丙烯酸酯光敏共聚物的及其在碱溶性光致抗蚀剂中的应用.信息记录材料21年舅j卷第30（｝l勰研究与开发丙烯酸酯光敏共聚物的及其在碱溶性光致抗蚀剂中的应用陈宁，刘朋飞，刘仁，张胜文，刘晓亚（江南大学化学与...
用于光致抗蚀剂的聚对羟基苯乙烯的及其进展.PDF,第16卷第2期化学进展Vol.16No.22004年3月PROGRESSINCHEMISTRYMar.,2004用于光致抗蚀剂的聚对羟基苯乙烯的及其进展3孟诗云李光宪杨其黄亚江(四川大学高分子...
液态光致抗蚀剂的使用寿命（Lifespan）：其使用寿命与操作环境和时间有关。一般温度≤25℃，相对湿度≤60%，无尘室黄光下操作，使用寿命为3天，最好24小时内使用完。二．液态光致抗蚀剂图形转移液态光致抗蚀剂工艺流程：
信怠记录材料2008年第9卷第2期248nm光致抗蚀剂成膜树脂研究进展晏凯,邹应全北京师范大学化学学院,北京10087摘要:光致抗蚀剂photoresist是制造超大规模集成电路的关键性材料之一,随着集成电路集成度的不断增加,光致抗蚀剂由
原标题：【光电科普知识】一文看懂光刻胶（一）.光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种对光敏感的混合液体。.其组成部分包括：光引发剂（包括光增感剂、光致产酸剂）、光刻胶树脂、单体、溶剂和其他助剂。.光刻胶可以通过光化学反应，经曝光、显影等光刻...
几种硫鎓盐类光产酸剂的与性质.（北京师范大学化学学院，北京100875）摘要：硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。.本论文选择不同的酚化合物为原料，使之与二亚砜和氯化氢反应，了一...
光刻工艺的研究论文.doc,毕业设计（论文）报告题目光刻工艺的研究系别专业液晶显示技术与应用班级学生姓名学号指导教师2012年3月光刻工艺的研究PAGEiv光刻工艺的研究摘要：在平面晶体管和集成电路生产中，要进行多次的光刻，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。
论文查重开题分析单篇购买文献互助用户中心光致抗蚀剂的应用及其相关研究来自知网喜欢0阅读量:23作者:孟磊,徐娜展开摘要:光致抗蚀剂是...
论文>期刊/会议论文>光致抗蚀剂的及其性能研究印制电路信息2015No.9-10-电子互连ElectronicInterconnection光致抗蚀剂的及其性能研究(湖南...
全部搜索期刊论文图书学位论文标准纸本馆藏外文资源发现数据库导航搜索高级检索看过本文的还看了相关文献该作者的其他文献CADAL相关文献文献详情>光致抗蚀剂的...
}}//～图形形成PatternFormation印制电路信息2015No.9光致抗蚀剂的及其性能研究周虎李宁蒋敏(湖南科技大学化学化工学院理论有机化学...
...…...….41.4光致抗蚀剂………61.4.1传统光致抗蚀剂….…...………..…...…..…..71.4.2新型的紫外光致抗蚀剂….……..……….……….81.5本课题的提出及研究内容…...
10金桂林;金晓英;潘孝仁;金乾元;陈卫红;;一种新型的负型激光光致抗蚀剂[J];应用激光;1993年01期中国重要会议论文全文数据库前10条1张成刚;王六春;张德斌;;高速混合PCB过孔...
(论文)分子玻璃光致抗蚀剂研究进展下载积分:1500内容提示:第29卷2012年9月第9期吉林化工学院学报JOURNAL0FJIUNINSTrrUTE0FCHEMICALTECHNOLOG...
BA)、丙烯酸(MAA)等为基本原料,以过氧化苯甲酰(BPO)为引发剂,分别选用无水乙醇、丁酮、乙酸乙酯为溶剂,采用溶液聚合法了成膜树脂;并以三羟丙烷三丙烯酸酯(TMPTA)...
论文目录摘要第1-6页ABSTRACT第6-11页第一章绪论第11-29页·前言第11-12页·抗蚀剂的分类第12-15页·紫外光致抗蚀剂第12-13页·电子束抗蚀剂第13页1.2...
论文>期刊/会议论文>光致抗蚀剂薄膜在光刻掩膜制作中的应用2000年10月广西北海第七届全国周体薄膜学术会议光致抗蚀剂薄膜在光刻掩模制作中的应用(中...