分类号密级UDC编号中国科学院研究生院博士学位论文PECVD和ICP刻蚀技术及应用指导教师杨富华研究员中国科学院半导体研究所申请学位级别工学博士学科专业名称微电子学与固体电子学论文提交日期2009论文答辩日期2009培养单位中国...
PECVD工艺参数及退火对氮化硅薄膜性能的影响.柳聪.【摘要】：氮化硅薄膜由于具有耐磨性好、机械强度高、绝缘性好并能够抗碱金属离子、水汽的侵蚀而被广泛用于半导体器件的钝化层、介质层及微结构器件的结构支撑层。.等离子增强化学气相沉积(PECVD)法...
研究PECVD光学薄膜均匀性控制技术,明确光学薄膜过程中均匀性的控制方法,对于采用PECVD技术光学薄膜的应用有着广泛的意义。.本文采用PECVD技术分别在Φ150mm的B270和硅片基底上沉积了光学薄膜,研究了高折射率、中间折射率以及低折射率膜层的光学...
【摘要】：本论文分析了平板式PECVD设备的布气系统,找到了在低压情况下用FLUENT软件模拟气场的方法,模拟了反应放电室的压力场和速度场。分析了不同结构的布气方式对气场压力均匀性的影响；并对比了设定的参考点的压力,来对气场中的布气筛结构进行分析改进,以使参考点的压力分布得到改善...
浙江大学硕士论文姚日英PEcVD沉积的氮化硅薄膜热处理性质研究2．1引言第二章文献综述氮化硅薄膜具备良好的光电性质、钝化性能和抗水汽渗透能力，并能有效阻止B、P、Na等杂质的扩散，因此在光电子和微电子器件中得到广泛的应用，主要用来做绝缘层...
PECVD淀积SiO2薄膜工艺研究.pdf,第1期微处理机No．12010年2月MICROPROCESSORSFeb．，2010PECVD淀积SiO2薄膜工艺研究崇亢拮，黎威志，袁凯，蒋亚东(电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都...
去知网搜索一下相关文献，尤其是硕博士论文，一般会讲一些石墨烯方法，我记得以前看过几篇。如果知网…首页会员发现等你来答登录石墨烯材料科学与工程石墨烯CVD法和PECVD法有什么重要的区别哇...
中国科学院上海冶金研究所硕士学位论文等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法碳化硅薄膜及其性质研究姓名：姜利军申请学位级别：硕士专业：材料物理化学指导教师：徐立强1999.12.11伴随着集成电路工艺的迅猛发展，集成电路封装22．艺已经成为影响集成电路芯片的应用范围和可靠性的...
PECVD氮化硅薄膜工艺及性能测试研究.氮化硅薄膜具有优良的光电性能和机械性能,在集成电路、微机械电子、太阳能电池以及显示器件领域都有着广泛的应用。.等离子体增强化学气相沉积(PECVD)因其沉积效率高、薄膜均匀性好且可灵活操作的优势成为...
等离子体增强化学气相沉积（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD）的氮化硅（SiNx）薄膜（以下简称PECVD氮化硅薄膜）是提高太阳能电池光电转换效率的关键,研究PECVD氮化硅薄膜制造过程的质量控制...
薄膜太阳能电池是第二代太阳能电池,是降低太阳电池成本的主要手段和发展趋势,而非晶硅薄膜是高效廉价光伏太阳电池的理想材料,开展对PECVD设备和非晶硅薄膜生长的关键工艺进行...
论文从碳纳米管生长工艺、场发射性能的改善以及场发射平板显示器制作等三方面进行了较为深入的研究。建立了一台多功能超高真空系统。采用PECVD技术,不仅生...
41,No.3June,2019文章编号:1005-5630(2019)03-0081-06DOI:10.3969/j.issn.1005-5630.2019.03.013PECVD氮化硅薄膜性质及工艺研究李攀1,张倩2,夏金松1,卢...
本文首先系统开展了用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法在不同基体表面进行氨基功能化处理、纳米金颗粒的及其在基体表面负载、纳米金负载Y型沸石及其在基体表面沉积等...
【摘要】:研究型实验是培养大学生创新意识、创新能力和科学研究素养的重要教学内容.以等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术硅基薄膜为例,详细介绍了开展研究...
内容提示:南开大学博士学位论文用于硅基薄膜太阳电池的大面积VHF--PECVD系统模拟与实验研究姓名:葛洪申请学位级别:博士专业:电子科学与技术;微电子学与固...
ThermPECVD180A6EvaporatorCHA181A7OldEvaporator181A8ThermalEvaporator182BELECTRICALMEASUREMENTS183B1Purpose183B2OhmicContacts183B21Overview183B22Proce...
厦门大学硕士学位论文PECVDa-SiC:H薄膜及激光退火研究姓名:黄俊申请学位级别:硕士专业:凝聚态物理指导教师:吴正云20090501摘要碳化硅(SIC)材料由...
PECVD流程中工业机器人程序设计自动导引运输车路径规划与优化调度基于AI+视频监控的智慧城市中心系统栏目导航语文论文数学论文英语论文物理论文化学论文生物论文...
1秦福文;吴爱民;王艳艳;冯庆浩;李伯海;;采用ECR-PECVD技术低温生长多晶硅薄膜[A];2006年材料科学与工程新进展——“2006北京国际材料周”论文集[C];2006年2黄锐;魏俊红;林...