扩散硅压力传感器的温漂及补偿--优秀毕业论文.北京工业大学硕士学位论文扩散硅压力传感器的温漂及补偿姓名：黄昀申请学位级别：硕士专业：电子与通信工程指导教师：张国忠2002.12.1摘要利用硅的压阻效应和微电子技术制作的扩散硅力敏传感器是近30...
硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究--优秀毕业论文可复制黏贴研究,芯体,设计,谐振式硅微,压力传感器,制作方法,硅传感器,硅芯管,硅芯电子,方硅芯
MEMS压力传感器论文.doc,基于MEMS实现SOI压力传感器的设计研究学院：机械与材料工程学院专业班级：机械(专研)-14学号：2014309020127学生姓名：王宇指导教师：赵全亮撰写日期：2015年1月6日目录1.MEMS传感器概述11.1MEMS...
四、实验内容与步骤扩散硅压力传感器MP10已安装在压力传感器模块上，将气室1、2活塞退到20ml处，并按图4-1接好气路系统。其中P1端为正压力输入、P2个引出脚，1脚接地、2Uo＋、3脚接+5V电源、脚为Uo；当P1＞P2时，输出为正；当P1＜P2时
压力变送器主要有电容式压力变送器和扩散硅压力变送器，陶瓷压力变送器，应变式压力变送器等。编辑木段性能规格（零基准校验范围，参考条件下，硅汕充液，316L不锈钢隔离膜片。）杆状压力变送器丄参考精度1.1.1.数字、智能：土0.075%...
硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究,硅压阻式压力传感器,漂移,惠斯顿电桥,补偿,优化。微电子技术的发展促进了硅传感器的工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压...
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，完成的研究成果。
文章以硅桥式压阻压力传感器为研究对象,在分析压阻式压力传感器理论及原理的基础上,对传感器的关键性参数进行了理论计算和探索性的研究.具体内容包括器件结构设计,信号采集电路设计,单片机补偿系统软件设计以及温漂实验在内的压力传感器一体化设计...
【摘要】:扩散硅压力传感器在工程测量领域占据至关重要位置,将传统传感器技术与计算机技术相结合的智能传感器更是近年来传感器的发展方向,新型智能传感器具有微型化、智能化...
内容提示:第1期2012年1月机械设计与制造MachineryDesign&Manufacture103文章编号:1001—3997(2012)01-0103-03一种硅微压阻式压力传感器的研究+刘珍妮谭晓兰杨峻松(北方工业大...
硅压阻式压力传感器的设计与实验研究龚雄辉【摘要】:传感器技术是MEMS领域的一个重要分支,经过几十年的迅猛发展,传感器技术越来越成熟,并被广泛的应用到各行各业中。国外传...
9吴宪平,胡美凤;扩散硅压力传感器性能优化研究[J];传感技术学报;1992年03期10朱作云,李跃进,王文襄,郭源生,王麦广;矩形硅杯绝对压力传感器的研制[J];传感技术学报;1996年01...
中国重要会议论文全文数据库前10条1徐淑霞;罗抟翼;程桂芬;;硅压力传感器设计中的灵敏度分析[A];全面建设小康社会:中国科技工作者的历史责任——中国科协2003年学术年会论文...
MEMS压力传感器论文基于MEMS实现SOI压力传感器的设计研究学院:机械与材料工程学院专业班级:机械(专研)-14学号:2014309020127学生姓名:王宇指导教师...
相关论文(和本文研究主题相同或者相近的论文)[1]秦秋石,盖洪凯,周成立.批量生产硅压力敏感元件的工艺方法[J].半导体技术,1992,():27-32.[2]刘沁,吕忠钢,陈艳文.扩散硅压力...
但是MEMS压力传感器对环境的依赖度较高,必须考虑在严酷的使用环境下传感器独特的失效模式。本文基于硅压阻式MEMS压力传感器的结构和工作原理等信息,反推至芯片相关工艺参数,并设计针...
硅压阻式压力传感器是目前使用最广泛、用量最大的传感器之一,广泛应用于航天、航空、舰船等军事工程和武器装备中,成为当今发展高新技术装备不可缺少的电子产品。...
资源描述:《浅析进气压力传感器毕业论文》由会员分享,可在线阅读,更多相关《浅析进气压力传感器毕业论文(8页珍藏版)》请在装配图网上搜索。1、毕业论文浅析...