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飞秒激光微结构及其系统研究进展.pdf,speciaI哪ns综述飞秒激光微结构及其系统研究进展姜涛①杨宏青①樊喜刚①金亮②(①北京星航机电装备有限公司,北京100074;②北京机电工程研究所,北京100074)摘要:飞秒激光...
【摘要】:飞秒激光对透明材料的微在近些年内成为了学者们的热点研究方向之一。飞秒激光具有独特的精度高、热损伤区域小和速率高的特点,在微结构制造中有着广阔的运用前景。在透明材料中石英玻璃具有良好的耐高温、耐腐蚀以及对紫外到红外波段的激光吸收效率高的光学特性...
飞秒激光内三维空腔微结构技术研究.郑崇.【摘要】:利用具有高峰值功率密度、短脉冲宽度的飞秒激光在透明电介质材料内部直写中空微结构的技术,可以解决采用传统的表面方法集成芯片系统时,速度慢、处理工序多、产品成功率低以及...
学校代号10532硕士学位论文飞秒激光成型烧蚀单晶金刚石微结构的试验研究学位申请人姓名机械与运载工程学院导师姓名及职称陈根余教授先进制造技术与装备论文提交日期2018级:公开湖南大学硕士学位论文飞秒激光成型烧蚀单晶金刚石微结构的试验研究学位申请人姓名:机械工程...
在本论文的第四章中,我们实验研究了液体环境对飞秒激光微结构化钛金属表面的影响。首先在去离子水环境下,经过飞秒激光辐照的金属表面区域产生了微岛和纳米孔洞状的独特结构。通过降低入射激光通量以及样品扫描速度,飞秒激光...
飞秒激光直写技术仿生微纳结构表面及多功能应用研究doi:10.1088/2631-7990/ab95f6张亦元1,焦云龙1,2,,,李传宗3,陈超1,,李家文1,胡衍雷1,吴东1,,,褚家如11KeyLaboratoryofPrecisionScientificInstrumentationofAnhuiHigher...
江苏激光联盟导读:来自新加坡国立大学的MinghuiHong研究团队,采用飞秒激光在蓝宝石上实现了高深宽比、无裂纹的微结构制造。提出一种用于提高激光透明材料的吸收能力的优化策略;精确的控制激光辐射的临界通量,避免了裂纹的形成,在蓝宝石上实现了无锥度、高深宽比的微结构...
飞秒激光的“妙手”之下,微光学元件实现功能多样化.随着半导体行业微细技术的发展,通过小型化和在小范围内组合各种功能,产生出许多具有新特性的新应用,并且随着信息化时代的发展,要求完整的信息系统需要在一个尽可能小的空间内能…
蓝宝石材料的激光微及其应用研究-武汉理工大学硕士学位论文蓝宝石材料的激光微及其应用研究姓名:白帆申请学位级别:硕士专业:光电子及信息材料指导教师:姜德生20100501...
飞秒激光微纳技术的出现,使得复杂微纳器件的成为了可能。对此,吉林大学陈岐岱教授曾在接受《激光制造商情》采访时表示:飞秒激光微纳技术最早出现于20世纪90年代中期,当时只能做一些简单打点、划线工艺。
论文的工作主要包括:1.对飞秒激光在物质表面烧蚀和切割工艺的机理及其在微结构中的应用进行了研究.2.利用CPA-2110i飞秒激光系统对硅样品...关键词:飞秒激光;...
天津大学硕士学位论文飞秒激光微结构工艺的研究姓名:李凌梅申请学位级别:硕士专业:测试计量技术及仪器指导教师:20070501中文摘要飞秒激光具有极高...
论文开展了飞秒激光贝塞尔光束辅助无掩膜化学刻蚀辅助Si表面微纳结构工艺实验,研究了脉冲激光能量、聚焦位置等与多环结构形貌间的相互变化关系。具有一定...
硕士博士毕业论文—飞秒激光微结构工艺的研究
【摘要】:飞秒激光对透明材料的微在近些年内成为了学者们的热点研究方向之一。飞秒激光具有独特的精度高、热损伤区域小和速率高的特点,在微结构制造中有着广阔的...
第28卷第3期2020年3月光学精密工程OpticsandPrecisionEngineeringVol.28No.3Mar.2020文章编号1004G924X(2020)03G0584G07基...
speciaI哪ns综述飞秒激光微结构及其系统研究进展姜涛①杨宏青①樊喜刚①金亮②(①北京星航机电装备有限公司,北京100074;②北京机电工程研究所,北京100074)摘要:飞...
内容提示:天津大学硕士学位论文飞秒激光微结构工艺的研究姓名:李凌梅申请学位级别:硕士专业:测试计量技术及仪器指导教师:傅星20070501中文摘要飞...
飞秒激光技术以其独特的优势,正在逐渐成为微纳制造和超精密领域的技术前沿之一.本文介绍了飞秒激光技术出现的时代背景,结合目前已有的微技术,评...
经对比四种气体中氦气最适合作为飞秒激光微结构的气体传输介质。还研究了激光功率、扫描速度和气体流速对飞秒激光SiC的影响规律,选择合适的工艺参数,进行了轴对...