以上技术大都对常规气体的检测,而对更多的特种高纯气应采用特殊的技术[21—28]三、气相色谱法分析高纯气的几点认识本节内容提出的高纯气体分析中出现的“本底”、“最小检测浓度”和“定量与误差”,都是痕量分析中的理论问题、也是实际问题。
超纯气、高纯气的分析测试是痕量分析学科的一个分支。它是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科。随着我国经济的高速发展,对高纯气不仅在数量上、质量上、种类上都不断提出新的要求,而且对相应的国家标准、检测理论、方法与检测仪器的研究...
4.1DID在高纯惰性气体分析中的应用4.1.1对Linde高纯氦气(He)分析He是重要的工业气体,在国防、科学研究等方面有重要作用。对He中杂质的检测,使用DID检测器气相色谱仪zui为理想。
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前言超纯气、高纯气的分析测试是痕量分析学科的一个分支。它是研究气体纯度分析与其中痕量杂质测定的一门范围较窄但具有现实意义的专业学科。随着我国经济的高速发展,对高纯气不仅在数量上、质量上、种类上都不断提...
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电子用高纯气体行业企业战略规划思路方案及未来五年(2021-2026)行业发展预测报告.docx,电子用高纯气体行业企业战略规划思路方案及未来五年行业预测报告作者:没了的V第一部分行业企业战略规划思路及方案作者:我的石头不硬2021年8月...
分析,并提出了故障情况下的紧急操作流程。同时,本论文也对超高纯氙中氪浓度测量系统进行详述,完成对超高纯氙中氪含量的实验测量。针对超高纯氙中含氪量极低的情况(10-12mol/mol),建立了RGA标定测量系统,描述了RGA标
大连科利德光电子材料系列集成电路用高纯气体产业化项目总投资5081万元。.其中,工程费用4064万元,工程费用占比0.8989;其他费用234万元,其他费用占比0.0518;预备费224万元,预备费占比0.0495;建设投资4521万元。.项目建设要符合国家“综合利用”的...
3技术特点因高纯(电子级)二氧化碳对产品纯度要求不仅要达到99.999%以上,对部分杂质浓度要求甚至要达到PPb级(partperbillion),因此在装置的工艺设计、过程控制、分析精度等方面都有极…
但近十年来新的检测方法、技术与仪器、检测器研究进展缓慢、创新乏力、论文发表数量减少,无长期统一规划和稳定的投入,专业研究与分析队伍不断壮大,同时又有待素质提高。至...
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自70—80年代我国空分行业引进第一批专用高纯气体分析用仪器设备以来,在过去二十几年中曾发挥了重要作用。但是。自九十年代以来,我国高纯气体生产技术普及和提高的新形...
本书从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等,无不需要各种高纯气体。高纯气体的是本书的核心。图...
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