当前位置：学术参考网 > mems技术及其应用论文
微机电系统(MEMS)技术及其应用.pdf,第24卷第6期泰安师专学报Vol.24NO.62002年11月JOURNALOFTAIANTEACHERSCOLLEGENov2002()微机电系统MEMS技术及其应用魏强(泰山学院物理系,山东泰安271021)[摘要]微机电...
MEMS振荡器技术及其应用研究.【摘要】：随着电子系统小型化、集成化的速度不断加快,对小型化、可集成的高性能振荡器的研究成为热点。.而MEMS谐振器以其高Q值、可集成、抗冲击性好等优点,为研制出小型化、可集成的高性能振荡器提供了可能。.由于MEMS谐振...
技术基础：设计、工艺(高深宽比多层微结构)、微装配工艺、微系统的测量等。应用研究：如何应用这些MEMS系统也是一门非常重要的学问。人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS器件用于实际系统，并从中受益。
MEMS技术及其应用主要内容MEMS技术简介MEMS技术应用微机械制造技术MEMS器件WhatisMEMSTechnology?MEMS(microelectromechanicalsystems)aredevicesthatinvolveintegratedmicro-devicesorsystems,usuallycomprisedofelectricalandmechanicalcomponents,producedusingmicroelectronics-compatiblebatch-processingtechniques.
光学MEMS微镜技术及其在激光雷达中的应用.S微镜技术及其在激光雷达中的应用董光焰,刘中杰(中国电子科技集团公司第27研究所,郑州450047:首先概述了MOEMS光学技术的应用及特点,并介绍一类MOEMS光学产品的机理,该技术使得三维实时扫描成像激光雷达小型...
MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述,微机电系统,微电子技术,生物芯片,传感器。介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展…
MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生物医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由
1.MEMS技术及其应用.李德胜等2.微机械与微细技术.苑伟政等3.MEMS和微系统——设计与制造.（美）徐泰然等4.微传感器与微执行器全书.（美）格雷戈里T.A.科瓦奇5.微电子制造科学原理与工程技术（第二版）.（美）坎贝尔（中、英文版都可以）
1孔德义;梅涛;;MEMS技术及其在汽车传感器中的应用[A];2004“安徽制造业发展”博士科技论坛论文集[C];2004年2陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集（下册）[C];2010年
MEMS微针技术及其工艺研究.蒋宏民.【摘要】：微针作为一种新型MEMS器件，在生物医学领域具有广泛的应用需求。.从工艺来划分，微针可分为异平面微针与同平面微针。.异平面微针可以成阵列结构，因而在微针经皮给药应用时药物可以在皮肤上...
论文>毕业论文>微机电系统MEMS技术及其应用(泰山学院物理系,山东泰安271021)微机电系统是一个新兴的技术领域.阐述了微机电系统的特点、工艺、应...
《MEMS技术及其应用》⇩作者:李德胜等编著出版:哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社页数:301✅真实服务非流量️出版时间:2002.03(求助前请核对清楚)求助编号:9108950850...
(论文)非硅MEMS技术及其应用下载积分:1500内容提示:器和微电控为一一体的机电系统』,是一个多学科交叉的高新技术领域。MEMS是一种全新j;l...
对频率技术进行了简要的介绍,并用ADIsimPLL建立MEMS振荡器模型,以此模型代入ADIsimPLL中进行锁相环的设计。根据结果对MEMS振荡器在频率源中的应用进行分析和说明...
第十四届全国遥测遥控技术年会论文MEMS技术及其在卫星中的应用王晓海中国航天科技集团公司五院五零四研究所空间微波技术国家级重点实验室陕西西安710100E—mai...
基于MEMS技术的纳米孔研究及其应用张华侣【摘要】:基于纳米孔的单分子检测技术在未来精准医疗、生物制药、遗传工程等领域有广泛的应用。固态纳米孔作为其中的核心组成部分,...
预计将来高端智能手机将采用数十个MEMS器件以实现多模通信、智能识别、导航/定位等功能。MEMS硬件也将成为LTE技术亮点部分,将利用MEMS天线开关和数字调谐电容器实现多频带技术。以...
MEMS技术及其在军事中的应用来自知网喜欢0阅读量:33作者:冯亚林,郝一龙展开被引量:3年份:2006收藏引用批量引用报错分享全部来源求助全文知网...
相关论文评论(0)(0)MEMS技术及其在光网络中的应用首发时间:2009-07-16刘明1谢锋11、北京邮电大学自动化学院摘要:随着光通信技术特别是密集波...