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电容式加速度传感器的优化设计.冯建斌.【摘要】：加速度传感器作为最重要的力学量传感器之一,从诞生之日起就受到人们的广泛关注。.其中,电容式加速度传感器因具有较高的灵敏度和测量精度、良好的稳定性、较小的温度漂移、极低的功耗等优点因而被...
合肥工业大学硕士学位论文基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究姓名：朱华铭申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：许高斌201204基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究微机械加速度传感器以其体积小、易集成和功耗低等优点，在军用和民用设备上都有广…
一种电容式速度传感器.doc,一种电容式MEMS线加速度传感器的设计MEMS以及传感器介绍MEMS即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子...
电容式加速度传感器的原理结构如图1所示，由图可见，它实际上是变极距差动电容式位移传感器，配接“m-k-c”系统构成的。质量块4由两根弹簧片3支撑于壳体2内，质量块4的A面与上固定极板5组成的电容C1，以及质量块4的B面与下固定极板1...
电容式加速度传感器（你会知道的文章）加速度传感器是一种能够测量加速度力的设备，加速度力就是当物体在加速度过程中在物体上的力;比如地球引力、汽车加速时候的力、电梯上下的时候这些都是加速度力。现代科技要求加速度传感器应用在很多领域比如：军工、空间系统、科学测量等领域...
2.2差动电容原理图2.2加速度传感器部分的等效电路电容式加速度传感器的传感单元是通过改变电极间的间距引起电容的差分变化，来测量加速度信号的，图2.3是其等效电路图，其中传感单元的固定电极作为MEMS加速度信号处理电路研究设计公共电极输出
加速度传感器(accelerationtransducer)是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。根据牛顿第二定律加速度a=F/m，在加速过程中，传感器通过敏感元件对质量块所受惯性力的测量，即可得到加速度值。
图3：MSRPC软件的数据评估图总结：三轴加速度传感器是一种能够测量物体空间中的加速度的电子设备，根据传感器实现原理的不同，可分为压阻式、压电式、电容式等类型，这些传感器上的本质原理都是通过传感元件将物体加速度转化为其他的物理量，如电阻、电压、电容等，再通过转化和滤波...
电容式加速度传感器的构造当前大多数的电容式加速度传感器都是由三部分硅晶体圆片构成的，中层是由双层的SOI硅片制成的活动电容极板。如图所示，中间的活动电容极板是由八个弯曲弹性连接梁所支撑，夹在上下层两块固定的电容极板之间...
电容式加速度传感器的构造当前大多数的电容式加速度传感器都是由三部分硅晶体圆片构成的，中层是由双层的SOI硅片制成的活动电容极板。如图所示，中间的活动电容极板是由八个弯曲弹性连接梁所支撑，夹在上下层两块固定的电容极板之间。提高...
在实际应用中电容式加速度传感器较多地用于低频测量,其通用性不如压电式加速度传感器,且成本也比压电式加速度传感器高得多。
电容式加速度计与其它类型的加速度传感器相比具有灵敏度高、零频响应、环境适应性好等特点,尤其是受温度的影响比较小;但不足之处表现在信号的输入与输出为非线...
【摘要】:加速度传感器作为最重要的力学量传感器之一,从诞生之日起就受到人们的广泛关注。其中,电容式加速度传感器因具有较高的灵敏度和测量精度、良好的稳定性、较小的温度...
·电容式加速度计开环检测原理第22-25页·加速度传感器电容检测原理第22-24页·加速度传感器的电学原理第24-25页·加速度传感器闭环检测原理第25-26页·电...
【摘要】:电容式微机械加速度传感器是重要的惯性器件之一,具有体积小、成本低、功耗低等优点,在生产生活各个领域得到了广泛的应用。随着科学技术的发展,对微加速度计提出了...
作者:王守明2010年3月20日/windflowerlees【名校毕业论文精选】硅基电容式三轴加速度传感器研究摘要与传统加速度计相比,微机械加速度计具有成本低、体积小...
内容提示:合肥工业大学硕士学位论文硅基电容式三轴加速度传感器研究姓名:王守明申请学位级别:硕士专业:微电子学与固体电子学指导教师:许高斌20100401硅基...
硅基电容式三轴加速度传感器研究硕士论文2011-06-17上传大小:3.00MB所需:10积分/C币硅基光电子计算研究进展报告个人整理的硅基光电子计算研究进展报告,...
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图5是一种典型的静电力平衡式硅微加速度传感器[6]。基本结构仍是玻璃-硅-玻璃“三明治”式。上下两块玻璃上沉积了金属层,与中间的掺杂硅片有2μm间隙,构成10pF...