选题符合专业的目标和特色，而且选题很具有针对性和现实意义。文章结构安排合理，层次清楚，写作是参考的相关文献资料与主题联系紧密，而且参考的资料比较新，在写作的过程中作者较好地运用专业知识来分析，再论证过程中，主要用理论论证和事实论证。但文章不足之处在于语句表达不清晰，论证还不够深刻充分，创新点还不够。总体上符合毕业论文要求。这是论文评语怎么写的范文。
论文评语范文： 1、论文选题比较适当，观点正确，但缺少独创性的思想，论证内容比较充分，但缺乏论证深度。英语表达比较通顺，但存在少量语法错误。论文格式符合规范要求。 2、论文选题缺乏新意，论证不够充分，具体例证较少，老生常谈的内容偏多，引用他人观点的比例偏大。英语表达基本达意，但存在较多的语法错误。论文格式基本符合要求。 3、选题不适当;观点不正确;语法错误过多;抄袭现象严重;论文格式不符合规范要求;没有按时间要求完成论文。 4、论文选题有新意，有实际应用价值，论文有自己独到的观点，能够反映出学生的创造性劳动，结构安排合理，论证充分、透彻，有足够的理论和实例支撑，英语语言表达顺畅、得体，没有语法错误，论文格式符合规范要求。 5、本论文选题有很强的应用价值，文献材料收集详实，综合运用了所学知识解决问题，所得书记合理，结论正确，有创新见解。另外论文格式正确，书写规范，条理清晰，语言流畅。 6、该论文的文献调研全面系统，立题指导思想明确，实验设计合理可行，能够按照实验计划进行，并达到预期效果。 7、论文撰写思路清晰，语言流畅简练，层次清晰，逻辑性较强，用词准确，各种数据、图表齐备、规范，文献引用正确，科学性较强。表明该学生具有一定的理论基础和科研能力。 8、该论文选题正确,结构合理,内容丰富,数据资料充分,分析方法先进,写作进度安排合理,结论和建议具有区域现实意义,建议推荐为校级优秀毕业论文 9、论文选题适当，有一定的独立见解，论证充分，占有资料广泛，但理论和实例支撑不够。英语语言表达基本顺畅，仅存在个别语法错误，论文格式符合规范要求。
论文评语怎么写？论文评语范例模板大全 在五分钟的陈述中，该生介绍了论文的主要内容与结构，以及为此进行的研究，显示出对所研究的问题有一定的认识。视频设计很漂亮，但不太符合专业要求，若多从计算机专业的角度对实现过程进行设计则更好。 论文借助统计分析软件对xxxx进行了因素分析，论文内容丰富条理清晰结构完整，资料收集详实，数据准确，论证清晰有力，论据充分可靠，结论可靠。 该生专业素养比较好，对所提问题回答流利，正确率高，对实现过程中遇到的难题认识到位，时间把握得当，若能用比较新的运行环境进行实现相对好。 论文陈述清晰明白，开门见山，直接入题。对老师的提问能流利作答，思路清晰，但对论文中的部分代码解释不楚，有少量语言错误，望今后的研究中多创新。 结合数学知识用计算机技术来处理地质问题，对方法原理掌握透彻，论文有比较好的创新。对快速傅里叶和小波变换图的结果分析到位，处理结果良好，计算机基础素养好。答辩中主要问题回答准确深入。论文中变换的指标若有对比会更好。 该生在规定时间内比较流利清楚的阐述论文的主要内容，能恰当回答与论文有关的问题，态度谦虚，体现了比较扎实的计算机基础。建议把图像的打开功能用适当的文字表达出来，继续完善使论文格式规范化。 该论文选题合理，为xxxx提供理论支持，研究意义重大。 该生流利地陈述了写作该论文的目的理论与实践意义，古玩网站设计过程很规范，但实体和概念之间联系少，整个设计应该尽量符合计算机方面的要求。 该论文反映出了作者在本门学科方面坚实的理论基础系统的专业知识以及良好的科研能力。达到了硕士学位论文的要求，建议安排答辩。学士学位论文评语【最新篇】 该作品体现作者的原创性。在制作过程中，作者参考的元素很多，同时，能巧妙的灵活运用到实际的创作中，此举值得学习。色彩整体搭配较和谐。结构严谨。但是，广告语和广告标题与图片联系的力度还不够。 该生具有扎实的广告专业基础知识。构图结构合理。版面整洁。绘图规范。能较好的表现设计主题。符合设计的基本要求。但是，此平面广告的整体效果一般，应该加强整体效果的设计考虑。 该作品具有一定的视觉冲击力。给广告受众一定的视觉感染力。整体效果统一自然。注意整体结构的布局。留给大家想象的空间。