电离规真空计的设计与研究.pdf,学校代码：幽研究生学号：10200200821318分类号：TP391密级：玉东北JIf≯范大季硕士学位论文TheandResearchofIonizationVacuumDesignGauge作者：黄帅指导教师：乔双教授学科专业：电路与系统研究...
基于单片机的真空计检漏法作为真空检漏的一种方法，因其性价高、操作方便等较多的优点得到越来越多的重视和应用。.本文出于方便、经济、实用等方而考虑，对基于单片机真空镀膜机检漏仪进行设计研究。.本论文采用电离真空规来测量真空镀膜室内压力...
，电离真空计各种真空计测量范围的比较图1.1图1.1各种真空计测量范围Fig1.1Avarietyofvacuumgaugemeasurementrange1.1.3真空镀膜概述真空镀膜将膜材置于真空加热，真空镀膜是物理镀膜方法中最常用的方法，几乎所有类型的薄膜都可以利用真空镀膜
这就是电离真空计工作原理。由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计，其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。热阴极电离真空计由测量规管(或规头)和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。
2电离真空计的工作原理电离真空计是通过使气体分子电离，测量离子数量(电流)而得出压强3冷阴极电离真空计的工作原理图冷阴极电离真空计是一种相对真空计。它由规管和测量电路两部分组4复合真空计的原理与使用方法复合真空计由温差电偶真空计和热
5.4热传导真空计2815.4.1电阻真空计（皮拉尼真空计）2815.4.2热偶真空计2835.4.3热传导真空计的优缺点2845.5热阴极电离真空计2845.5.1普通热阴极电离真空计2845.5.2B-A真空计2865.6冷阴极磁控放电真空计（潘宁真空计)2875.7四极质谱计2885.7.1四极
冷阴极电离真空计是一种相对真空计。它由规管和测量电路两部分组成。图17示出冷阴极电离真空计的示意图。冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计一样，是利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量，由…
射频溅射时，采用高频射频电源（13.56MHz），分别将靶材和真空室的其他部分耦合在电源的两极，衬底处于靶材对应的位置，与靶材间距为5cm，射频磁控溅射时放电的过程（工作气体为Ar1）无光放电打开射频电源及电流显示器，即会有十毫安以下以下的电流...
论文生活休闲外语心理学全部建筑频道建筑文本施组方案交底用户中心充值...-5适用主要的真机械泵机械泵、增分子泵、离心泵适用主要的真热偶真空计电离真空计电离真空计，磁控真空计真空的分类和所用真空设备5.1.2对于真空计...
当真空室内部真空度达到镀膜要求准备镀膜时，要关闭电离真空计。当镀膜完成后结束全部工作时,关复合真空计开关，关油扩散泵，开机械泵，必须有循环水工作，油扩散泵的温度降下来后，这样实验才算结束，而后关闭机械泵、循环水及总电源。
当真空度为(1o.1～100)Pa时,一般我们应用电离真空计来测量真空度,电离真空计使用方便,反应速度快,并且可以连续进行测量,因而电离真空计应用广泛。本论文详尽...
当真空度为(1o.1～100)Pa时,一般我们应用电离真空计来测量真空度,电离真空计使用方便,反应速度快,并且可以连续进行测量,因而电离真空计应用广泛。本论文详尽...
关键词:二次电子;高压强;基本理论;电离计;电离真空计;碰撞次数;期刊名称:成都电讯工程学院学报issn:1008-8105年卷期:1981年003期页码:36-45摘要:该文...
电离真空计测量结果的不确定度评定_专业资料。依据JJG45-1999《比对法校准真空计校准规程》,使用真空计量装置对ZDK-I型真空计进行示值误差测量,并对测量结果不...
电离真空计现场校准的测量不确定度评定_物理_自然科学_专业资料。计测技术力学专业?165?电离真空计现场校准的测量不确定度评定欧雷(中航工业成都飞...
1高辉;;最新开关电源IC芯片技术在电离真空计应用研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年2张露;刘必成;张晓良;吕林莉;;抗体芯片技术在慢...
摘要:通过对国际上新颁布的两项ISO标准以及我国检定规程的剖析,利用我院比较法真空标准装置,对磁悬浮真空计校准电离真空计的方法进行了研究,并对不确定度进行...
论文服务:摘要:针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术,本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型,并通过PSPICE仿...
复合真空计的原理和使用方法.doc,?真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多,这里介绍的复合真空计是常见的一种,复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极...
aging789分享于2015-09-0115:37:8.0电离真空计用作真空保护系统传感器的响应时间的研究,电离真空计,冷阴极电离...文档格式:.pdf文档页数:5页文档大小:20...