ISO1级洁净室微环境气流组织模拟分析.摘要我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。.由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。.本文通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过...
我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。本文通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过数值模拟方法,分析得出了不同FFU运行风速及恒定风速下变FFU运行数量的气流组织…
ISO1级洁净室微环境气流组织模拟分析吴小泉摘要我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。本文通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过数值模拟方法,分析得出了不…
我国已经成为全球最大的集成电路市场,并且未来还将继续发展。由于电子厂房洁净室生产工艺的特殊性,空调设备能耗巨大,其节能具有重要意义。通过对现有空态ISO1级洁净室微环境进行模型简化,并通过数值模拟方法,分析得出了不同FFU运行风速及恒定风速下变FFU运行数量的气流组织特性。
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