PECVD氮化硅薄膜的研究进展毕业设计（论文）（2013届）题目PECVD氮化硅薄膜的研究进展学号1003020147姓名钟建斌所属系新能源科学与工程学院专业材料及技术应用班级10材料（1）班指导教师胡耐根新余学院...
《等离子增强化学气相沉积(PECVD)的工艺流程》-毕业论文（设计）.doc,等离子增强化学气相沉积（PECVD）的工艺流程PAGEPAGE2毕业设计（论文）（2012届）题目等离子增强化学气相沉积(PECVD)的工艺流程学号0903010033姓名所属...
毕业论文PAGEPAGE2精品太阳能光电工程学院《材料设备概论》课程设计报告书题目：等离子体增强化学气相沉积PEVCD的研究现状姓名：专业：光伏材料与应用技术班级：09级光伏材料助考班指导教师：摘要本设计主要阐述了等离子体增强化学气相沉积PECVD的基本原理，什么叫PECVD...
毕业论文>(材料物理与化学精品论文)PECVD沉积的氮化硅薄膜热处理性质研究浙江大学硕十论文姚日英PEcVD沉积的氮化硅薄膜热处理性质研究摘要氮化硅薄膜是一种多功能材料，在许多领域有着广泛的运用：在微电子材料及器件生产中，氮化硅...
PECVD氮化硅薄膜的研究进展毕业设计.doc,毕业设计(论文)(2013届)题目PECVD氮化硅薄膜的研究进展学号1003020147姓名钟建斌所属系新能源科学与工程学院专业材料及技术应用班级10材料(1)班指导教师胡耐根新余学院...
毕业论文>等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法碳化硅薄膜及其性质研..nullwp201606分享于2016-06-3015:19:10.0等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法碳化硅薄膜及其性质研究文档格式：.pdf文档页数：61页文档大小：2.35M文档热度...
毕业论文>PECVD和ICP刻蚀技术及应用分类号密级UDC编号中国科学院研究生院博士学位论文PECVD和ICP刻蚀技术及应用指导教师杨富华研究员中国科学院半导体研究所申请学位级别工学博士学科专业名称微电子学与固体电子学论文提交日期...
《单晶硅太阳能电池表面PECVD淀积SiN减反射膜工艺研究》-毕业论文（设计）.doc,PAGEPAGEI南通大学毕业设计（论文）立题卡课题名称单晶硅太阳能电池表面PECVD淀积SiN减反射膜工艺研究出题人课题表述（简述课题的背景、目的、意义...
基于PECVD薄膜性能对高深宽比TSV工艺的研究.这是一篇关于等离子体增强化学气相沉积(PECVD),二氧化硅（SiO2）,单变量试验(SVT)相关方向的论文(附下载链接),论文主要内容是本文基于电子元器件的制造流程,深入结合后道封装中的硅通孔（ThroughSiliconVia）技术...
激光与光电子学进展杂志2020年第13期PECVD技术光学薄膜的研究进展用户：壹诺芊唫2021-04-28上传侵权/申诉导语本论文发表于激光与光电子学进展杂志，属于工业相关论文范文材料。仅供大家论文写作参考。...
黑龙江大学硕士学位论文PECVD法纳米硅薄膜及其研究姓名:李刚申请学位级别:硕士专业:微电子学与固体电子学敏感元器件与传感器技术指导教师:温殿忠2007...
太阳能电池PECVD装置设计-毕业论文.doc,PAGE毕业设计设计题目太阳能电池PECVD装置设计___学生姓名王真_学号20090761专业班级机械设计制造及其自动化...
凝聚态物理专业毕业论文[精品论文]PECVDa-SiC:H薄膜及激光退火研究关键词:氢化非晶碳化硅薄膜激光退火碳化硅等离子增强化学气相沉积摘要:碳化硅(...
PECVD法氮化硅薄膜探讨(定稿).pdf,毕业设计(论文)(2012届)题目PECVD法氮化硅薄膜的探讨学号0903025033姓名邓鹏飞所属院新能源科学与工程学...
硕士学位论文PECVD法纳米硅薄膜及其研究姓名:李刚申请学位级别:硕士专业:微电子学与固体电子学·敏感元器件与传感器技术指导教师:温殿忠20070517中文摘要本文详细...
PECVD非晶硅Al诱导晶化真空退火机理以Si(100)为衬底,采用磁控溅射和射频等离子体增强化学气相沉积系统了Si(100)/Al膜/非晶Si膜结构的样品.对该样品进行Al诱导真空退火以...
其中等离子增强化学气相沉积法(PECVD)是已被普遍采用的方法,在PECVD沉积非晶硅的方法中,PECVD的原料气一般采用SiH4,和H2,叠层电池时用SiH4,和GeH4,加入B2H6,和PH5可同...
本文采用PECVD技术出的高折射率薄膜材料氮化硅(SiNx)、高激光损伤阈值薄膜材料氧化硅(SiOx)以及低折射率薄膜材料含氟氧化硅(SiOxFy)作为激光高反膜需要的薄膜材料,研...
高效率、低成本的晶体硅太阳能电池对于大规模利用太阳能发电有着十分重要的意义,其中,等离子体增强化学气相沉积(Pla论文范文aEnhancedChemicalVaporDeposition,...
[10]何佳燊.基于RGB-D的移动机器人跟随系统设计[D].浙江工业大学,2019.[11]江健.微小型UVMS设计及水下机器人多机协作研究[D].浙江工业大学,2019.[12]陈鹏.PECVD流程中工业机器...