论文:摘要：微电子技术的发展一直是光刻设备和技术变革的动力，21世纪光刻技术将继续居于诸多技术之首。本文通过介绍光刻机的演变和所面临的挑战，揭示下一代光刻设备的发展潜力，通过比较浸没式光刻、极紫外光刻机和电子束曝光机的开发现状和特点，预言将来利用极紫外光刻机、电子束...
虽然提高光刻投影物镜的数值孔径NA的值和使用短波长的曝光光源可以部分提高分辨率，减小特征线宽，但却对光刻机的套刻精度提出了更高的要求，为此设计高精度的光刻对准系统刻不容缓离散化的相位以及掩模的对准误差仍影响二元光学元件的制作精度和...
光刻三要素：光刻胶、掩膜版和光刻机。光刻胶又叫光致抗蚀剂，它是由光敏化合物、基体树脂和有机溶剂等混合而成的胶状液体。光刻胶受到特定波长光线的作用后，导致其化学结构发生变化，使光刻胶在某种特定溶液中的溶解特性改变。
自己总结，可以通过知网找期刊，阅读后进行分类、总结，国外的可以找SCI的总结，想偷懒的话可以去下近几年相关题目的硕博论文，都有关于国内外研究现状的部分，直接复制.发布于2018-03…
芯片半导体被誉为设备的和大脑。.芯片产业链包括：芯片设计（IC设计）、芯片制造、芯片封装测试三个环节。.芯片设计这块国内相对还是非常薄弱的；芯片制造环节也是落后的，主要设计和制造两个环节都是技术密集型，发展需要较长的过程，从而现状...
成也政治，败也政治，将是光刻机的宿命。2019年，尼康总共销售了47台光刻机，占全市场的13%，还不如自己的难兄难弟佳能。不过虽然佳能销售了82台，但是集中在第一、第二代古老的光刻机，别说高端市场，连中端市场都没什么存在感。01尼康起高楼
实际光刻机等关键设备和材料还是需要外购，就像国产大飞机。国产替代有很大进展，但要完整支持产线还要好几年。所以正确的口径应该是，“芯片国产化快速发展”、“是100%国产芯片的起点”，而…
新型光量子芯片问世，光刻机不必再需？新华社2月28日消息，由中国科研人员主导的国际团队在美国《科学进展》期刊上发表了一篇论文，论文中提到团队已经研发出了一种新型可编程光量子芯片，可实现多种图论问题的量子算法求解，有望应用在数据搜索、模式识别等领域。