随着MEMS技术的迅速发展,从客观上要求测试仪器向自动化、智能化方向发展。本论文提出一套基于虚拟仪器、数据采集卡和图形化编程语言LabVIEW的MEMS压力传感器测试系统的构建方案。其工作原理为:以计算机为控制中心,
提供MEMS陀螺仪综合测试系统设计与实现-论文word文档在线阅读与免费下载,摘要:第33卷第2期2015年6月≤谶越礅遁要JlCHENGDIANLUTONGXUNVo1.33No.2Jun.2015MEMS陀螺仪综合测试系统设计与实现王甫高玉霞鞠莉娜董冀赵轶卓(北方通用电子集团有限公司...
本论文在调研和分析了MEMS力学特性测试技术及可靠性测试技术研究现状的基础上,对应用相移显微干涉法测试分析MEMS力学特性参数以及在所得参数的基础上对微结构在振动和冲击环境下的可靠性展开研究,主要完成了以下几个方面的工作:1、从方法的类别
MEMS数字陀螺仪测试系统设计.王博.【摘要】:MEMS数字陀螺仪测试系统用来测试数字陀螺信号的性能,它应用于MEMS数字陀螺仪开发、研制及成品制作的每个工艺流程。.它是用来测试陀螺仪精度的应用型系统,该研究一方面可以测试陀螺仪的精度,评估陀螺仪的性能...
微机电系统(MEMS)毕业论文.摘要微机电系统(MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS)技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域,是微机械技术中的一类有代表性...
MEMS薄膜材料力学参数测试结构分析.pdf58页内容提供方:hp20083大小:22.04MB字数:约6.81万字发布时间:2019-08-21浏览人气:21下载次数:仅上传者可见收藏次数:0需要金…
MEMS技术的研究现状和新进展.现代制造工程2005(9)MEMS技术的研究现状和新进展摘要介绍MEMS技术几个主要方面的研究现状和最新进展:MEMS的技术、封装技术、检测技术。.阐述MEMS术仍面临的问题。.关键词:MEMSMEMS技术MEMS封装技术MEMS检测技术...
微结构(MEMS)材料力学性能测试技术.ppt,*微结构(MEMS)材料力学性能的测试技术MEMS技术的迅猛发展,推动了所用材料微尺度力学性能测试技术的发展。MEMS的定义:microelectromechanicalsystem(微电子机械系统)是集传感、信息处理和...
设计基于均匀设计的四因素(测试温度点、温变速率、MEMS陀螺转速及转动方向)试验方案。首先,构造试验所需的均匀设计表;其次,根据LP-偏差确定MEMS陀螺温度标定误差补偿实验的最佳试验方案;最后,搭建出MEMS陀螺温度标定的实验装置进行测试。
今天在网上看到一篇文章,把国内MEMS发展现状总结了一下。个人感觉他总结的比较全面,挺实在,中肯,部分内容我做了一定调整。1、国内MEMS界的第一牛人当数复旦大学的鲍敏杭鲍老师。鲍老师做传感器做了十多年了,有深厚的理论基础和实际经验,目前是S&A和JMM两本杂志的refree吧,不知道是不是...
编者按:自20世纪60年代微机械技术诞生以来,MEMS晶圆测试技术随着MEMS产品的发展而逐渐成熟,未来MEMS晶圆级测试系统向着标准化、模块化的开放式平台发展。微机电系统(MEMS)属于21世...
MEMS测试系统验证目前,国内MEMS晶圆级测试系统主要开展的是晶圆片电参数的测量,而国际上针对此部门的研究已经趋于成熟,国际上针对芯片和产品的力学参数开展了大量研究,下面逐一阐述...
本论文在调研和分析了MEMS力学特性测试技术及可靠性测试技术研究现状的基础上,对应用相移显微干涉法测试分析MEMS力学特性参数以及在所得参数的基础上对微结...
MEMS测试系统的研究现状与面临的挑战论文星级:6页暂无目录点击鼠标右键菜单,创建目录暂无笔记选择文本,点击鼠标右键菜单,添加笔记暂无书签在左侧文...
基于计算机视觉的MEMS测试系统毕业论文下载积分:1100内容提示:基于计算机视觉的=@=!测试系统冯亚林!!栗大超"!金翠云"!郝一龙!!张大成!!靳世久""!a北...
【摘要】:对当前MEMS技术进行了介绍,分析了其技术优势和应用方向,特别是针对MEMS技术的传感器技术进行了更深一步的剖析,结合飞机系统测试的实际情况提出了可行的应用设想。通...
MEMS中微结构动态测试技术进展[J].中国机械工程,2005,16(1):83-88.[3]ChristianRembe,RishiKant,andRichardS.Muller.OpticalMeas...
但是由于MEMS(Micro-electromechanicalSystems)技术的高速发展,小型飞行器开始大量采用捷联惯性测量单元(InertialMeasurementUnit,IMU)作为姿态测量单元。该...
收藏论文查重优惠论文查重开题分析单篇购买文献互助用户中心MEMS中几何量的测试方法来自知网喜欢0阅读量:45作者:李智,王向军展开摘要:...
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