学术论文自然科学论文微表面形貌检测中Mirau干涉物镜的优化设计.docx4页内容提供方：小教资源库大小：181.97KB字数：发布时间：2017-08-29浏览人气：10下载次数：仅上传者可见收藏次数：0需要金币：***金币(10金币=人民币1元...
为了方便检测类似半球的表面微观形貌,通常要求干涉显微物镜具有较长的工作距离。.目前,在齐焦距离为45mm时,市面上现有的5倍干涉显微物镜的最长工作距离仅为9.3mm,在进行某些测量时仍受工作距离不足的限制。.本论文旨在设计与研制长工作距离的5倍干涉显微...
摘要:追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展,比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式、结构特点,分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。1引言超精细检测技术得到世界各国的普遍重视和广泛应用,它不仅与新崛起的具有广阔应用前景的...
（光学专业优秀论文）激光干涉光刻技术光学真正形成一门科学，应该从建立反射定律和折射定律的时代算起，这两个定律奠定了几何光学的基础。17世纪，望远镜和显微镜的应用大大促进了几何光学的发展。光的本性（..
43A12330牛顿环和劈尖干涉物理实验论文.doc,牛顿环和劈尖干涉实验熊凌厉（43A12330)（东南大学医学院，南京210096）摘要：牛顿环和劈尖干涉均属分振幅法产生的等厚干涉现象。通过调试和观察现象，并读取有关实验数据，得出牛顿环中透镜的...
华中科技大学硕士学位论文基于白光干涉原理的三维微表面形貌测量技术研究姓名：冯奎景申请学位级别：硕士专业：机械电子工程指导教师：史铁林20070530为满足微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)产业化及实验研究对表面...
华中科技大学硕士学位论文偏振相移显微干涉超精表面形貌测量研究姓名：程伟林申请学位级别：硕士专业：测试计量技术及仪器指导教师：刘晓军2011-01-15表面形貌是影响产品零部件功能特性的重要特征。.随着现代光学、光电子信息技术以及航空航天技术...
原色散物镜设计方法中的物面成为系统的像面，省去了多构型，实现了像质评价参考面的统一。.只需要优化成像平面的成像质量，使色差尽可能小，使漫射斑在衍射极限内。.总结来说，文章提出了一种定量逆色散物镜的方法，获得了统一的图像质量评价参考...
显微镜中的微分干涉技术，是一个很小范围技术，我从07年开始接触微分干涉，到12年设计生产出显微镜微分干涉部件，正好是五年。07年一个经销商带来一套美国NITAR的连续变倍镜头，平行光系统，加了偏光和微分干涉，用的是三丰的95mm长工作距离物镜。
Mirau物镜的原理很简单，就是将迈克生式干涉架构的参考面放在了物镜内部。如下图光路示意图所示，光线射从①入物镜后，在②分光镜（BS）分为反射光到④参考镜和透射光到③待测面，参考镜反射的参考光与待测面反射的物光重新汇合在分光镜上经由分光镜反射回物镜入光光瞳，形成干涉。
摘要随着超精细检测技术得到世界各国的普遍重视与广泛应用,白光干涉显微技术成为超精细检测技术中的重要手段。本文的研究对象为白光干涉显微镜中的核心部分——...
本论文从部分相干光干涉原理出发,对常用的三种干涉显微物镜结构形式展开讨论,给出了三种显微干涉模型的光强表达式以及详细推导过程。围绕干涉显微镜的光学结构设计展开详细论...
干涉显微镜测量小球面曲率半径毕业论文下载积分:1000内容提示:第35卷,增刊V01.35Supplement红外与激光工程InfraredandLaserEngineering2006年10月Oct.20...
论文>期刊/会议论文>洛埃镜干涉中的一个值得注意的问题8805067254分享于2015-08-0721:16:10.0洛埃镜干涉中的一个值得注意的问题,微分干涉显微镜,干涉显微...
内容提示:第21卷第6期2013年6月光学精密工程OpticsandPrecisionEngineeringV01.21NO.6Jun.2013文章编号1004—924X(2013)06—1524—07应用于干涉...
【摘要】:正在Mirau型结构的干涉显微物镜中,若分光平板与参考平板存在厚度差△d,则光路无法补偿,两平板厚度差△d会导致参考光路与测试光路产生附加光程差(n-1)△d,并在干涉中...
期刊论文图书学位论文标准纸本馆藏外文资源发现数据库导航搜索高级检索看过本文的还看了相关文献该作者的其他文献CADAL相关文献文献详情>大倍率干涉显微物镜的...
干涉显微物镜是干涉测量显微镜的关键部件,在微纳表面三维形貌测量中应用广泛。设计了一款无限远共轭大倍率Mirau干涉显微物镜,其放大倍率为50×,数值孔径为0.5。...
调节目镜清晰地看到十字叉丝,然后由下到上移动显微镜镜筒(为防止压坏被测物体和物镜,不得由上向下移动),看清牛顿环干涉条纹。2、牛顿环直径的测量连续测...
移相干涉术基本原理从上文分析我们知道显微干涉术【刀是一种将干涉条纹间距进行放大的技术其主要依据是光波干涉与显微放大原理移相干涉术的相位、空间分辨...