但广告语还不够经典，还有些色彩的细节忽略了。 该副作品采用对比的手法来表现，灰色调和彩色形成鲜明的对比。代表后学生对地球未来的思考和对环保的关注。具有一定的创意元素。图片整体搭配和谐，标题发人深醒。 该作品体现作者具有一定的计算机绘图功底。主题突出明确。创意较好。设计理念清晰。结构基本合理。色彩的搭配较合理。优化处理图片较得当。但是广告标题值得推敲。 该作品创意新颖，体现作者的创作能力。布局合理，色彩搭配合理。该生在设计过程中表现积极，态度端正，及时与老师沟通，并能合理听取意见。在创作中，该作品体现一定的创新精神。但是，在整体结构的考虑上还做得不够。 该作品设计思路清晰，中心思想突出，主题明确。整体切合毕业设计要求。在制作过程中，作者煞费苦心，积极构思，努力找突破口，基本实现了自主化设计。作品整体布局得当，效果较好。 该作品体现作者所学的理论与实践的结合，创作灵感丰富。体现作者的个性和刻苦精神。绘图整体规范，效果较好。结构布局合理。总体设计效果好。但是作品原创性不足，还应改进。 该作品具有一定的想象力，同时具有一定的创造力。在制作过程中，作者深思熟虑，把广告学的基本知识融入在具体创作实践中，取得一定的突破。作品整体效果一般，缺乏独创。 该作品切合主题，条理清楚，构图协调，广告元素运用充分。在制作过程中，该同学态度认真，虚心向指导老师请教，积极发挥自己的智慧。作品整体符合设计大纲要求。但还缺乏独创性，在色彩的搭配上还做得不够。 该生创作灵感丰富，积极运用计算机绘图技术和自己具备的专业知识，完成了这幅作品。此作品结构布局合理，内容丰富，整体效果良好。但缺乏创意点，广告词也不够好。 该生广告学功底较好，在设计中虚心听取他人的意见和建议，设计积极。作品色彩鲜明，线条清晰，主题表现明确，整体效果良好，符合平面广告的基本构成要素。是一副合格的作品。 该同学在设计过程中，多次与指导老师交流沟通，悉心听取老师的建议，并把它融入到自己的作品创作中。整个过程均自主完成作品。作品整体效果较好，体现广告主题要求。 该作品能充分表现主题，构图整体和谐美观大方。作者注重色彩和线条的搭配，能把广告基础理论知识与专业实践有机结合在一起，值得表扬。但是，该平面广告整体缺少吸引要素，不能起到让人记忆深刻的效果。 该同学设计理念切合主题，表意鲜明，突出主题。设计中，该生积极寻求指导和帮助，大量吸取他人的意见和建议。作品整体效果美观大方，有一定的广告宣传效果。但广告部够经典，不能发人深省。
最近大学生可是被论文折磨得很苦恼，但是老师们压力也很大，所以今天分享一些好的毕业论文评语，希望对你有帮助哦。1、该生专业素养比较好，对所提问题回答流利，正确率高，对实现过程中遇到的难题认识到位，时间把握得当，若能用比较新的运行环境进行实现相对好。2、该生对数据库的设计细节讲解详细，研究深入，论坛设计部分独立完成，有一定的科研能力答辩中思路清晰，回答得简明扼要，语言流利。答辩组经过认真讨论，一致同意通过该生成绩为良好，但要求该生纠正论文中尚存的某些错误。3、在十分钟的陈述中，该生介绍了论文的主要观点内容与结构，以区论文的写作过程，条理清晰，语言无大错，对老师的提问做出了基本正确的回答，体现了一定的专业素养。但设计过程有点小作题，流程图不很完善，希望及时纠正。毕业论文对一个本科生来说是相当重要的，这是他们在学校的最后一篇论文，是大学几年的心血结晶。那么本科生毕业论文也需要注意下面这一点哦。毕业论文一律打印，采取a4纸张，页边距一律采取：上、下5cm，左3cm,右5cm，行间距取多倍行距(设置值为25);字符间距为默认值(缩放100%，间距：标准)，封面采用教务处统一规定的封面。所以，一定要按照学校的要求仔细修改。
