本论文的主要工作是参加微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)的研制.介绍了不锈钢石英钟罩式MPCVD设备的构成,该设备主要由微波源及传输系统,模式变换器以及等离子体放电腔,真空及气路系统,水冷系统以及测温系统构成;分析了微波的产生以及传输过程以及采用控制...
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)综述.doc,等离子体增强化学气相沉积（PECVD）综述摘要：本文综述了现今利用等离子体技术增强化学气相沉积（CVD）薄膜的原理、工艺设备现状和发展。关键词：等离子体；化学气相沉积；薄膜；一...
PVCD等离子体化学气相沉积设备的研究设备,等离子体,研究,化学气相,设备的,气相沉积山东大学硕士学位论文PVCD等离子体化学气相沉积设备的研究姓名：张颖颖申请学位级别：硕士专业：电力电子与电力传动指导教师：安德祥2002.11.8山东大学...
毕业论文PAGEPAGE2精品太阳能光电工程学院《材料设备概论》课程设计报告书题目：等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状姓名：专业：光伏材料与应用技术班级：09级光伏材料助考班指导教师：摘要本设计主要阐述了等离子体增强化学气相沉积PECVD的基本原理，什么叫PECVD...
等离子体刻蚀与沉积研究以及实验验证.随着集成电路的迅速发展，芯片尺寸的不断减小，对于半导体工艺的精度要求也越来越高。.等离子体刻蚀和沉积工艺由于其可以控制反应速率、精度高、较好的均匀性、可重复性等优点而广泛应用到半导体...
学术论文：PLD方法沉积ZnO薄膜及其光电性能研究.氧化锌（ZnO）是新一代的II一族宽带半导体材料，具有纤锌矿晶体结构，禁带宽度为3．37eV，激子能为60meV，可以实现室温下的受激发射。.ZnO薄膜具有良好的透明导电性、压电性、光电性、压敏性，并且易于...
等离子体化学气相沉积石英玻璃的基础研究材料是人类可以利用的物质，一般是指固体。而材料学是研究材料的或工艺、材料结构与材料性能三者之间的相互关系的科学。涉及的理论包括固体物理学，材料化学，..
本论文通过研究阴极电解等离子对金属表面的作用,通过参数的调控及电解过程中信号的检测,阐明了电解等离子放电的机理,解释了清洗及沉积过程之间的关系,并依据不同类型的涂层沉积机理,设计开发了新型的金属掺杂Al_2O_3涂层。
等离子体放电及与材料相互作用示意图鉴于等离子体放电与材料相互作用领域关键物理问题研究的挑战性与紧迫性，《物理学报》特组织“等离子体物理及其材料处理”专题，邀请国内部分活跃在该领域前沿的专家撰稿，以综述和研究论文的形式，从等离子体物理及其材料处理的角度，较全面...
直线等离子体沉积/刻蚀<10<101010-6射频等离子体反应/离子刻蚀10-2~10-1101010-6~10-4磁控溅射10...本论文依托现有等离子体放电系统,通过调研和材料表面处理特殊要求,分析,设计、搭建研制了新型RF等离子体放电系统,相关放电系统的…
文论文题目:等离子体电解沉积的研究现状生姓名:栗然所在院系:机电学院所学专业:机电技术教育导师姓名:要等离子体电解沉积(plasmaelectrolyticdeposition,P...
PECVD的维护保养184.7PECVD工艺流程中主要参与的化学方程式194.8PECVD中的应力控制20第5章PECVD的未来与展望21参考文献22致谢23等离子增强化学...
内容提示:河南科技学院本科毕业论文(设计)论文题目:等离子体点解沉积的研究现状学生姓名:所在院系:机电学院所学专业:机电技术教育导师姓名:完成...
等离子体电解沉积表面技术及其发展[期刊论文],等离子化学气?5a0??沉积,等离子体化学气相沉积,等离子气相沉积,等离子体电解氧化,阴极等离子沉积,等离子体沉积,等...
本文的目的是采用低功率电子束蒸发法(EBD),研究基于聚苯胺和聚氯乙烯原材料添加掺杂剂形成聚合物基复合薄膜的等离子相技术,分析所复合薄膜的成分、相结构、形貌及其...
通过单线条激光诱导等离子体沉积铜实验,确定了紫外激光和红外激光对铜材料的沉积阈值。当紫外激光能量密度达到约8J/cm~2,红外激光能量密度达到约12.5J/cm~2时,才会有明显的沉...
等离子体增强CVD(PECVD)技术借助微波或射频等离子体,使前驱体分子裂解,产生活性自由基、带电离子等,并在低温下沉积,实现无催化原位薄膜和纳米材料,被广泛应用于半导体工业中。此...
等离子辅助电子枪蒸发沉积AlN薄膜,黄孟祥,陈俊芳,利用ICP离子源辅助电子枪低温蒸发沉积AlN薄膜,对薄膜进行XRD谱分析,用AFM原子力显微镜测试了薄膜的表面形貌,...
WuhanInstituteofTechnology硕士学位论文积双阴极等离子沉积TiN涂层的工艺及性能研究学科专业::机械工程研研究生:吴新蕾指导教师:徐江教授王瑜辉高工培...
沉积类金刚石碳膜孙刚,辛煜,卢春山(.州大学物理与科学技术学院,苏苏州251;.苏省薄膜材料重点实验室,苏苏州250)1苏江1062江)江106摘要:出了...