经济增长的文献综述 [摘要] 本文从理论和实证研究两个角度出发,对近年来国内外诸多学者关于金融发展与经济增长相关关系研究的文章进行了归纳和总结,综述过程中笔者给出了适当的述评,并在文章末尾提出了未来可能的研究方向。 [关键词] 金融发展 经济增长 文献综述 当前的中国出现了一种奇特的宏观经济景观:一方面是货币过量供应,流动性泛滥,一些商业银行因为存差过大而发愁;另一方面是企业借钱难、筹资难,许多很有发展潜力的企业因为资金不足而得不到充分的发展(吴敬琏,2006)。他认为问题症结在于,由金融市场和金融中介机构组成的金融体系发展严重滞后,使富裕的资金无法流入最有效率的产业和企业,资金流通不畅的必然会阻碍经济的发展。综观各个发达国家,几乎毫无例外的拥有发达的金融市场,而且似乎经济程度与金融市场的深度、广度也呈现出一定的正相关关系。究竟金融发展与经济增长之间存在怎样的一种关系呢?关于这个问题,国内外的诸多学者从理论和实证两个方面做了大量的研究,可谓仁者见仁,智者见智。 一、金融发展与经济增长的理论研究综述 1912年,Schumpeter在《经济发展理论》一书中,被认为在经济理论史上第一次论述了创新与经济发展之间的关系。他认为金融机构满足新兴企业信贷要求是经济发展的核心所在,并强调银行的功能在于甄别出最有可能实现产品和生产过程创新的企业家,通过向其提供资金来促进技术进步。继熊彼特之后,关于金融发展与经济增长之间关系的研究观点大致可以分为以下两类: 金融发展与经济增长之间没有相关关系 对于货币与实体经济之间的关系,西方古典经济学家根据萨伊定律提出了货币中性和信用媒介论,该理论认为货币供给量的变化不影响产出、就业等实际的经济变量。后来的一些经济学家如KWicksell,虽然认识到了货币在经济增长中具有重大的、实质性的影响,但主要强调的是消除货币对经济的不利影响。货币学派的代表人物Friedman认为“货币至关重要”只是就短期而言,在长期中货币供给的变化只会引起物价水平的变动,而不会影响实际产出。Joan Robinson也认为金融体系的出现和发展仅仅是对经济增长的被动反应。 新古典学派同样认为金融发展与经济增长之间没有什么关系。如Robert Lucas根据理性预期学派的分析,认为经济学家过分强调了金融因素在经济增长中的作用。因为理性的人们往往可能会在货币供给量变化之前就已调整了自己的行为,故货币供给量的变化不会对产出和就业产生影响,所以菲利普斯曲线即使在短期内也是垂直的。 金融发展与经济增长之间存在一定的因果和互动关系 20世纪70年代,Mckinnon和Shaw以发展中国家的金融问题为研究对象,认为在发展中国家存在着严重的金融约束和金融压抑现象。这既削弱了金融体系聚集金融资源的能力,又使金融体系发展陷于停滞甚至倒退的局面。1973年,他们分别提出了着名的金融浅化理论和金融自由化理论。他们分别从“金融抑制”与“金融深化”这两个不同角度,将货币金融理论与发展理论结合起来,全面论证了货币金融与经济发展的辩证关系。他们认为,发展中国家之所以资金短缺,并不是因为缺乏能用于积累的资金,而是因为“金融抑制”造成了融资渠道堵塞和资金成本的扭曲。在金融深化的条件下,发展中国家经济建设资金不足问题可以缓解。 对于金融发展在促进经济增长方面的重要性,部分经济学家认为,金融发展是经济增长的一个必要条件。如Patrick认为,金融发展对于经济增长具有“供给主导”的作用。金融发展在动员储蓄、管理风险、便利交易等方面的积极作用有助于经济增长。但是,对于金融发展究竟如何影响经济增长的问题却存在许多争论。以Goldsmith为代表的结构主义者认为,金融发展以金融资产的形式直接增加储蓄,从而促进了资本形成与经济增长。Sinai和Stokers(1972)及Wallick(1969)的有关文献均对这一假说提供了经验支持。 而另一方面,以Mckinnon与Shaw为代表的金融压抑主义者却认为,现金余额的实际收益率是资本形成及由此取得经济增长的关键性决定因素。根据这一观点,经济增长基础上的金融发展绩效取决于利率的发展绩效。因此金融压抑主义者认为,实行金融自由化、放松利率管制最为重要。 二、金融发展与经济增长的实证研究综述 国外方面 金融发展与经济增长关系研究中,国外学者一直走在前面,Goldsmith开创了实证研究的先河。他使用金融中介体资产的价值与GNP的比率作为一国金融发展指标,通过检验35个国家在103年间(1860年~1963年)的数据,发现金融发展与经济增长一般是同时发生的,经济增长迅速的时期总是伴随着金融的快速发展。但是不足的是,他并没有能够指明两者何为因果。 