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论文评语范文： 1、论文选题比较适当，观点正确，但缺少独创性的思想，论证内容比较充分，但缺乏论证深度。英语表达比较通顺，但存在少量语法错误。论文格式符合规范要求。 2、论文选题缺乏新意，论证不够充分，具体例证较少，老生常谈的内容偏多，引用他人观点的比例偏大。英语表达基本达意，但存在较多的语法错误。论文格式基本符合要求。 3、选题不适当;观点不正确;语法错误过多;抄袭现象严重;论文格式不符合规范要求;没有按时间要求完成论文。 4、论文选题有新意，有实际应用价值，论文有自己独到的观点，能够反映出学生的创造性劳动，结构安排合理，论证充分、透彻，有足够的理论和实例支撑，英语语言表达顺畅、得体，没有语法错误，论文格式符合规范要求。 5、本论文选题有很强的应用价值，文献材料收集详实，综合运用了所学知识解决问题，所得书记合理，结论正确，有创新见解。另外论文格式正确，书写规范，条理清晰，语言流畅。 6、该论文的文献调研全面系统，立题指导思想明确，实验设计合理可行，能够按照实验计划进行，并达到预期效果。 7、论文撰写思路清晰，语言流畅简练，层次清晰，逻辑性较强，用词准确，各种数据、图表齐备、规范，文献引用正确，科学性较强。表明该学生具有一定的理论基础和科研能力。 8、该论文选题正确,结构合理,内容丰富,数据资料充分,分析方法先进,写作进度安排合理,结论和建议具有区域现实意义,建议推荐为校级优秀毕业论文 9、论文选题适当，有一定的独立见解，论证充分，占有资料广泛，但理论和实例支撑不够。英语语言表达基本顺畅，仅存在个别语法错误，论文格式符合规范要求。
主要是从写作角度对全篇论文作出评价。评价要点是：1．观点是否正确、鲜明；2．论据是否充分；3，分析是否全面；4．结构是否合理；5．语句是否通顺；6．有无现实指导意义。下面是《对制止中小学乱收费现象的几点思考》一文的评语：本文能理论联系实际，对当前中小学乱收费现象的表现及其产生原因作了较全面的和较为深刻的分析，并提出了制止措施，对实际工作有一定的参考作用和参考价值。论文论点鲜明，结构合理，条理分明，论据较充分，语句通顺，文笔流畅。
学生作文评语集bai锦1．你很善于观du察生活，能敏锐的捕捉一个个有意义的瞬间zhi；你是个很有dao潜力的学生。2．文章的语言很流畅，也写出了老师的感受。你是老师的知音，希望我们共同切磋，在文学的百花园中采撷芬芳的一束。3．对不起，这一段老师没有读明白，你愿意为老师再解释一下吗？谢谢你。4．你的字迹工整，书写很优美老师要向你学习。文章选材如果再新颖些，肯定会与书写交相辉映。你认为呢？5．太棒了！你的文章，再现了东北人的憨直爽朗，使读者顿感神清气爽。语言流畅至极，通感运用尤为巧妙。你的笔锋具有征服力和感染力。努力，再创辉煌！6．你的文章象一条缓缓而流的小溪，清秀，流畅。文笔优美，感情真挚细腻，具有个人风格。愿你在写作路上继续采撷生活中的朵朵浪花，让自己的风格更趋完善！
1。前后内容关联不够紧密，部分内容过于孤立，与文章主体联系不够密切。2。叙述简略粗糙，唯有框架式结构，人物缺乏鲜明的个性特征。3。详略安排不当，主次不够分明。4。内容多为线条式勾勒，缺乏点式的细描。5。与时代气息不符，内容过于陈旧老化。6。重点突出，中心明确，立意鲜明。7。观点明确，好恶立场分明，使人一目了然。8。主题直接凸现于内容之中，明了扼要，毫无赘意。9。主题严肃，思想高尚，进取心较强。10。中心不够明确，立意不够清晰。11。主题含混晦涩，文意渺茫含糊，写作目的不清。12。虽有中心主题，但表达不够充分有力，言而不实，空而无力。13。主题不够严肃，思想之中尚有糟粕。
这是一篇很不错的议论文，文章开门见山提出了观点:生命是宝贵的，我们应该热爱生命，论证层次鲜明、清晰，麦克的论据很有说服力，语言流畅，结构完整。这篇议论文以理取胜，观点辩证，语言灵活多变，富有自由灵动的色彩。文章开头摆出看法:相信自己不意味固执己见;听取意见也不代表亦步亦趋。。接着阐述我们为什么要听取别人的意见。文章语言简练，重点突出;恰当的引用更使中心得到突出;文末的问句发人深省。本文题目若能改成《相信自己，相信他人》，效果会更好。开篇即点明了核心价值观在历史上的重要作用，很有分量。接下来作者说历史，说现在，此为面的交代;又写香港回归的这件事，是点的突破。这样写来，点面结合，更易把道理讲得清楚。题记今日欢呼诚信在，只缘妖雾又重来，揭示了本文的创作意图——针对现实中缺乏诚信的现象进行鞭挞，呼吁诚信。 全文用文言写成，既显古朴典雅之风，又彰针砭时弊之志。本文开门见山引出本文的主要内容，小作者密切关注现代社会的热点问题，善于思考，紧密结合出了环保的倡议，立意浅显而耐人寻味，引人思考。