感知训练，自控训练和抗干扰训练，自觉接受纪律约束和提醒培养自己控制自己的能力，则成为素质教育中培养学生学习能力的一个重要内容。[4] (二)学生方面注意力的提高关键在学生自己，学生的学习过程是一个教师、家长无法替代的过程，学生是学习的主体。在这一过程中，学生要形成具有独特个性的学习方式，自己教育自己提高注意力，基于此，学生应努力做到以下几点:在教师的指导下制定适当的学习目标，增强学习的自觉性。明确自己要达到的目标，并了解实现目标的意义和价值，使自己产生向往和追求的意向。 全程监控自己的注意力，时刻提醒和鞭策自己去完成任务，在这种自控能力和明确目标的支配下学习任务才能够完成。 自觉运用适于自己的学习策略，养成良好的学习习惯。上课时思绪要围绕教学内容转，眼看教师的动作，耳听教师的言语，口述、笔记精炼的要点。多种感官同时参与，能提高工作效率，减少注意分散的机会。 加强意志锻炼，用坚强的意志排除干扰。指导学生从日常生活中小事做起，如每天用一点时间记日记或练字或朗诵等，没有特殊情况不要间断，这样可有效的增强抗干扰的自控能力。 保持积极、乐观、稳定的情绪。情绪对学生的认知过程既有正面的促进作用也有负面的影响，积极、乐观、稳定的情绪可使学生的心理状态始终处于最佳水平，使注意得以保持，提高学习的效率。学生要学会正确对待挫折、正确地处理与环境的关系，正确地认识自己、调节自己的心态，达到心理的自由。 合理作息，科学用脑，使自己保持旺盛的精力，可以有效地防止注意力的分散。这样，学生才能高度集中注意而不分心。[5]。 评述：上文引用的文献中： 曾云华的《学生注意分散的原因及对策》中提到了良好注意力的定义。周敏《把握注意力的潜在规律提升学习的综合效果》着重阐述了为什么要形成良好的注意力。 朱四清《浅析学生课堂分心的原因及对策》着重分析了高中生注意力分散的原因。黄以兴《抗干扰与稳定注意的协奏曲》和曾云华《学生注意分散的原因及对策》，我们从中选取了两方面的内容：一是教师应完成的方式及指明学生所要达到的明确的目标，激发学生学习的内在动机，激发学生学习的兴趣，选择恰当的教学方法及教学手段，提高教学语言艺术，根据注意规律组织教学。二是学生应该选取的方式分别是在教师的指导下制定适当的学习目标，全程监控自己的注意力，自觉运用适于自己的学习策略，加强意志锻炼，保持积极、乐观、稳定的情绪,合理作息，科学用脑。 小结：通过此次文献综述作业，我们认识到了形成良好的注意力在我们现在的学习以及未来的生活中的重要作用,我们注意力分散的原因以及如何在学习过程中形成良好的注意力，在以后我们要：在教师的指导下制定适合我们的学习目标，增强学习的自觉性。 全程监控我们自己的注意力，时刻提醒和鞭策自己去完成任务。 自觉运用适合自己的学习策略。 加强体育锻炼。 保持积极、乐观、稳定的情绪。合理作息，科学用脑。课上做好笔记。这是我们第一次做文献综述， 期间遇到了不少困难。一开始，我们并不明确做文献综述的目的及意义，做出的作品欠缺条理，后来在老师的指导下，我们知道了文献综述就是将围绕着一个问题的不同文献资料中的观点整理综合，并形成自己的观点，于是我们按照“是什么、为什么、怎么做”的思路整理了不同的资料，从而形成了这篇文献综述。在这个过程中，我们对自己所研究的课题以及科学探究的基本方法均有了更深刻的认识，受益匪浅。在此对老师的指导表示衷心的感谢！参考文献：[1] 曾云华《学生注意分散的原因及对策》《涪陵师范学院学报》2003 年第10期[2] 周敏《把握注意力的潜在规律提升学习的综合效果》 《中学生物》 2007 年第04期[3] 朱四清《浅析学生课堂分心的原因及对策》《教学与管理》2002
还是很简单的吧，只要罗列一下前人的研究成果，在期刊网上下载一些核心期刊的经典论文就好。综述是不要求一定要有自己的想法的。况且某种程度上自己的筛选过程就代表了自己的观点~
