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在真空系统的前级管路上设置吸附阱,用吸附剂捕获机械泵的返流油蒸气,是防止机械泵油污染真空系统的简便方法。.吸附剂靠物理吸附或化学吸附捕获油蒸汽分子。.常用的吸附剂有:五氧化二磷、分子筛、活性氧化铝、活性碳等,各种吸附剂的挡油效果见表2...
降低油扩散泵返油率的试验研究.可庆英.下载App查看全文.下载全文更多同类文献.PDF全文下载.CAJ全文下载.(如何获取全文？.欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式.
为防止涡轮分子泵本身以及前级泵的油蒸气进入涡轮分子泵的高真空端。开机前先用前级泵抽至2托，然后再启动涡轮分子泵。停机时，从它的入口端漏入空气达到5托的压强，待涡轮分子泵停止转动后再关闭它的出口阀门和机械泵，同时令涡轮分子泵内的压强上升至大气压以减少轴承滑润油的反扩散。
当达到分子流态时，涡轮分子泵已进入正常速度运转，在泵高压缩比的情况下运转时，就可防止了油蒸汽的返流。涡轮分子泵的前级泵由一个电纽开关控制，两泵可同时启动和停车。
1、返流涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。经调查发现碳氢化合物的来源，50%是操作失误所带来的问题，如涡轮分子泵的前级泵…
因此为防止污染，会在这个压力区间内关闭粗抽阀，开启主阀，用涡轮分子开始抽真空室。二、涡轮分子泵停机过程中来自前级管路的污染。涡轮分子泵停机过程中，当转子速度低于最大转速的40%时，来自前级管路的油蒸气会出现返流，污染分子泵与真空室。
涡轮分子泵结构与工作原理.doc,涡轮分子泵的结构和工作原理应用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向活动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的映照，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能取得清洁的超高真空。
因为在压强低于13Pa时会出现分子流流态，有蒸汽分子将返流到真空室内而造成污染。如果在机械泵不真空室之间设有冷凝捕集阱，则允许机械泵抽到13Pa一下的压强，此时补集阱可防止油蒸汽返流迚入到真空室内。
提供涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题—1文档免费下载，摘要:涡轮分子泵运转时值得注意的几个问题1、返流涡轮分子泵具有提供超清洁、无碳氢化合物的真空环境的能力，故常被用户选用。然而，用户也偶尔会发现涡轮分子泵提供不了不含碳氢化合物的真空环境。
能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以全面防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。3、具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。
为了防止机械泵油蒸气和涡轮分子泵润滑油蒸气的返流,在切断涡轮分子泵电动机的电源后,要用一股干燥的反向气流对分子泵进行放气.例如,应该在泵转子速度下降到最大转速的50%...
经调查发现碳氢化合物的来源50%是操作失误所带来的问题如涡轮分子泵的前级泵为油封式旋片泵时没有控制返流的安全阀不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返...
一些半导体制造和表面科学研究都要求清洁的高真空,但涡轮分子泵如果用油来润滑轴承,油蒸汽的返流以及滚珠轴承引起的振动。对涡轮分子泵性能的影响是不能忽视...
气镇阀负担;在机组中安装水气分离器或油水分离装置,将混有水的机械泵油进行处理,处理过的油再进入泵中使用;使用各种干燥吸附剂做成补集阱吸收水蒸气;使用各种冷...
但是普通轴承要用油来润滑轴承,油蒸汽的返流引起真空洁净度降低以及滚珠轴承引起的振动,对分子泵性能的影响是不容忽视的,显然不能很好满足半导体制造行业要求...
本人签名陇瓣心日期东北大学硕士学位论文第一章绪论课题研究背景第一章绪论近二、三十年来在各工业部门所使用的高真空系统中由油扩散泵和作为前级泵的油封...
分子泵磁轴承的模态辨识与试验研究-机械制造及其自动化专业论文.docx,ClassifiedIndex:TH133U.D.C.:621ADissertationfortheMasterDegreeinEngineer...
本人签名:期:2004.1东北大学硕士学位论文第一章绪论1.1课题研究背景第一章绪论近二、三十年来,在各工业部门所使用的高真空系统中,由油扩散泵和作为前级泵...
分析测试,百科网,真空泵油的常见问题及解决办法,一、真空管路或系统内返油1.油蒸汽返流至真空管路或系统中2.油蒸汽压不对3.停泵时,油返流4.截流阀板上的密...
然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防...