King和Levine针对Goldsmith研究不足,采样80个国家30年的数据,系统地控制影响增长的因素,表明金融发展和经济增长存在统计意义上的显着正相关,即拥有发达金融系统的国家经济增长较快,反之亦然。Levine的研究也自此引发了寻找金融发展影响经济增长证据的高潮。 Levine和Zervos(1996)通过在回归模型中引入一些反映股票市场发展状况的指标,扩展了和对金融中介体与经济增长关系的分析。其研究结果是银行发展、股票市场流动性,不但都与同时期的经济增长率、生产率增长率,以及资本积累率有着很强的正相关关系,而且都是经济增长率、生产率增长率以及资本积累率的很好预测指标。 Arestis等(2001)使用来自5个发达国家的数据,采取时间序列研究方法,在控制股票市场易变性和银行体系效应的基础上,检验了股票市场发展与经济增长的关系。其结果也表明尽管银行和股票市场都可能有利于经济增长,但银行的效应更大。 国内方面 国内理论研究起步较晚,相对不足。然而,通过借鉴学习国外既有相关理论研究成果,国内学者也进行了一定的定性研究和大量定量研究。前人的这些研究,大都是基于国外既有理论成果,同时考虑了我国现实经济状况,运用了国外成熟的实证分析方法,得出符合中国具体情况的很有价值的结论。 宾国强(1999)采用OLS方法和Granger因果检验的方法分析了我国实际利率、金融深化和经济增长之间的关系,回归结果验证了麦金农的理论,实际利率、金融深化确实与经济增长有正相关关系,经济增长对金融深化有促进作用,得出结论我国的金融发展是经济增长的原因。 韩延春(2001)采用金融发展与经济增长关联机制的计量模型,运用我国经济发展过程中的有关数据进行了实证分析,认为技术进步与制度创新是经济增长的最为关键因素,而金融发展对经济增长的作用极其有限。 史永东(2003)利用格兰杰因果关系检验和基于柯布—道格拉斯生产函数框架下的计量分析,对我国金融发展与经济增长间的关系进行了实证研究。得出结论我国经济增长与金融发展在格兰杰意义上存在双向因果关系,同时得出了金融发展对经济增长贡献的具体数值。 袁云峰等(2007)利用Battese & Coelli(1995)提出的随机边界模型以及中国1978-2004年的跨省份面板数据研究了我国金融发展与经济增长效率之间的关系, 间接度量我国金融发展的资源配置效率。研究发现,我国金融发展与经济增长效率的关系具有明显的时空特征;金融发展只是通过资本积累促进了经济增长,但是并未促进我国技术效率的全面提升。 随着现实的经济金融状况不断发展,二者之间的关系变得日益复杂,虽然诸多的学者基于各种理论试图对两者的关系进行分析,但仍未能达成一致,不过,通过对以往成果的研读,可以使后来人站在前人的肩膀上,对金融发展和经济增长有更深层面的了解,从而在路径的选择上更好的决策,以指导中国经济金融的可持续发展。 三、小结 从以上的综述可见,目前为止关于金融发展与经济增长的研究仍然处于发展之中。可能存在的主要问题有:其一,“金融”这个概念到现在为止也没有谁能够给出一个完整而准确的定义,特别是随着经济和金融创新的不断发展,金融总是处于变化发展当中。因此,关于金融发展和经济增长的关键影响因素就不好确定,基于此之前研究中的数据的可靠性和分析结果的有效性也就值得商榷。其二,技术手段的局限性。计量经济学诞生到现在为止取得了长足的发展,在科研领域也做出了巨大的贡献,但它仍然还是一门发展中的学科,随着计量经济技术的不断进步,新的更先进的技术手段必将随之出现,未必现在认可的东西就永远正确。 所以,笔者认为进一步可能的研究方向是: 衡量指标和数据方面,随着理论上“金融”这一概念的不断发展,随着现实经济与金融创新的发展,着力寻找更全面准确和易于衡量的指标,以及质量更高的数据。 学科基础方面,经济计量学的发展应该引起科研工作者相关机构足够的重视,要从制度上引导和促进其发展,以期更好服务于该课题和相关课题的研究。 总之,无论是理论研究还是实证研究都还有很长的道路要走,金融发展与经济增长之间的关系研究亦是永无止境的
首先，先把文献好好的多看几遍，然后想想看和自己的切身有没有什么样的联系，通过自己的经验结合自己的想法来写，会比较好一些。