专科本科论文；具体是什么要求；论文什么时间需要，具体要求都说下；资料有很多，可以发给你参考下。
你有清华的同学吗？可以问他让他帮你找一下，或者去清华的百度贴吧里求帮助，肯定会有人有这些资料的。现在很多人都在玩贴吧，哪里寻求帮助还行。另外你也可以在每年六月左右去参加清华的物品交流会，都是大四的学生买旧资料。肯定有你想要的。
论文都是一个套路，按顺序写就好：1，目录、摘要等等，总结性篇章。2，对研究的课题进行资料总结，一般总结古今中外研究，分国内国外两个小章节。3，简要描述研究课题的现状，找出问题。4，对解决问题提出几个可行的假设，假设要有理论基础。5，研究假设的具体可行性，说明预期效果。6，总结成果，展望未来······随时找老师修改，避免写完后还要大改！
中国现当代文学是青岛大学最早设立的学科之一。现设有中国现当代文学史研究、中国现当代作家作品研究、中国现代文学批评研究、中国现当代文学与文化传播四个研究方向。本学科现有教师16人，其中教授9人，具有博士学位者8人。2 人享受国务院政府特殊津贴，1 人入选全国“千百万人才工程”，3人获省、市专业技术拔尖人才称号。学科带头人姜振昌1999 年被遴选为博士研究生导师，同年获山东省专业技术拔尖人才称号并享受国务院政府特殊津贴，2006 年被山东省人民政府授予有突出贡献中青年专家称号。先后10次独立获得省部级社科优秀成果奖，其中一等奖3 项。已独立招收5 届博士研究生。在科研与教学上已接近全国先进水平。五年来本学科成员共承担国家社科规划课题6 项，省部级研究课题8 项，其中2006 年立项的“ 东亚文学与文化研究 ”是山东省“十一五”人文社会科学唯一与文学相关的强化建设项目。获得全国高校人文社科奖2 项，省部级奖12 项，其中山东省社科优秀成果一等奖3项，山东省教学优秀成果一等奖1项。发表论文300 余篇，其中发表在国家权威刊物上的20余篇。出版学术著作 23 部。与北京鲁迅博物馆合作办学，共谋发展，形成了国内特色鲜明又有实力的联合体。由青岛大学和北京鲁迅博物馆共建的“ 鲁迅研究中心 ”2002 年在青岛大学正式挂牌，两家合编的大型《鲁迅研究年鉴》已经出版4 期。北京鲁迅博物馆是国家级研究机构，具有强大的学术优势、资源优势和良好的治学传统，双方的合作无论在提升科研水平和研究生培养质量上，都成效显著。目前正在积极申报博士点。中国现当代文学史的研究，以史论结合、中外比照、文化整合为主要特点。在纵向上力主把近代、现代、当代三个历史阶段贯通起来，对近百年文学研究的历史和现状作系统考察，在冯光廉教授的主持下，出版了《中国近代文学研究概论》、《中国现代文学史研究概论》、《中国当代文学研究概论》等专著；《中国新文学发展史》、《中国文学现代化的先导 —— 近代文学研究概论》在学术界产生了广泛影响。另一方面在横向上打破文学史研究的封闭状况，在东西方文学的多重比较中，描述中国文学现当代文学。近年来，本学科在鲁迅及中国现当代经典作家研究和现当代文学与文化传播研究等方面特色突出，发表、出版了一批有代表性的成果，在国内具有较强的学科优势，在学术界处于领先地位。经过多年的建设，青岛大学中国现当代文学学科目前已经形成了如下三个研究方向：1．鲁迅和经典作家研究鲁迅和经典作家共同构成了中国现当代文学的深层内涵，没有经典就没有深度。本学科从创建以来一直把鲁迅和其他经典作家研究作为学科建设的龙头，20余年长盛不衰、逐步深化。姜振昌近五年以来围绕国家社科规划立项课题《鲁迅与中国新文学主流》写下的《<故事新编>与中国新历史小说》、《鲁迅与中国20世纪杂文》、《鲁迅与左翼文学运动》、《<呐喊><彷徨>：中国小说叙事方式的深层嬗变》等一系列长篇论文，均发表在《中国社会科学》、《新华文摘》、《文学评论》等国内权威学术刊物上，近期他还出版了《鲁迅与新文学的精神》、《经典作家与中国新文学》等学术专著。