原理是紫外光经掩膜版（MASK）对涂有光刻胶的ITO玻璃曝光，曝光后的玻璃经显影产生与MASK板相同的图案。具体见图1。涂有光刻胶的基片可以放进曝光机里进行曝光，当一定波长的光线（一般用紫外光）通过掩膜板上的透光区照射到光刻胶上，被辐射的光刻胶就会产生相应的光化学变化。
紫外可见分光光度技术的应用进展王海军，宁新霞（西北有色地质研究院，西安710054）摘要：介绍了近几年来紫外可见分光光度技术在仪器部件、多组分体系的测定，新技术应用进展以及与其他技术联用等方面的情况（引用文献33篇）。
博士毕业论文—《污染源气体分布的紫外可见成像技术研究》摘要第1-7页ABSTRACT第7-12页第一章绪论第12-25页1.1研究背景与研究意义第12-13页
【摘要】：目的:探究不同紫外曝光量及低盐胁迫对浒苔生长的影响,并观察其对细胞显微结构和超微结构的影响。方法:设置不同的紫外辐射强度对浒苔进行照射处理,设置不同的盐度梯度进行浒苔培养,以生长率作为统计指标研究紫外辐射和低盐胁迫对浒苔生长的影响。
10根据曝光光源和辐射源的不同，又可分为紫外光刻胶（包括紫外正型和紫外负型光刻胶，其中紫外正型光刻胶又包括g线正胶。）、深紫外光刻胶（248nm光刻胶）、极紫外光刻胶（包括193nm和157nm光刻胶）、电子束胶、粒子束胶和x射线胶等，分别对应于前述第1.3部分所介绍的光刻…
本文围绕基于DMD的光刻系统,开展了光刻技术的研究,主要研究了DMD的衍射特性的建模及其应用,系统误差的分析与校正技术,这些技术的研究对于后续的实验工作具有指导意义。.主要研究内容包括:(1)基于傅里叶分析,建立了DMD衍射的数学模型;并将该模型用于分析...
昨天中科院发布消息，中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备——超分辨光刻装备项目通过验收，这个项目最主要的成果就是中国科学家研发成功世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻机，365nm波长即可生产22nm工艺芯片，通过多重曝光…
这台国产光刻机，可以做到22纳米。而且，“结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10纳米级别的芯片”。也就是说，中科院光电所研发的这台光刻机，用波长更长（近紫外）、成本更低（汞灯）的光源，实现了更高的光刻分辨力（0.06倍曝光波长）。
本论文通过射频磁控溅射技术高质量MgZnO薄膜,采用紫外曝光和湿法刻蚀的方法MSM结构的MgZnO紫外光电探测器,主要研究工作如下:(1)利用射频磁控溅射设备在石英衬底上溅射生长了高质量的不同组分的MgZnO半导体薄膜,实现了MgZnO薄膜带隙从可见盲到日盲波段...
中科院苏州所联合国家纳米中心、发表论文介绍了新研发的5nm超高精度激光光刻技术，消息夺人眼球、迅速引爆自媒体圈，纷纷赞叹：不用EUV光刻机就能造出5nm芯片了。其实超分辨激光光刻技术与EUV极紫外光刻技术是两回事，“不用EUV光刻机就能造出5nm芯片是个误读”。
【物理论文】紫外激光曝光光刻su-8胶的工艺研究,紫外光刻胶,极紫外光刻,光刻工艺,光刻工艺流程,光刻机,光刻胶,国产光刻机,光刻技术,asml光刻机文档格式:.pdf...
紫外曝光与蚀刻实验紫外曝光文档格式:.ppt文档页数:30页文档大小:0.0K文档热度:文档分类:论文--毕业论文文档标签:紫外曝光更多>>相关文档...
【摘要】:传统的紫外曝光机使用高压汞灯作为光源,高压汞灯使用寿命短、光效低,汞金属对环境也存在污染,而且汞灯尺寸大,相印地,曝光机体积也大。得益于GaN生长技术发展成熟和...
紫外超光谱探测系统设计分析.pdf,紫外超光谱探测系统设计分析许强(信息产业部电子53所,锦州.12i000)摘要紫外超光谱是超光谱光学探测的新范畴.本文在分析多种...
7年来,项目组突破了高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量和超精密、多自由度工件台及控制等关键技术,完成国际上首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备研制,其采...
从现有文献资料检索结果看,尚未见有对紫外纳米压印技术关键技术——图形转移层工艺与模压曝光工艺方面研究的报道。因此,本文的研究具有创新性与前沿性。1.4...
光刻工艺中反复使用的光罩容易在表面长出微小结晶状颗粒,这些微小颗粒在曝光时可能被转移到晶圆上形成图形缺陷,引起晶圆良率降低。特别是近几年193nm深紫外线激光光刻机的大...
由于超紫外线光刻技术(extremeultraviolet,EUV)的发展迟缓,Intel透露正在开发一种可能将光学扫描仪扩展到22nm制造节点的可制造性设计。Intel正在开发的这种计...
移动式曝光方式,使得在增大有效辐照面积的同时提高了曝光均匀度,为液晶显示器,特别是液晶电视技术中的关键器件有源矩阵液晶显示器的研制提供了有效手段,...
(论文)紫外线曝光机灯源系统设计下载积分:3000内容提示:【高科技产品研发】蘑隧紫外线曝光机灯源系统设计郑新武(厦门大学机电工程系福建厦门36100...