当前位置：学术参考网 > ito薄膜刻蚀残留论文
ITO薄膜激光刻蚀控制系统的实现中文摘要中文摘要随着液晶显示的发展，用于透明电极的铟锡氧化物（ITO）薄膜的需要量急剧增加。ITO薄膜具有导电性好，对可见光透明，对红外光反射性强等特性，在液晶电视、太阳能电池、轿车风挡等方面获得日益广泛的应用。
ITO薄膜激光刻蚀技术利用了ITO薄膜反射红外线,吸收紫外线能量的特性。使紫外激光直接在透明基板上对ITO薄膜进行刻蚀,通过计算机控制激光束的移动,薄膜吸收紫外激光能量后,从表面逃逸出来,从而刻蚀出一定的电极线路图形,它属于激光冷的范畴。与化学
残留的IT由浓HCl腐蚀掉,最后得到的表面粗化LED的GaP表面如图所示。.正如所预计的,ITO颗粒为LED表面GaP插图为外延片的断面,可以看出,粗化颗粒的高度约为200400nm,尺寸达到了波长的量级,理论上能达到很好的粗化效果。.ITO颗粒掩膜ICP刻蚀后及腐蚀掉残留ITO...
ITO玻璃的刻蚀(专业实验资料1)涂胶工艺研究实验目的1、学会匀胶台的使用；2、掌握涂胶工艺技术。.实验仪器实验步骤1.涂光刻胶涂胶是光刻的首道工序，它是在玻璃表面上涂一层光刻胶，涂胶效果控制好坏直接影响光刻质量，涂胶的质量要求是：胶与粘附...
如何对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀呢.作者不死的骆驼.来源:小木虫75015帖子.+关注.对柔性衬底的ITO导电薄膜进行刻蚀的溶液具体配比是多少？.用氯化铁加双氧水可以吗？.返回小木虫查看更多.分享至：更多.今日热帖.
浓会不会将FTO导电玻璃的导电膜给腐蚀掉.作者GKY1989.来源:小木虫60012帖子.+关注.之前用ITO氧化钛纳米线，浓将导电膜给破坏了，不知浓会不会将FTO导电玻璃的导电膜给腐蚀掉？.？.？.返回小木虫查看更多.分享至：更多.
6楼:Originallypostedby索益半导体at2014-08-2112:17:24一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。王水可以刻蚀，+硝酸+水稀释，一般4:1:2，增加会降低刻蚀速率，边缘会比较齐整，增加硝酸比例可以加快刻蚀速率，衬底残留也会比较少，边缘
一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液本发明是申请日为2014年04月30日，申请号为2014101829375，发明名称为“ITO膜刻蚀液”的发明专利的分案申请。技术领域本发明涉及电子产品生产领域，具体涉及一种对ITO膜进行刻蚀的刻蚀液。背景技术ITO膜是指采用磁控溅射的方法，在透明有机薄膜材料上溅射透明氧化铟锡...
钨薄膜淀积的均匀性是造成钨刻蚀残留的主要原因,通过改善钨薄膜淀积设备的一些设置,作业方法和作业条件的合理分配,以及钨刻蚀的条件,有效地改善了钨刻蚀残留现象,减少了硅片的废弃。论文目录关闭目录
一般使用商用ITO刻蚀液就可以了。王水可以刻蚀，+硝酸+水稀释，一般4:1:2，增加会降低刻蚀速率，边缘会比较齐整，增加硝酸比例可以加快刻蚀速率，衬底残留也会比较少，边缘会差一些。如果非晶的而且比较薄，用草酸溶液比较容易控制。
用椭偏仪(E)膜厚;扫描电子显微镜S测用(E观察ISM)T0薄膜的刻蚀效果并做X射线能谱一仪(D分析是否刻蚀完全;原子力显微镜ES)用(M)察PZ薄膜表面形态。AF观LT保在...
2010年11WUHANUNIVERSITYTECHNOLOGYVol.32No.22Nov.2010DOI:10.3963/j.issn.1671-4431.2010.22.039激光刻蚀ITO薄膜工艺研究(1.中国建筑材料科学研...
内容提示:论文分享苏州大学硕士学位论文ITO薄膜激光刻蚀控制系统的实现姓名:刘思远申请学位级别:硕士专业:控制理论与控制工程指导教师:刘文杰20100401...
ⅢⅤ族化合物半导体材料和ITO薄膜的ICP刻蚀研究浏览次数:21内容提示:●峨J』国内图书分类号:TN305单位代码:学号:密级:lS2‘267lO005S200702047公开北京...
本论文通过采用感应耦合等离子体(IcP)干法刻蚀系统,围绕GaAs,AlGaAs,ITO等半导体材料深入研究了其刻蚀规律,实现了G诅s材料的有角度侧壁刻蚀,ITO材料的刻蚀及AlG...
介绍了一种锆钛酸铅镧(PLZT)基铟锡氧化物(ITO)薄膜的湿法刻蚀法.用V(HCI):V(HNO3):V(H2O)=50:3:50的混合溶液对ITO进行不同温度的刻蚀试验.通过扫描电子显微镜(SE...
鉴于铟锡氧化物(indium-tinoxide,ITO)薄膜电加温玻璃在外观、力学、光学性能的特殊要求,激光刻蚀技术能否成功应用于该领域成为探讨的问题。本文通过激光器在不同工作功率和...
ITO薄膜激光刻蚀技术利用了ITO薄膜反射红外线,吸收紫外线能量的特性。使紫外激光直接在透明基板上对ITO薄膜进行刻蚀,通过计算机控制激光束的移动,薄膜吸收紫外激光能量后,从...
ITO薄膜热电极的制作及其表征,李广伟,孙建军,本文成功制作了ITO膜热电极,并对该电极的电化学和温度等性质进行了表征。研究了曝光时间、显影条件对电极刻蚀条件...
【摘要】:ITO薄膜激光刻蚀设备是由激光对附着在玻璃及PETFilm上的ITO薄膜实施剥离的精密尖端设备,与其他激光设备一样,在其工作过程中对激光的开关控制是很重要的一环。本...