硅化钛薄膜的APCVD工艺研究-化学工程专业论文.docx,ABABSTRACT万方数据万方数据ABSTRACTDuetolowresistivity,hightemperatureresistantandgoodthermalstability,titaniumsilicidehasbeenwidelyusedinthefieldofintegratedcircuits...
钛基复合材料中硅化物析出相研究,钛合金,硅化物,机械合金化,扩散偶。本论文通过机械合金化的方法,了过饱和的钛合金粉末,XRD分析了不同球磨时间的物相组成,发现钛的衍射峰有偏移、宽化、联...
APCVD法硅化钛薄膜和硅化钛纳米线的研究.杜军.【摘要】：随着纳米科技的发展和微电子装置的小型化，以纳米线为基块来纳米电子和光电子器件引起了广泛注意。.由于硅化钛已在微电子器件中获得了广泛应用，所以，硅化钛纳米线在微电子领域有着广阔...
Silicon(Si),whichexistsintheformofsolidsolutionandsilicide,isanimportantcomponentinhightemperaturetitanium(Ti)alloys.ThecontentofSiisoftenlimitedtolessthan0.5wt.%,butpowdermetallurgyshowsthepotentialforthepreparationof...
金属硅化物在IC的制造工艺中通常用作导电接触和互联薄膜材料。针对上面的问题，目前，金属硅化物很重要的一个应用就是降低接触电阻。通过自对准工艺，采用硅化物将整个源漏区和栅区金属化，使金属不直接与硅接触，而先与硅化物接触。
金属硅化物的熔点很高（高于2000℃），其在1600℃下具有很好的热稳定性、防氧化性以及良好的力学性能，近年来已成为高温材料研究的新热点，有代表性的产品如硅化镍（Nb5Si3）、硅化钛（Ti5Si3）、硅化锆（Zr5Si3）等。
催化方向博士论文，可以下载参考以下论文：[1]邢培哲.催化热解—原子吸收法快速测定食品中镉的研究[D].河北工程大学,2021.[2]王欢.中空多壳层镍基材料的电催化析氧特性及宏量[D].北京科技大学,2021.
摘要:研究了固溶态的Si、硅化物以及α2相对Ti60高温钛合金蠕变和持久性能的影响.结果表明,α片层之间析出的硅化物能提高Ti60钛合金的600℃蠕变抗力,且当α片层内部有α2相析出时蠕变抗力提高更明显,但是硅化物的大量析出和大颗粒硅化物的存在却降低了Ti60钛合金的600℃持久性能;α2相的析…
65nm以下cmos镍硅化物中镍过度扩散的工艺优化,硅化木,硅化木价格,硅化木国家地质公园,硅化镁,硅化木有辐射吗,单液硅化法,胶塞硅化,硅化木地质公园,水冲硅化木
此外,通过分析α2相和硅化物两种纳米相的析出规律,研究了热暴露对材料力学性能的影响。论文的主要研究内容和结果包括:（1）固溶温度与Ti60钛合金组织中α相体积分数近似呈线性关系,α相中Al元素含量随固溶温度升高而增加。固溶过程中过饱和的α相...