围绕这一方向，本学科还连续推出了冯光廉、刘增人等的专著《多维视野中的鲁迅》、张芸的《别求新声于异邦》、魏韶华的《鲁迅与克尔凯郭尔比较研究》、以及《叶圣陶传》、《王统照传》、《张承志新论》等学术专著。2．中国现当代文学的文化研究本方向肇始于上世纪90年代初，是本学科新的学术生长点，旨在从媒体文化、宗教文化、域外文化三个板块对中国现当代文学深入研究，开拓新视野，提供新方法，并且试图探索文学研究与传播学研究的交叉、融合，为建构新的交叉型、复合型新学科探索可行的途径。代表性研究成果有周海波的《现代传媒时代的文学》和《传媒与现代文学之间》、刘增人的《中国现代期刊史论》、曾艳兵的《东方后现代》、侯传文的《多元文化语境中的东方现代文学》和《东方文化通论》等学术专著，以及发表在《文学评论》和《文艺研究》上的侯传文的《泰戈尔与中国现代诗学》、徐宏力的《网络文化与审美蜕化》、刘增人的《论茅盾系列文学期刊》等学术论文。3．文献资料与文学史研究文献资料与文学史研究一直是本学科的治学基础。因为文学史研究从来离不开文献资料，而文献资料只有放在文学史上才能显示出其价值和意义，所以本研究方向始终坚持以文献资料为先导、为实证，以“史”的眼光和理论思考为轴心，二者相辅相成，使这一基础性研究既丰富又扎实。代表性研究成果有魏韶华的《中国现代文学史论》、徐鹏绪的《中国现代文学文献学研究》和《近代文学史纲》、周海波的《中国现代文学批评史论》、佘小杰的《中国现代社会言情小说研究》、贾丽萍的《20世纪末叶的中国小说》、李玉明的《嬗变与建构》、以及《中国新文学发展史》、《中国当代文学史纲》，《中国近百年文学体式流变史》等。中国现当代文学专业硕士研究生培养方案一、 培养目标通过学习，使研究生掌握本专业的基础理论和扎实的专业知识；较为熟练地掌握一门外国语，能阅读本专业的外文资料；提高分析问题和解决问题的水平，具备独立进行科学研究的能力；具有坚定的政治立场和良好的道德品质，具有鲜明的创新意识和开放意识；最终目的是培养合格的能够在高等学校、科研机构、党政部门、新闻出版机构等从事工作的高级专门人才。二、 学习年限三年，在职攻读硕士学位者可酌情延长一年。三、 研究方向（一） 中国现代文学史研究（二） 中国现代作家作品研究（三） 中国现代文学批评研究（四） 中国现代文学与文化传播研究研究生的课程学习实行学分制，课程分为学位课和非学位课两大类，学位课程一般以课内18学时为1学分，研究生在毕业论文答辩之前，必须修完34—38学分。四、 课程设置（一）课程设置见《中国现代文学专业硕士研究生教学计划》（附后）（二）必修环节（教学实践、科学研究、社会调查等）1．文献综述与开题报告（1学分）研究生需阅读各种大量的中外文文献资料，写出不少于8000字的书面报告，内容由文献综述和开题报告两部分组成，在进入论文写作之前，必须进行开题报告，并由学科点组织专家组审定通过，时间一般安排在第三学期末或第四学期中期。2．学术活动（2学分）研究生在校学习期间必须参加8—10次与本专业有关的学术活动，要求每次都要写出不少于1000字的书面报告，经导师签字后先由自己保存，最后在申请毕业论文答辩时与其它相关材料一并上交学院研究生工作秘书。3．教学与社会实践（2学分）研究生参加教学实践的内容主要包括担任助教、助研、助管等，课内外总时数为120小时，由学院和学科点负责安排。五、 培养方式与方法（一）研究生要积极参加校、院和学科点组织的政治学习、学术活动和各项集体活动，养成良好的科学道德。（二）本专业的培养方式采用导师负责制，同时在某些重要环节由学科点导师组共同参与，体现个体与集体相结合的培养原则。（三）制订学位课程与非学位课程教学大纲，并为研究生开列专业必读书目。（四）本专业研究生必须选修一门跨一级学科研究生课程。（五）课程学习采用讲授与讨论、文本细读与论文写作相结合的方法，重视培养研究生运用所学基础理论和专业知识，提高分析问题和解决问题的能力。