天津大学硕士学位论文对光刻工艺中在光阻底部增加抗反射涂层（BARC）的研究姓名：袁烽申请学位级别：硕士专业：电子与通信工程（三）指导教师：张之圣;程高龙20081101摘要中文摘要随着半导体工艺的进一步发展，因此要求光刻工艺中所能达到的线宽越来越小。
天津大学硕士学位论文光刻工艺中聚酰亚胺层光阻减量和线宽均匀性研究姓名：王军申请学位级别：硕士专业：集成电路工程指导教师：毛陆虹；汤加苗2011-11-01中文摘要自从第一个晶体管问世以来，半导体技术的发展已超过多半个世纪了，现在它仍保持着强劲的发展动力，继续遵循摩尔定律...
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊[导读]期望有利于消除或弱化光阻法检查射液中的外在影响因素，继而在提升光阻法检测精度的同时，实现注射液使用安全的有效保…
光阻涂布设备一般皆配以高速旋转马达，鉴于马达有正常工作范围，一般推荐在1000’5000之间，所以，在选择光阻黏度的时候，通常选择在3000’4000为最佳。此外，除转速决定光阻厚度外，光阻温度、湿度、以及抽风的量，也会影响光阻厚度...
若光阻侧壁角度大于90°，则显影后的光阻可能会崩溃；而若光阻侧壁角度小于90°，则有非完全曝光光阻的潜在风险。若要控制光阻的截面轮廓形状，焦点便是首要因素。图2显示了焦点如何在曝光后影响不透光体。图1：从光微影技术到蚀刻的简化步骤。
杜永杰;;一种提升干膜光阻剂解析能力的新方案[A];中国感光学会辐射固化专业委员会2020第二十一届辐射固化年会论文报告集[C];2020年4粱怀舒;曹友新;;干膜显影的改善与提高[A];第六届全国印制电路学术年会论文汇编[C];2000年
光阻：在晶圆上涂上一层光阻(感光层)显影：用强光透过「光罩」后照在晶圆上。这样的话，除了「电路」该出现的部分，其余光阻的部分是不是都照到光了？蚀刻：把没有光阻覆盖的薄膜冲蚀光阻去除：把上面的光阻去除，留下的薄膜部分就是电路图了！
一四年十一月十日四川信息职职技职学号1126595455月：任职下，理解消化任职要求；初步职定方案月：中期职职。职职职，分析解10月中旬：完成硬件职接及职职；10月下旬-11月上旬：完成职文，准职答职；11月中旬-12职有卿．555职基职...
中文题目可调光、色温LED驱动电路设计英文题目colorTemperatureadjustableLEDdrivercircuit数理系年级专业：08级光信息科学与技术0810022228指导教师：讲师2012毕业设计（论文）诚信声明书本人郑重声明：在毕业设计工作中严格遵守学校...
可见光电探测器因其器件结构简单、功耗低等优点已成为光电探测领域的研究重点。作为II-VI族化合物半导体的重要代表,ZnTe已经被广泛应用于纯绿色发光二极管、太阳能电池以及太赫兹电磁波辐射与探测设备等领域。但由于受纳米级材料技术的限制以及对光电导微观机理的
台大研制出新型电子束光阻材料_材料科学_工程科技_专业资料。据媒体报道,大学科研人员最近开发出一种新颖的电子束光阻材料,他们利用简单的高分子混掺技术,...
论文目录摘要第1-6页ABSTRACT第6-7页第一章绪论第10-15页1.1研究背景第10-12页1.1.1TFT-LCD行业发展历史第10页1.1.2TFT-LCD工作原理第10-12页1.1.3彩色光...
论文>毕业论文>光阻、封裝、構裝高分子材料學號:49640031姓名:葉育彰一、厚膜材料:Cu:與貴金屬比,Cu具有很高的電導率、可焊接、耐遷移性、耐焊料浸蝕性...
由于微细化的有机颜料具有较高的表面能,很容易相互吸引形成大的粒子,使体系不稳定,此时的颜料并不适合直接用于彩色滤光片用颜料光阻的。本课题就是对作为彩...
本论文对光阻干膜用PET薄膜生产工艺及其性能做了研究分析,同时对比分析研究了干膜用PET薄膜的关键性能,提出了光阻干膜用PET薄膜性能要求规格。为光阻干膜行业选用PET薄膜提供...
本发明公开了一种光阻组合物及其剥离方法,该光阻组合物包括:光阻和光致形变物质,其中,在光照条件下,所述光阻组合物中的所述光致形变物质自身发生变形,以使所述光阻组合物发生...
本文以0.13微米逻辑产品多晶硅栅形成的工艺为例,指出湿法光阻剥离程序中,会在晶圆表面残留难以发现的0.1微米以下的污染物微粒即深亚微米颗粒。通过实际观察,发现这种污染...
本发明提供一种光阻涂布设备及光阻涂布方法.所述光阻涂布设备,包括平台及光阻涂布装置,所述平台用于置放并固定待涂布光阻的基板,所述光阻涂布装置包括位于所述平台上方的控制...
在扫描机中完成制程后,晶圆则被送往光阻去除与蚀刻。在本论文中采用了使用正向光阻的进阶微影步骤,用以展示SRM的能力。在曝光步骤中有两个关键因素,其一是焦...
目的光阻法测定甘露醇注射液微粒.方法检品先预热至25℃～30℃再用光阻法测定.结果不发生堵孔,可以顺利进行检测.结论该方法可用于甘露醇注射液微粒测定.更多...