这篇议论文阐述了人要不断地追求新目标，不断地去认识新的世界，所以就要一次次车发，赶往心中的下一个目的地。此文多用排比句，使感情更加强烈，语言富有节奏感。这篇短小的议论文论理深刻，手法多样，精彩语句迭出，结构非常严谨。议论的角度也很关键。不妨学习一下:二段从人都需要磨练勇气的角度议论，三段以课堂为例举例论证，四段从万事开始时需挑战的角度议论，五段道理论证、举例论证兼有，六段从不要后悔的角度论述。这篇文章作者以舍弃为话题，通过列举亚历山大、小男孩以及服务员的例子，告诉我们要懂得在合适的时候舍弃一些东西。文末点题， 成功往往蕴涵于取舍之间。一句，简洁而富有丰富的意蕴，耐人寻味。文章开头引用名言独特新颖，具有先声夺人之效，接着从读书能享受人间的无穷乐趣和读书是一种信念两方面来写，结尾总结全文点明中心。文章层次清楚，语言流畅，称得上是一篇佳作。
论文选题符合专业培养目标，能够达到综合训练目标，题目有一定难度，工作量较大。选题具有学术参考价值。该生查阅文献资料能力较强，能较为全面收集关于商业银行个人理财业务的资料，写作过程中能综合运用所学知识，全面分析个人理财问题问题，综合运用知识能力较强。文章篇幅完全符合学院规定，内容较为完整，层次结构安排科学，主要观点突出，逻辑关系清楚，但缺乏个人见解。文题相符，论点突出，论述紧扣主题。语言表达流畅，格式完全符合规范要求；参考了较为丰富的文献资料，其时效性较强。
1、文献资料符合主题要求，从主题到内容符合专业要求，部分与本分之间衔接的比较紧密，但个别引文没有标著出来，真正属于自己创新的内容还不是很多，个别概念比较模糊，总体上达到毕业论文要求。 2、该生查阅文献资料能力较强，能较为全面收集关于考试系统的资料，写作过程中能综合运用考试系统知识，全面分析考试系统问题，综合运用知识能力较强。 3、论文结构完整，各部分基本符合_____论文的写作规范。论文的选题很好，有创意。为了写好这篇论文，作者作了一定研究，特别是斯坦贝克的原著。从作者对原著的引用情况不难看出，作者对原著的内容是相当熟悉的。语言也非常犀利，论文条理清晰、说理充分，观点具有独创性，有一定的参考价值，不失为一篇好文章。 4、论文评语及格：论文选题符合专业培养目标，基本能够达到综合训练目标，题目难度较小，工作量不大。论文选题一般。该生查阅文献资料能力较差，不能全面收集关于考试系统的资料，写作过程中综合运用考试系统知识，全面分析考试系统问题的能力较差强。文章篇幅符合学院规定，内容不够完整，层次结构安排存在一定问题，主要观点不够突出，逻辑性较差，没有个人见解。文题有偏差，论点不够突出，论述不能紧紧围绕主题。语言表达较差，格式符合规范要求;占有资料较少，其时效性较差;有部分内容与他人成果雷同。毕业论文指导意见：1、论文思路清晰，语句通顺。能很好的调查——存在的问题。作者对于论文内容有一定的了解和熟悉。思路清晰，层次清晰，逻辑结构合理。观点表达准确。研究原理采用恰当。在论证过程中能有效的将专业原理与要研究的主题结合起来。个别地方论证的观点不是很明确，总体上达到毕业论文要求。2、全文——为题。重点探计——的问题，然后针对问题提出有效的建议。全文结构符合要求，逻辑思路清晰，论据较充分，观点表达准确，语言流畅，论证方法教合理。参考的资料与主题结合紧密。3、全文以——为题。重点探讨分析——的问题及原因，然后针对问题提出—些具有可操作性的对策。全文选题新颖，具有很强的研究性。全文结构符合要求，逻辑结构严谨，思路清晰，观点鲜明，论据具有较强的说服力。论证方法合理，了大量的数据来论证，更增加了论证的可靠性。能综合运用行政管理专业知识来分析——但不足之处主要是语言不是很精炼。
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 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文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
明确题目，查找资料文献，确定思路，要多读读文献，介绍以往学者的观点，在进行下自己想法的创作，结合最新实际，亲，如果不会，我这也带做的