要求研究生在导师的指导下，进行一些相关的学术研究工作，并经常开展一些学术研讨活动，以提高研究生的学术意识。（六）为了提高科研水平，要求研究生在第一和第二学年撰写学年论文。申请学位之前，要求研究生在国内外正式出版的学术刊物上发表一篇内容与本人研究方向有关的学术论文。论文作者必须是研究生本人为第一作者（或导师是第一作者，本人是第二作者），所有论文均须注明作者为青岛大学在校研究生。（七）学位课为考试课，非学位课为考试或考查课，以笔试、口试、撰写课程论文等形式进行考核，考试按百分制记分，考查以合格、不合格记，也可按百分制记。学位课成绩达到75分为合格，非学位课成绩达到60分为合格。（八）要求研究生在前两个学年中完成全部课程学习，修满规定所需学分。在此基础上，于第四学期初，对研究生进行中期筛选，要求必须通过以下条件：政治思想方面，热爱祖国，拥护党的领导，遵纪守法；道德品质方面，品行端正，尊敬师长，团结同学 ；专业能力方面，通过研究生公共外语考试，学位课考试成绩在75分以上，非学位课考试成绩在60分以上。筛选过程中，要求研究生向本专业教研室提出有关学位论文的开题报告和文献综述，得到教研室全体教师的认可，并取得合格成绩的方可进入撰写论文阶段，不合格者按研究生课程修完、肄业处理。（九）中期筛选结束后，根据开题报告的要求，安排研究生外出调查访问，写出访学报告或调查报告，由导师主持进行交流和评议。（十）教学实习安排在第四学期，要认真抓好备课、试讲、听课、评议等环节，每个研究生给本、专科学生上课不少于9课时（或在相关单位进行一定时间的毕业实习）。（十一）根据本专业培养方案、课题的研究方向和研究生本人的具体情况，由研究生导师组织有关人员和研究生本人共同制定研究生个人培养计划。六、 学位论文与答辩（一）研究生从第二学年第二学期开始论文写作，时间为一至一年半。（二）在查阅文献和调查研究的基础上做好开题报告。内容包括：选题意义、文献综述、研究计划及目标、主要理论难点及拟解决问题方案等，论文选题应具有理论意义和实际意义。须制订出具体的实施计划，经导师组研究同意，报学院学位委员会审核后实施，并报研究生处培养科备案。（三）为确保研究生按期完成高质量的学位论文，第五学期结束前要对论文进行全面检查，论文最后定稿和打印必须在第六学期中期完成。（四）论文答辩工作安排在第六学期5月底6月初。
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自己擅长的一方面，自己擅长的东西自己才能够说出来一些东西，脑子里有东西，对这方面了解比较多，更容易得到相应的资料，也更愿意去找，如果说强行的做一个话题，做是可以做的，但是肯定会影响自己的生活，体验工作的效率也不高，因为对这个东西不感兴趣，自己之前了解的不是特别多，那只有很多很多资料，那如果说要是比较擅长的东西，那么平常就有一些素材的积累，做起来自然就容易多了。
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 10、Huo Z，Dai S，Wang K，et a1．Nanocomposite gel electrolyte with large enhanced charge transport properties of an 13-／I- redox couple for quasi-solid-state dye-sensitized solar cells[J]．Solar Energy Materials and Solar Cells，2007，91(20)：1959-1965． 