中北大学学位论文电容式微机械超声换能器(CMUT)设计及其封装技术研究摘要基于表面微工艺制作的电容式微机械超声换能器具有结构简单、自身噪声低、高机电耦合系数、高分辨率、高灵敏度、宽频带、与介质阻抗匹配性好等优势,从被提出以后就得到广大科研人员的关注,其在海底资源...
中北大学学位论文电容式微机械超声换能器CMUT设计及其封装技术研究摘要基于表面微工艺制作的电容式微机械超声换能器具有结构简单自身噪声低高机电耦合系数高分辨率高灵敏度宽频带与介质阻抗匹配性好等优势,从被提出以后就得到广大科研人员的关注,其
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CMUT及其阵列工作机理与应用基础研究.王红亮.【摘要】:超声成像技术广泛应用于医学、军事、工业、农业等众多领域,而超声传感器是实现超声成像的关键部件之一。.基于MEMS技术的电容式微机械超声传感器(CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer,CMUT)具有传统压...
Capacitivemicromachinedultrasonictransducer(cMUT)technologyisaprimecandidatefornextgenerationimagingsystems.Medicalandunderwaterimagingandtilenondestructiveevaluation(NDE)societieshaveexpressedgrowinginterestincMUTsovertheyears.
电容式微机械超声换能器(CMUT)设计及其封装技术研究.【摘要】:基于表面微工艺制作的电容式微机械超声换能器具有结构简单、自身噪声低、高机电耦合系数、高分辨率、高灵敏度、宽频带、与介质阻抗匹配性好等优势,从被提出以后就得到广大科研...
论文生活休闲外语心理学全部建筑频道建筑文本施组方案交底用户中心充值VIP消息设置客户端书房阅读会议PPT上传书房登录注册<返回首页电容式微超声传感器(CMUT)与…
CMUT及其阵列工作机理与应用基础研究-超声成像技术广泛应用于医学、军事、工业、农业等众多领域,而超声传感器是实现超声成像的关键部件之一。基于MEMS技术的电容式微机械超声传感器(CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransduce...
电容式微超声传感器(cMUT)的结构设计与-在超声领域,压电超声传感器是应用较为广泛的一种声电转换元件。但由于传统的压电传感器存在着空气与普通的压电材料之间严重不耦合现象,所以压电传感器并不是高效率的超声源。当然,为了提高效率...
备注:CMUT是CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducers(电容式微机械超声换能器)的首字母缩写。这篇论文的研究对象是具有圆形薄板振膜的CMUT,研究的出发点是为了得出圆形薄板的机械性能,如何得出机械系统参数:等效的弹簧系数、质量、阻尼系数?
CMUT及其阵列工作机理与应用基础研究万方数据
中北大学学位论文电容式微机械超声换能器(CMUT)设计及其封装技术研究摘要基于表面微工艺制作的电容式微机械超声换能器具有结构简单、自身噪声低、高机...
cMUT示意图18】天津大学硕士学位论文第一章绪论二,发展历程1937年H.Sell首次提出可以通过在薄膜和金属平扳闻增加密封空气层来制作静电式超声传感器。用于...
电容式微超声传感器cMUT的有限元论文.pdf,第19卷第5期传感技术学报v01.19No.5OFAND2006年10月CHINESEJOURNALSENSORSACTUATORSOct.2006AMicrofa...
基于MEMS技术的电容式微机械超声传感器(CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer,CMUT)具有传统压电超声传感器所不具备的显著优势,有望替代传统压电超声传感器成为市...
1.6论文结构安排第38-41页第二章CMUT工作原理与基础理论第41-57页2.1引言第41页2.2CMUT组成结构及工作原理第41-43页2.3CMUT理论基础第43-56页2.3.1CMUT薄膜...
在国内外期刊发表论文20余篇,目前主要从事MEMS超声传感器及超声无损检测技术等方向的研究工作,zhuzhu6701@sohu.corn第5期宋光德,官志坚等:电容式微...
现在,随着MEMS技术的发展,一种全新的超声传感器已经出现,它就是电容式微超声传感器(cMUT)。由于其采用了表面微等微工艺,很好地克服了压电...
介绍了电容式微超声传感器(cMUT)的基本结构和工作原理.同时使用有限元方法对cMUT的运行情况进行模拟.提出了两个ANSYS模型来阐述cMUT的塌陷电压与谐振频率.一...
作为新型的二维超声换能器阵列,CMUT阵列相比原来的二维压电陶瓷换能器阵列有什么优势呢,我们来看一篇论文:引文1,斯坦福大学OmerOralkan等人通过CMUT换能器与压...