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【摘要】：物理气相沉积(PVD)方法的涂层具有高硬度、耐磨性能良好和化学性能稳定等优点,已经在刀具、模具、汽车及航空航天等行业获得广泛应用。开展PVD涂层的摩擦磨损基础研究能为涂层的开发和工业应用提供指导,同时对深化涂层摩擦学基础理论具有重要意义。
铜互连中PVD+TaTaN阻挡层的性能改进与缺陷控制研究.上海交通大学硕士学位论文铜互连中PVDTa/TaN阻挡层的性能改进与缺陷控制研究姓名：顾炜申请学位级别：硕士专业：软件工程（集成电路）指导教师：汪辉;朱建军20070119docin铜互连中PVDTa/TaN阻挡层的...
真空镀膜PVD)工艺介绍.pdf,真空镀膜(PVD)工艺介绍真空镀膜(PVD)工艺知识介绍编撰：张学章拟订:张玉立讲解:刘红彪201001月20日录录1.空镀膜技术及设备发展;2.
关键词：薄膜，PVD，CVD，镀膜工艺薄膜工艺包括薄膜方法的选择基体材料的选择及表面处理薄膜条件的选择和薄膜结构、性能与工艺参数的关系等物理气相沉积（PVD）这种薄膜方法相对于下面…
攻读博士学位期间发表的论文及科研成果.第167-169页.本篇论文共169页，点击这进入下载页面。.更多论文.物理气相沉积（PVD）涂层的摩擦学行.音频矩阵总控系统的设计与实现.高性能宽带压缩接收机前端的研究.产脂肪酶真菌的分离鉴定、产酶条件.
本论文利用物理气相沉积(PVD)方法,了有机一维纳米材料,系统研究了衬底类型、源温度、沉积温度、沉积时间等对有机纳米材料结构和光电特性的影响。成功地出具有独特光学和电学特性的三种有机一维纳米材料,为设计新型有机纳米光电子...
压铸铝合金PVD层及其耐蚀性能的研究.薛军.【摘要】：3C外观件中变形铝合金的使用是比较普遍的,但是变形铝合金需要进行复杂的机械,成本较高。.采用压铸工艺3C外观件,成本将会大幅下降,随着压铸技术的成熟,市场对压铸铝合金的使用需求越来越...
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物理气相沉积(PVD)石墨类薄膜范洪远【摘要】:随着现代科技的进步和工业化的发展,非晶碳薄膜因其优良的性能已经广泛的被应用到各个领域。由于非晶碳膜具有高的电阻率和较强的绝缘性,使其在电...
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PVD法(Ti,Al)N薄膜的热稳定性研究论文目录摘要第1-4页Abstract第4-8页第一章绪论第8-20页·引言第8页·Ti-Al-N膜第8-10页·薄膜的热稳定性第10-12页...
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