11、王璟和，射频溅射法制备透明导电陶瓷薄膜 天津大学 12、姜磊等， 染料敏化太阳电池研究进展 内蒙古大学学报（自然科学版） 13、曾志峰等， 射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究 武汉大学学报（理学版） 14、段理、樊小勇等， 磁控溅射制备银掺杂 薄膜结构及光电性质研究 材料导报(研究篇) 15、SunLL，TanO K，ZhuW G，et a1．Pb(Zro 3Ti0． 7)03／Pb-TiO3 multilayer thin films for pyroelectric infrared sensorapplication[J]．J Appl Phys，2006，99(9)：09410 16、顾锦华、钟志有等， 真空退火处理对光敏薄膜及聚合物太阳电池性能的影响 中南民族大学学报(自然科学版) 17、王磊、杜军等， 退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响 材料导报 18、范志新等， 二氧化锡薄膜的最佳掺杂含量理论表达式 电子器件 19、刘庆业等， 射频溅射法研制SnO2纳米薄膜 广西师范大学学报（自然科学版）
你的文献综述具体准备往哪个方向写，题目老师同意了没，具体有要求要求，需要多少字呢？你可以告诉我具体的排版格式要求，文献综述想写好，先要在图书馆找好相关资料，确定好题目与写作方向。老师同意后在下笔，还有什么不了解的可以直接问我，希望可以帮到你，祝写作过程顺利。什么是综述？综述包括“综”与“述”两个方面。所谓综就是指作者必须对占有的大量素材进行归纳整理、综合分析，而使材料更加精炼、更加明确、更加层次分明、更有逻辑性。所谓述就是评述，是对所写专题的比较全面、深入、系统的论述。因而，综述是对某一专题、某一领域的历史背景、前人工作、争论焦点、研究现状与发展前景等方面，以作者自己的观点写成的严谨而系统的评论性、资料性科技论文。综述是查阅了医学某一专题在一段时期内的相当数量的文献资料，经过分析研究，选取有关情报信息，进行归纳整理，作出综合性描述的文章。综述对作者和读者确定科研课题、把握研究方向均具有极其重要的参考价值，在新知识、 新信息呈爆炸性增长的知识经济时代，综述以其对知识的整合性和丰富的信息含量得到越来越多读者的喜爱， “综述” 开辟栏目的期刊也越来 越多， 但综述性论文中存在着一些问题，综述的写作及编辑加工水平在某些方面亟待提高。 那么综述应该怎么写？具体有哪些写作步骤呢？ 选定题目 选题是首项任务，选定题目对综述的写作有着举足轻重的作用。选题首先要求内容新颖，只有新颖的内容才能提炼出有磁石般吸引力的题目。选题还应选择近年来确有进展， 适合我国国情，又为本专业科技人员所关注的课题， 查阅文献 题目确定后，需要查阅和积累有关文献资料。对初学者来说，查找文献往往不知从哪里下手，一般可首先搜集有权威性的参考书，如专着、教科书、学术论文集等，教科书叙述比较全面，提出的观点为多数人所公认；专着集中讨论某一专题的发展现状、有关问题及展望；学术论文集能反映一定时期的进展和成就，帮助作者把握住当代该领域的研究动向。其次是查找期刊及文献资料，期刊文献浩如烟海，且又分散，但里面常有重要的近期进展性资料，吸收过来，可使综述更有先进性，更具有指导意义。 加工处理 对阅读过的资料必须进行加工处理，这是写综述的必要准备过程。按照综述的主题要求，把写下的文摘卡片或笔记进行整理，分类编排，使之系列化、条理化，力争做到论点鲜明而又有确切依据，阐述层次清晰而合乎逻辑。按分类整理好的资料轮廓，再进行科学的分析。最后结合自己的实践经验，写出自己的观点与体会，这样客观资料中就融进了主观资料。 您在写综述时要注意一下要求以及综述对格式的要求： 一篇好的综述，应当是既有观点，又有事实，有骨又有肉的好文章。由于综述是三次文献，不同于原始论文(一次文献)，所以在引用材料方面，也可包括作者自己的实验结果、未发表或待发表的新成果 综述一般都包括题名、着者、摘要、关键词、正文、参考文献几部分。其中正文部分又由前言、主体和总结组成。前言用 200～300 字的篇幅，提出问题， 包括写作目的、 意义和作用， 综述问题的历史、 资料来源、现状和发展动态，有关概念和定义，选择这一专题的目的和动机、应用价值和实践意义，如果属于争论性课题，要指明争论的焦点所在。主体主要包括论据和论证。通过提出问题、分析问题和解决问题，比较各种观点的异同点及其理论根据，从而反映作者的见解。为把问题说得明白透彻，可分为若干个小标题分述。
