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南昌大学硕士学位论文MEMS气体压力传感器的系统级封装（SiP）技术研究姓名：陈思远申请学位级别：硕士专业：机械设计及理论指导教师：罗玉峰20070602摘要摘要压力传感器是MEMS技术的重要应用，目前以MEMS工艺技术开发的压力传感器正广泛应用于汽车电子领域，但是MEMS封装成本占到了MEMS...
新型MEMS气体传感器研究.【摘要】：目前,微电子机械技术由于得到集成电路工业的支持,其发展速度异常迅猛。.微结构气体传感器已逐渐成为气体传感器领域的一种主要结构形式。.用该技术制作的微结构气体传感器具有体积小、功耗低、灵敏度高、重复性、易...
为后期对MEMS红外气体传感器的性能优化以及工艺改进，提供了理论和实验上的基础。.本论文主要内容包括：（1）利用有限元分析软件COMSOLMultiphysics对MEMS红外气体传感器的两个核心部分，发射单元和探测单元分别作了分析。.对发射单元进行了焦耳热...
基于MEMS技术的氧气微传感器机理研究与设计研究生：颜黄苹指导教师：冯勇建副教授f氧气传感器是气体传感器的主要分支之～。氧气传感器已广泛地应用于冶金、食品保鲜、医疗、生物、环保等领域。长期以来，各种氧气传感器的研究异常活跃。
MEMS气体传感器的优势.(1)微型化：MEMS器件体积小，一般单个MEMS传感器的尺寸以毫米甚至微米为计量单位，重量轻、耗能低。.同时微型化以后的机械部件具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。.MEMS更高的表面体积比(表面积比体积)可以提高表面传感器...
微机电系统（MEMS）毕业论文.摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性...
论文研究MEMS气体传感器微热盘建模与.pdf.MEMS气体传感器微热盘建模与，张卫东，丁恩杰，本文设计了两种以Pt为加热电极，SiO2为绝缘层的MEMS气体传感器的微盘模型。.通过有限元分析了两种微热盘的稳态特性，加热温度达.
今天在网上看到一篇文章，把国内MEMS发展现状总结了一下。个人感觉他总结的比较全面，挺实在，中肯，部分内容我做了一定调整。1、国内MEMS界的第一牛人当数复旦大学的鲍敏杭鲍老师。鲍老师做传感器做了十多年了，有深厚的理论基础和实际经验，目前是S&A和JMM两本杂志的refree吧，不知道是不是...
MEMS行业产品结构类别领域主要产品MEMS传感器惯性传感器加速度计、陀螺仪、磁传感器、惯性传感组合压力传感器压力传感器声学传感器微型麦克风、超声波传感器环境传感器气体传感器、湿度传感器、颗粒传感器、温度传感器光学传感器傅里叶变换红外
MEMS非接触温度传感器：对静止人体也能检测，高灵敏度的人体感应传感器。MEMS开关：高频，小型，长寿命的MEMS开关。参考资料1.MEMS传感器最新新闻资讯．OFweek传感器网[引用日期2016-07-21]2.MEMS传感器在汽车电子中的应用．汽车电子网
MEMS气体传感器的分类和优势目前,气体传感器的应用日趋广泛,在物联网等泛在应用的推动下,其技术发展方向开始向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。具有代表性的基于金属氧...
(华大学精密仪器与机械学系微光机电集成技术研究室,京108)清北004摘要:综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理,括谐振式微悬臂梁型、包声表...
本文提出了一种基于硅压阻效应的新型MEMS气体传感器,其结构主要是由制作在硅薄膜表面的惠斯通电桥和在硅薄膜表面积淀的一层聚合物气敏薄膜构成。聚合物气敏薄膜在吸收气体发...
基于理论研究结果,本论文采用MEMS制造工艺线开展了实际硅基MEMS气体传感器的制造工作,成功研制出悬浮式结构的单层绝缘层结构的微热板;同时研究了不同工艺条件下SnO_2气敏厚膜...
智能mems气体传感器中微加热器的优化设计.doc,智能MEMS气体传感器中微加热器的优化设计导语:?传统的金属氧化物气体传感器通常用于测量可燃性烃类气体和其他有毒气体。但是,他们存在...
本文着重研究一种基于MEMS技术的可实现微型化、批量生产、高集成度的红外气体传感器结构,并探索其实现的工艺制作流程。为后期对MEMS红外气体传感器的性能优化以及工艺改进,提...
气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。探测头通过气体传感器对气体样品进行调理,通常包括滤除杂质和干扰气体、干燥或制冷处理仪表显示部分。
毕业设计(论文)说明书题目:基于单片机的半导体气体传感器算法电路设计系名信息工程系专业电子科学与技术学号6010202028学生姓名指导教师2014年...
目前,MEMS气体传感器在国外也只是刚刚兴起,在国内则还停留在大学、研究所试验室阶段,这些国内试验室多数考虑的是发表论文、获取科研项目,缺乏产业化的知识和视野。国内多数大学...
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