文献综述写作中应注意的问题研究生学位论文写作中存在许多问题, 就文献综述的写作而言, 主要是:缺乏应有的文献综述。常碰到这样的情况:有些学位论文没有文献综述。作者却说, 他写的题目找不到相关文献或没有相关文献。如果真是这样,其解释就只有两种可能:一是作者所选择的题目确实是“空前绝后” 的;二是作者所选择的题目确实没有任何人研究。前一种可能几乎不存在, 后一种可能反证了作者的选题缺乏研究意义。简单罗列文献。有些研究生学位论文有文献综述, 但写作上存在简单罗列的毛病。比如, 有的文献综述中仅列示出A 说, B 说, C 说, D 说等等, 而后却无下文了。从这种文献综述当中读者看不出作者所依据文献演进的内在逻辑, 作者也没有能够依据文献综述清晰地推导出研究问题。简单地说, 这种文献综述写作严重违犯文献综述的“文献树” 写作原则。文献综述缺乏权威性。有些研究生学位论文虽有文献综述, 但只是简单地罗列出一些缺乏权威性和经典性的算不上学术文献的所谓文献。比如研究货币政策问题, 若不综述凯恩斯、汉森、托宾、萨缪尔森、弗迪利亚尼、弗里德曼等人的论著, 而开出另一系列人物的论著清单, 给人的感觉就是作者根本就不熟悉所研究领域的理论背景, 也没有认真研读过真正有价值的货币政策文献, 其成果价值当然就要大打折扣了。当然, 我们列示权威人物的权威论著, 并不是不尊重非权威人物。在学术研究中理所当然必须坚持学术标准, 也只能坚持学术标准, 而不能有学术标准以外的其他因素参与其中。文献综述和研究问题不匹配。此问题常见于当今比较时髦的“基于A 的B 研究” 或“A 时期的B 研究” 这种题目。本来, “基于A 的B 研究” 和“A 时期的B 研究” 这样的题目研究的研究重心是“B” 而不是“A” , 但作者的文献综述却是“A” 。显然, 此种文献综述脱题了。比如, “通货紧缩时期的货币政策研究”这一题目, 作者的研究中心应当是“货币政策” , “通货紧缩时期” 或“通货紧缩” 只是“货币政策” 发挥作用的背景与环境, 而作者的文献综述却是“通货紧缩”, 此种文献综述和研究问题当然是不匹配的。
当然必须要读过文献～只有把这些文献的来龙去脉搞清楚了，你才能写出像样的综述。如果没有读过之前的文献，拿到一篇新的文献你可能不清楚其贡献在哪里。
一、酝酿Idea。从课堂出发，由老师列出的Reading Assignment读起，并在阅读文献的过程中寻找思路。二、文献综述。根据最初的思路，提取关键词，并进一步收集更具针对性的文献资料，再对思路加以调整并最终确定可行与适合的研究问题(在已有文献基础上有所创新)，这时候就可以着手写文献综述了，记住要学会辨识经典文献并深入阅读，尤其是其研究方法和模型的建立。（51due提醒，研究问题贵在精尖细，且不要假大空，因为越是信心满满什么都要涵盖的论文往往最后的结果越差。）三、理论架构。在阅读文献时，那些涉及到的经济学理论以及概念，都要深入去了解，而不能简单地用维基百科，我们应该把这些理论和自己所要研究的实际问题结合起来，这样才是正确的理论架构。四、实证模型。目前学术界对于计量模型还是很看重的，而且对于初学者来说，用计量模型得出结果是最快的、也是必不可少的方式。一般来说，到了这个步骤，我们就需要搜集数据并整理信息、建立理论模型和计量模型了。而在做实证时一定要注意细节和数据的选取，比如GDP数据该用PPP adjustment吗？控制变量选择是否合适？是否该加log变量级等等。五、结果分析。很多时候，当我们遇到模型的解释度不高或结果不显著，甚至结论与预期相反时，应该回头检查自己的模型，并回顾参考文献的模型。如果是自己的问题，那么就要重新修改；如果确认结果无误，那就要考虑为什么会出现这种状况了(客观因素，不可控因素等)。六、总结成文。到了这一步，我们需要注意文章的结构、逻辑、条理以及行文规范。对于留学生来说，规范是体现科研素养的首要条件。或者你可以找那些专业的机构帮你写，这样就可以高枕无忧了，保证过的。
有关经济的参考文献很多，你可以在以下数据库网站查找：一、Econlit经济学全文数据库二、锐思RESSET金融研究数据库三、ProQuest ABI/INFORM 经济管理期刊全文数据库四、wind金融终端五、经济政策研究中心CEPR六、Elsevier Science / North-Holland的经济数据库七、美国经济协会AEA八、美国金融学会九、Altaplana国际经济学门户十、seek68文献馆综合各科领域的数据库文献。包括各个经济学数据库。十一、BVD——ORBIS Bank Focus全球银行与金融机构分析库十二、RePEc全球最大的在线经济学工作论文、期刊文献和软件收集的网站。十三、普林斯顿大学Pliny Fisk经济学和金融图书馆
如果你想要经济的参考文献的话，那么你可以去京东或者是淘宝上面去搜索，一般的京东或者淘宝上面都有这类的，参考文献你也可以去选择的去购买。
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文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 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