1.1电子束等离子体第12-13页1.2电子束等离子体研究第13-25页1.2.2电子束系统第13-16页1.2.3电子束流传输窗口第16-22页1.2.4电子束在气体中的传输第22-25页1.3电子束调控等离子体第25-26页1.4本论文的主要工作第26-28页第2
电子束毕业论文.pdf,电子束毕业论文电子束毕业论文一、问题摘要：随着制造工业的进步，数控已逐步主导了传统的机械，员工对特种的认识与了解需求也越来越大，对于数控技术大家都可以较为容易理解为计算机控制原理，但对于电技术的认识就比较少了，有...
电子束和离子束是近年来得到较大发展的新型特种。他们在精密微细方面，尤其是在微电子学领域中得到较多的应用。通常来说，电子束主要用于打孔、焊接等热和电子束光刻化学，而离子束则主要用于离子刻蚀、离子镀膜和离子注入等。
南京理工大学硕士学位论文离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究姓名：杨伟声申请学位级别：硕士专业：光学工程指导教师：房红兵;张有彩20081006工程硕士学位论文离子束辅助沉积（IAD）真空镀膜技术研究摘要在红外光学系统中，绝大多数红外光学元件必须镀制减反射膜来降低表面…
期刊/会议论文>等离子体刻蚀聚酰亚胺牺牲层技术的研究2003年lO月第十二届全国电子束、离子束、光子束学术会北京等离子体刻蚀聚酰亚胺牺牲层技术的研究清华大学微电子学研究所，中国北京100084【摘要】本文报道了用于释放聚酰亚胺牺牲层的氧气等离子体刻蚀工艺。
它的主要技术领域有激光束技术、电子束技术、离子束及等离子体技术以及高能束流复合技术等。.它包括焊接、切割、制孔、喷涂、表面改性、刻蚀和精细等，用于制造具有先进技术指标的构件或新型材料。.常用的高能密度束流...
第32卷第122013年12中国材料进展MATERIALSCHINol畅32No畅12Dec畅2013收稿日期：2013－08－13第一作者：1973年生，博士，高级工程师通讯作者：1958年生，博士DOI：10畅7502／j畅issn畅1674－3962畅2013畅12畅02聚焦离子束（FIB）及其应用（FEI公司，上海201203）简单介绍了聚焦离子束（FIB）的历史...
聚焦离子束在集成电路失效分析中的应用和实例分析,聚焦离子束;;失效分析;;透射式电子显微镜;;缺陷;;被动电位对比度;;电子束辅助化学气相沉积,集成电路在研制,生产,和使用中都会发生失效,通过失效分析工作可以帮助集成电路设计人员找到设计上的缺陷,工艺参数的不匹配;同时...
高能离子束注入技术不但可以对金属板料进行表面处理，还可以用于聚合物材料表面改性。2.4离子束装置离子束装置可分为离子源系统、真空系统、控制系统和电源系统。其中离子源系统与电子束装置不同，其余系统均类似。2.5应用2.5.1.
电子束与离子束特种讲义.ppt,§6.2.1离子束的原理、分类和特点离子束的物理基础离子束射到材料表面时发生的撞击效应、溅射效应和注入效应。§6.2.1离子束的原理、分类和特点离子束的分类离子刻蚀离子溅射沉积离子镀离子注入§6.2.1离子束的原理、分类和...
关键词:光子束离子束电子束电子束集成电路离子束特种特种机具摘要:文集着重论述了亚微米集成电路工艺器件和设备的研究,其主要内容有:电子束描图曲...
该论文集着重论述了亚微米集成电路工艺器件和设备的研究,其主要内容有:电子束描图曲线光栅;电子束光刻图形的线宽测量;电子与原子He碰撞过程中激发态的实验研究;软X线光刻研究...
电子束与离子束微细电子束与离子束微细电子束与离子束微细通过具有一定能量的电子束、离子束与固体表面相互作用来改变固体表面物理、化学性质和几...
名称:中国电子学会电子制造与封装技术分会省份:北京市中国电工技术学会电子束离子束专业委员会第五届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第三届电子束焊接学...
来自超星电子图书喜欢0阅读量:6作者:半导体工艺设备组展开关键词:三束技术电子束离子束学术年会光子束论文集中国人民解放军生产技术发展动态电子学会...
WangRongmingSchoolofPhysics&NuclearEngineeringBeihangUniversity,Beijing,China中图分类号:中图分类号:O469论文编号:论文编号:10006BY091...
【摘要】:正由中国电子学会生产技术学会三束技术学组编辑,由中国人民解放军第三炮兵学校印刷厂印刷的第一届全国电子束离子束光子束学术年会论文集已编印就绪,准备在近期在国...
电子束聚焦离子束双束系统应用介绍.doc,電子束/聚焦離子束雙束系統應用介紹陳俊淇1、謝健1、林俊宏21國家奈米元件實驗室、2國立成功大學光電所摘要電子束/...
释放查看图文详情第七届全国电子束离子束光子束学术年会论文集苏州￥35八品仅1件上海徐汇送至北京市朝阳区运费快递包裹￥15.00认证卖家担保交易快...
电子束、离子束、光子束在半导体材料器件电路及其它领域中的应用16.微机械、微系统研制及应用17.激光技术及其应用18.生物芯片研制及应用19.微电子器件封装...