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西门子多晶硅还原炉内涉及复杂的气相／表面化学反应,本文对文献报道SiHCl3-H2体系下硅的化学气相沉积过程相关实验进行了归纳和比较。采用边界层反应模型和Chemkin模拟软件,耦合不同气相与表面化学反应机理,选取不同文献报道实验的反应器模型,对不同条件下硅的化学气相沉积过程进行了模拟计算。
西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究.【摘要】：西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。.其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,含有大量中间产物的气相分解反应,多晶硅在高温表面的沉积和...
西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究,多晶硅,西门子法,气相传质与表面反应,传热,化学气相沉积。西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,...
本文关键词：西门子CVD多晶硅还原炉内传递与反应过程数值模拟研究，由笔耕文化传播整理发布。【摘要】：西门子CVD法多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅工艺。其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,含有大量中间产物的气相分解反应,多晶硅在高温表面的沉积...
【摘要】：燃烧化学反应动力学是计算燃烧学中的重要内容之一。本文介绍了处理气相化学动力学的大型软件包CHEMKIN的结构和不同版本的特点,并描述了它在燃烧问题中的应用。最后通过一个算例对H2/O2/N2均相绝热等压燃烧体系进行了处理和计算,以具体说明该软件包的应用效果。
学兔w.X1IOTL1T1第46卷第5期锅炉技术Vo.,46,No.52015年9月BOILERTECHNOLOGYSept.,2015前沿技术O2CO2气氛下煤粉燃烧中NOx转化机理的CHEMKN模拟丛晶,周月…
多晶硅还原炉内流动与传热过程数值模拟与优化.【摘要】：随着近几年光伏产业的迅速发展,改良西门子法作为生产硅的主要方法被广泛关注,如何提高产品生产率、优化设备成为近几年的研究热点。.本文主要研究了改良西门子法中多晶硅还原炉(CVDreactor)中的...
打开chemkin创建新工程.然后选择对冲模块，双击。.然后就在右边出现了一个对冲并且还有一个进气，但是呢，还需要一个进气.然后再选择出气就可以了.接下来更新工程.然后选择工作路径和反应机理.如果新拿到一个机理会有四个文件已KM2为例子.这...
论文翻译-EnPapers美助理教授团队-SCI英文润色切换到手机版-清除COOKIES-广告投放说明-给我们提意见-手机客户端-捐助小木虫-漏洞提交小木虫,学术科研互动社区,为中国学术科研免费…
首先简单说明一下，CHEMKIN由美国Sandia国家实验室开发，CHEMKINII即以下版本为开源版本，CHEMKINIII开始科研使用需要购买版权，或使用旧版本实现相同功能。CHEMKINIII之后的版本开始带有简单的图形界面。这个软件包是一个比较经典的...
基于CHEMKIN对锅炉SNCR脱硝系统模拟及优化,NOx是电力行业燃煤锅炉尾部烟气排放三大污染物之一,随着国家排放标准(GB13223-2011)的实施。选择性非催化还原技术(SNCR)是一种价格低廉的...
为了促进燃气轮机和气化炉等高压下的燃烧技术的发展,为其提供充分的理论依据,因此本文研究了压力对甲烷层流燃烧特性的影响。利用气相化学动力学软件CHEMKIN探究了压力对甲烷燃...
(ho-modified),可以准确地预测工业级西门子多晶硅还原炉条件下多晶硅的沉积速率.Chemkin软件只能用以模拟计算简单反应器模型.采用可模拟复杂湍流化学反应过程的AnsysFluent...
长安大学硕士学位论文CHEMKIN软件在均质压燃及改质数值模拟中的应用姓名:吕昊申请学位级别:硕士专业:载运工具运用工程指导教师:张春化20100601均质...
西门子多晶硅还原炉内涉及复杂的气相/表面化学反应,本文对文献报道SiHCl3-H2体系下硅的化学气相沉积过程相关实验进行了归纳和比较。采用边界层反应模型和Chemkin模拟软件,耦...
多晶硅还原工艺的流程模拟与优化-化学工程专业论文.docx,摘要针对多晶硅氯硅烷的还原体系建立了氢气和三氯氢硅系统的化学气相沉积反应模型,通过Chemkin4.0...
2020-04-0917:57编辑:51jrft51今日论文网基于CHEMKIN的异辛烷燃烧化学反应过程研究[20200408213226]摘要随着汽车保有量的不断增加,汽车排放的污...
本文应用CHEMKIN软件对乙醇氧化燃烧的化学动力过程进行了理论研究,模拟了乙醇HCCI发动机的燃烧过程,分析了边界条件对HCCI燃烧过程的影响;根据改质的概念建立了改质室...
基于chemkin的hcci燃烧过程的数值模拟研究-动力机械及工程专业论文.docx,独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果...
论文服务:摘要:针对SiHCl_3-H_2体系下硅的化学气相沉积过程,采用边界层反应模型和Chemkin模拟软件,耦合不同气相与表面化学反应机理,对不同条件下硅的沉积速率,高温下HCl气体...