文献综述是对某一领域某一方面的课题、问题或研究专题搜集大量情报资料，分析综合当前该课题、问题或研究专题的最新进展、学术见解和建议，从而揭示有关问题的新动态、新趋势、新水平、新原理和新技术等等，为后续研究寻找出发点、立足点和突约翰 W克雷斯威尔（John W Creswell）曾提出过一个文献综述必须具备的因素的模型。他的这个五步文献综述法倒还真的值得学习和借鉴。克雷斯威尔认为，文献综述应由五部分组成：即序言、主题1（关于自变量的）、主题2（关于因变量的）、主题3（关于自变量和因变量两方面阐述的研究）、总结。（1）序言告诉读者文献综述所涉及的几个部分，这一段是关于章节构成的陈述。（2）综述主题1提出关于“自变量或多个自变量”的学术文献。在几个自变量中，只考虑几个小部分或只关注几个重要的单一变量。（3）综述主题2融合了与“因变量或多个因变量”的学术文献，虽然有多种因变量，但是只写每一个变量的小部分或仅关注单一的、重要的因变量。（4）综述主题3包含了自变量与因变量的关系的学术文献。这是我们研究方案中最棘手的部分。这部分应该相当短小，并且包括了与计划研究的主题最为接近的研究。或许没有关于研究主题的文献，那就要尽可能找到与主题相近的部分，或者综述在更广泛的层面上提及的与主题相关的研究。（5）总结强调最重要的研究，抓住综述中重要的主题，指出为什么我们要对这个主题做更多的研究。一、文献综述的含义文献阅读报告，即“文献综述”,英文称之为“survey”、“overview”、“review”是在对某研究领域的文献进行广泛阅读和理解的基础上，对该领域研究成果的综合和思考。一般认为，学术论文没有综述是不可思议的。需要将“文献综述（ Literature Review）”与“背景描述（Backupground Description）”区分开来。我们在选择研究问题的时候，需要了解该问题产生的背景和来龙去脉，如“中国半导体产业的发展历程”、“国外政府发展半导体产业的政策和问题”等等，这些内容属于“背景描述”,关注的是现实层面的问题，严格讲不是“文献综述”,关注的是现实层面问题，严格讲不是“文献综述”“文献综述”是对学术观点和理论方法的整理。其次，文献综述是评论性的（ Review 就是“评论”的意思），因此要带着作者本人批判的眼光（critical thinking）来归纳和评论文献，而不仅仅是相关领域学术研究的“堆砌”评论的主线，要按照问题展开，也就是说，别的学者是如何看待和解决你提出的问题的，他们的方法和理论是否有什么缺陷？要是别的学者已经很完美地解决了你提出的问题，那就没有重复研究的必要了。二、意义和目的总结和综合该方向前人已经做了的工作，了解当前的研究水平，分析存在问题，指出可能的研究问题和发展方向等，并且列出了该方向众多的参考文献，这对后人是一笔相当大的财富，可以指导开题报告和论文的写作。三、主要内容（1）该领域的研究意义。（2）该领域的研究背景和发展脉络。（3）目前的研究水平、存在问题及可能的原因。（4）进一步的研究课题、发展方向概况。（5）自己的见解和感想。四、分类综述分成两类。一类是较为宏观的，涉及的范围为整个领域、专业或某一大的研究方向。一类是较为微观的，这类综述可以涉及到相当小的研究方向甚至某个算法，谈的问题更为具体与深入。前者立意高，范围广，面宽，故也不易深入，比较好读好懂。这对初入道者、欲对全局有所了解的读者而言很有参考价值。