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电容式加速度传感器的优化设计.冯建斌.【摘要】：加速度传感器作为最重要的力学量传感器之一,从诞生之日起就受到人们的广泛关注。.其中,电容式加速度传感器因具有较高的灵敏度和测量精度、良好的稳定性、较小的温度漂移、极低的功耗等优点因而被...
西安电子科技大学硕士学位论文MEMS电容式加速度传感器检测电路研究姓名：刘冬申请学位级别：硕士专业：软件工程（微电子）指导教师：张鹤鸣;高勇20100101摘要摘要电容式传感器是将被测量的非电量变化转换为电容变化量的一类传感器。
合肥工业大学硕士学位论文基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究姓名：朱华铭申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：许高斌201204基于MEMS技术的三轴电容式加速度传感器研究微机械加速度传感器以其体积小、易集成和功耗低等优点，在军用和民用设备上都有广…
压电式加速度传感器结构牢固，但是频响不能到零，而压阻式加速度传感器虽能敏感稳态加速度，但容易由过量冲击和共振造成损坏，它不具有某些应用场合所要求的坚固程度和低“g”值测量时所需的精确度，并且对温度敏感变电容式加速度传感器正好弥补了上述
一种电容式速度传感器.doc,一种电容式MEMS线加速度传感器的设计MEMS以及传感器介绍MEMS即微机电系统,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子...
加速度传感器研究现状.doc,加速度传感器研究现状【摘要】加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。介绍了加速度传感器的产生，加速度传感器的应用和原理和加速度传感器的未来发展趋势。随着传感器的发展加速度传感器加速度传感器未来发展态势喜人，加速度传感器的应用也越来越普遍...
电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。在采用电容技术的应用中，电容式接近开关的灵敏度取决于目标物体的…
图3：MSRPC软件的数据评估图总结：三轴加速度传感器是一种能够测量物体空间中的加速度的电子设备，根据传感器实现原理的不同，可分为压阻式、压电式、电容式等类型，这些传感器上的本质原理都是通过传感元件将物体加速度转化为其他的物理量，如电阻、电压、电容等，再通过转化和滤波...
电容式加速度传感器的构造当前大多数的电容式加速度传感器都是由三部分硅晶体圆片构成的，中层是由双层的SOI硅片制成的活动电容极板。如图所示，中间的活动电容极板是由八个弯曲弹性连接梁所支撑，夹在上下层两块固定的电容极板之间...
【摘要】：论文选题来自科研实践，在介绍MEMS惯性传感器背景和发展现状和讨论了MEMS系统机械结构动力学机电耦合分析方法的基础上，研究工作主要分为两个部分：第一部分介绍了微加速度器的结构设计和工作原理，包括电容式梳齿结构静电驱动及其相关原理，同时对电容式微传感器器件中的各个...
在实际应用中电容式加速度传感器较多地用于低频测量,其通用性不如压电式加速度传感器,且成本也比压电式加速度传感器高得多。
关键词:加速度传感器;差分电容结构;结构优化设计;有限元模拟电容式加速度传感器的优化设计大连理工大学专业学位硕士学位论文TheOptimalDesignCapacitiveAcce...
电容式加速度传感器讲解.doc,电容式加速度传感器电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器,其中一个电极是固定的,另一变化电极是弹性膜片。弹性膜片在外力(气压、...
电容式加速度传感器基于电容原理,通常这类传感器都是够准确测量出气体或液体在流动时所产生的振动速度,同时也能检测出它们压力值。当前,电容式加速度传感器作为一种深受市场欢迎的加速度传感器,...
作者:李国珍,邰爱民转贴自:本站原创更新时间:2008-8-511:31:00文章录入:sws]本文首先说明了MEMS电容式加速度传感器的特点,然后阐述了MEMS电容式加速度传...
【摘要】:加速度传感器作为最重要的力学量传感器之一,从诞生之日起就受到人们的广泛关注。其中,电容式加速度传感器因具有较高的灵敏度和测量精度、良好的稳定性、较小的温度...
硅基电容式三轴加速度传感器研究硕士论文2011-06-17上传大小:3.00MB所需:10积分/C币硅基光电子计算研究进展报告个人整理的硅基光电子计算研究进展报告,...
电容式加速度传感器(三向)型号:CA-DR-3050特点:●三向输出,低至零频●单电源供电,电压输出,使用方便主要技术指标:灵敏度测量范围(峰值)最大横向灵敏度频率响应(-3...
当被测量经过变压器式电桥变换后,将微弱的交流信号送入仪用放大器进行放大,为了恢复原来被测量缓慢信号,采用相敏检波器将交流的幅度变化转换成正比于传感器电容ΔC的直流电平。其相...
这里要简单说一下电容式加速度传感器其结构形式一般也采用弹簧质量系统。当质量受加速度作用运动而改变质量块与固定电极之间的间隙进而使电容值变化。电容式加速度计与其它类...