半导体生产中废气的污染及治理.秦学礼.【摘要】：正当今社会已进入以半导体技术为核心的信息时代,半导体技术是一个国家科技水平、工业水平和综合国力的体现,受到世界各国的高度重视。.但半导体生产中会产生大量的有毒有害气体,有些还是传统产业中...
半导体制程排放之VOCs废气处理技术及现况.鄭石治朱小蓉蔡尤溪.【摘要】：本文简介现行半导体制程排放VOCs废气处理技术重点,并讨论影响沸石浓缩转轮效益之因素,分别就各操作因子,例转轮转速、再生温度、面速度、入口浓度…等讨论处理效益的影响,由目前...
提供半导体废气处理技术实践1半导体废气处理技术应用依据这些废气的word文档在线阅读与免费下载，摘要:半导体废气处理技术实践1半导体废气处理技术应用依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化／燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。在半导体制造厂，依照系统废气排放可分为：一般排气...
论文服务：摘要：针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理,介绍了三种不同的方法和相关设备.①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料中砷烷、磷烷污染的治理.②生产规模的半导体材料砷化镓,磷化姻,重掺砷硅单晶材料及器件的工艺中...
提供半导体废气处理技术实践1半导体废气处理技术应用依据这些废气的word文档在线阅读与免费下载，摘要:于监控系统的运行情况_3J。通过调整酸性排气洗涤塔循环水的pH值发现，淋洗塔内的物理吸收是一个不稳定的可逆，吸收水中的酸，并在淋洗过程中很容易再被脱附出来。
提供半导体制程废气处理技术实践word文档在线阅读与免费下载，摘要:技术专栏TechnologyColumn半导体制程废气处理技术实践陈玉峰，杨骥（上海交通大学环境科学和工程学院，上海200030）摘要：讨论了半导体制造废气处理技术与排放，包括热排气、酸性排气、碱性排气和有机排气这四种工艺废气处理...
太阳能电池生产的废气污染物及处理措施.doc.述了废气治理措施。.[关键词]太阳能电池生产废气污染物治理太阳能电池是一种将光能转换为电能的光电元件，其基本构造型和N型半导体接合而成。.在太阳光的照射下，P型半导体内电子激发出来留下空穴，与N...
半导体制造业含氟废物处理及综合利用的研究.【摘要】：半导体集成电路行业是一个国家信息产业发展的基础,该行业在未来将会有迅猛的发展。.随着制造规模的不断扩大,其制造活动对环境所造成的影响也会日益增加。.芯片制造企业水平各有特色,创建符合...
提供半导体废气处理技术实践1半导体废气处理技术应用依据这些废气的文档免费下载，摘要:半导体废气处理技术实践1半导体废气处理技术应用依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化／燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。在半导体制造厂，依照系统废气排放可分为：一般排气(GEX)、酸性排气...
半导体器件工业生产中的静电防护技术摘要：摘要：本文在考虑我国电子工业布局飞速进步和我国半导体产业制造技术不断提升的背景下，越来越多的企业和技术人员在电子产品生产和使用过程中认识到了静电存在的危害，为更好地提高半导…