然而，欲深入课题的研究，则希望能有后一类的综述为自己鸣锣开道，这会节约很多的时间与精力，但往往不能遂人意，于是只好旁征博引，由自己来完成该课题的综述。当写学位论文时，我们要写的也就是这类结合自己研究课题而写就的综述。五、难点一篇好的文献综述既高屋建瓴，又脚踏实地；既探?索隐，又如醍醐灌顶。文献综述顾名思义由“综”和“述”组成。前半部分的“综”不算太难，根据所查阅大量的文献进行综合的归类、提炼、概括即可做到的话。后半部分的评“述”与分析则是一篇“综述”质量高下的分界线，这需要融入作者自己理论水平、专业基础、分析问题、解决问题的能力，在对问题进行合情合理的剖析基础上，提出自己独特的见解。六、如何收集资料虽说，尽可能广泛地收集资料是负责任的研究态度，但如果缺乏标准，就极易将人引入文献的泥沼。技巧一：瞄准主流。主流文献，如该领域的核心期刊、经典着作、专职部门的研究报告、重要化合物的观点和论述等，是做文献综述的“必修课”而多数大众媒体上的相关报道或言论，虽然多少有点价值，但时间精力所限，可以从简。怎样摸清该领域的主流呢？建议从以下几条途径入手：一是图书馆的中外学术期刊，找到一两篇“经典”的文章后“顺藤摸瓜”,留意它们的参考文献。质量较高的学术文章，通常是不会忽略该领域的主流、经典文献的。二是利用学校图书馆的“中国期刊网”、“外文期刊数据库检索”和外文过刊阅览室，能够查到一些较为早期的经典文献。三是国家图书馆，有些上世纪七八十年代甚至更早出版的社科图书，学校图书馆往往没有收藏，但是国图却是一本不少（国内出版的所有图书都要送缴国家图书馆），不仅如此，国图还收藏了很多研究中国政治和政府的外文书籍，从互联网上可以轻松查询到。技巧二：随时整理，如对文献进行分类，记录文献信息和藏书地点。做博士论文的时间很长，有的文献看过了当时不一定有用，事后想起来却找不着了，所以有时记录是很有必要的。罗仆人就积累有一份研究中国政策过程的书单，还特别记录了图书分类号码和藏书地点。同时，对于特别重要的文献，不妨做一个读书笔记，摘录其中的重要观点和论述。这样一步一个脚印，到真正开始写论文时就积累了大量“干货”,可以随时享用。技巧三：要按照问题来组织文献综述。看过一些文献以后，我们有很强烈的愿望要把自己看到的东西都陈述出来，像“竹筒倒豆子”一样，洋洋洒洒，蔚为壮观。仿佛一定要向读者证明自己劳苦功高。我写过十多万字的文献综述，后来发觉真正有意义的不过数千字。文献综述就像是在文献的丛林中开辟道路，这条道路本来就是要指向我们所要解决的问题，当然是直线距离最短、最省事，但是一路上风景颇多，迷恋风景的人便往往绕行于迤逦的丛林中，反面“乱花渐欲迷人眼”,“曲径通幽”不知所终了。因此，在做文献综述时，头脑时刻要清醒：我要解决什么问题，人家是怎么解决问题的，说的有没有道理，就行了。综述是你查阅相关文献的成果。任何研究都要建立在前人的基础上，并且遵守学术传统，而不是空穴来风。你需要告诉读者，关于这个问题前人研究到了何种地步，有什么缺陷，应该在哪些方面进行拓展。这一方面是对前人研究的尊重，另一方面也表明了你的文章价值何在。任何与本文相关的重要成果都应当在综述中得到体现，并且在参考文献中列出。综述不是概述，不能泛泛地引用和概括，要有扬弃，特别是有批评。否则，如果别人都做好了，要你写文章干嘛。综述比较容易看出作者对该领域所下的工夫，因为作者需要广泛阅读，理解不同论文在关键假设和模型上的主要分歧。好的综述本身就是一篇独立的文章。
如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~
文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 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