根据情况来说。基本上二者是没有什么区别的。
1、如果是老师要你写的，应该给你范文或者具体格式要求，你照着格式或者要求仔细写就是了！2、如果老师没说，你就按照文献综述的写作方法写好了！文献阅读报告，即“文献综述”，英文称之为“survey”、“overview”、“review”。是在对某研究领域的文献进行广泛阅读和理解的基础上，对该领域研究成果的综合和思考。
依据文献的具体结构来制作PPT进行汇报，讲清楚作者的选题目的，选题意义，研究目的，研究意义，设计思路，对象选取，还有主要结果以及结论，局限性，发展前景等等。正文，是综述的重点，写法上没有固定的格式，只要能较好地表达综合的内容，作者可创造性采用诸多形式。正文主要包括论据和论证两个部分，通过提出问题、分析问题和解决问题，比较不同学者对同一问题的看法及其理论依据，进一步阐明问题的来龙去脉和作者自己的见解。主题部分主题部分是综述的主体。其写法多样，没有固定的格式。可按文献发表的年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用哪一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较。阐明引言部分所确立综述主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。主题内容根据综述的类型可以灵活选择结构安排。
1、如果是老师要你写的，应该给你范文或者具体格式要求，你照着格式或者要求仔细写就是了！2、如果老师没说，你就按照文献综述的写作方法写好了！文献阅读报告，即“文献综述”，英文称之为“survey”、“overview”、“review”。是在对某研究领域的文献进行广泛阅读和理解的基础上，对该领域研究成果的综合和思考。
读书报告格式及范文 2010年05月05日 一 读书报告有没有一定的格式 对初写读书报告的同学来说，学校会有一般的格式要求，让其有所遵循。一般地，只要有书名、有作者，其他可集中读后感来写。最浪费笔墨的是内容概要，惟一的作用是，让别人知道你看过这本书。 二 写读书报告的第一步 写读书报告的第一步是一面看书一面写，不论有甚么感想、疑问和见解，都随即把它们写下来。 如果书是自己的，可以直接写在书上；如果书不是自己的，可以准备一本读书札记簿，写在本子上。书看完了，把自己写下来的那些感受浏览一次，就会发现几个重点可以发挥的。把这几个重点列出来，有时间的话，把书有选择地再看一遍，为你想论述的重点，找寻更多的资料或例证。 有需要时，还可以再找其他有关的书籍来补充你的论点。这样，你阅读的收获会丰富得多，你写的读书报告也有分量得多。 三 不止读一本书 要把一本书的读书报告写好，除了对这本书要有较透彻的了解之外，还要对作者、对作者所处的时代，对这本书写作的背景有所了解。如果有条件的话，最好能同时找到其他有关的书来看，包括： 作者的传记； 作者其他作品； 别人对这本书的研究； 其他作者的回顾或有关著作 当然不是每一个人有条件或需要这样做，但能够这样做，写出来的读书报告一定扎实得多，丰厚得多。 四 赞与弹 初学写读书报告，大多拜倒在作品之前，大大夸奖一番。赞与弹都需要见地，公式化的赞美之词：内容丰富，描写细腻，刻划入微，感人肺腑，文章全是废话。 赞要赞到作品的节骨眼上，最好是这本书独有的、最突出的优点。 弹当然比赞更难，因为写读书报告的人学养往往逊于作者，要能指出一本书的缺点，而又能言之成理，使人信服，实在并非易事。但不容易并不表示不可以这样做，如果做得到，这篇既指出优点又指出缺点，当然是持手的做法，可是很容易变成一种公式，四平八稳的结果是不汤不水。 因此赞不容易，弹更难，又赞又弹也不简单。 五 点与面 读书报告可以对一本书全面论述，全面的结果很容易流于浮面，样样都谈到了，但只是泛泛之论，倒不如抓住你最有感受、最有心得的几点来谈。因为你谈得集中、深入，自然能给读者比较深刻的印象。 六 不要引用太多 好的读书报告应以写报告人自己的意见为主要内容，原文可以作为举例加以引述，但不宜太多。引述其他人对这本书的看法也要适可而止，不要连篇累牍的抄。否则看过之后，只觉得大部分是别人的唾余。写读书报告的只是一个人云亦云的抄录者。 ●如何撰写读书心得报告 一、前言 读书报告是读完书后的心得报告。并不是东抄一句，西抄一句，而是必须把握书中要点，再以自己的话句重加组织所整理出来的文章。 它必须具备两个必要条件： 1、要读书 没读书，信口开河，言之无物，不能称为读书报告。 2、要有心得 心得，批评，意见整理，创见。 因此，读书心得报告就是读完一本或相关的几本书后，经过整理思考而写下的感想。撰写的过程分成下列各步骤： →选定项目 →研拟初步大纲 →收集资料 →整理资料 →拟定详细大纲 →撰写报告 二、读书报告的类型 1、感发型：个人的直觉，以表明对该书的印象与感受。 2、论述型：析论该书之内容旨趣、结构、技巧、并评鉴其价值、地位影响。 3、撷摘型：摘引书中若干具有代表性之片段，夹叙夹议，籍以表彰该书之精神特质。 4、比较型：将该书与同类著作作一比较，衡量其得失优劣。 5、源流型：评价该书所涉及学科之渊源流变，然后具体剖析该书在学术范围之创获贡献。 以上类型可随需要交互使用，不必拘泥。 三、写作前的准备 (一)培养适当的读书方法与技术 1、先做纲要笔记。 2、将原书的序言、导论、目次先看一遍，然后分章节将要点记下。 3、如有批评或心得应随时记下。 4、重新综览笔记，然后将全书的内容大意，扼要而有系统的介绍并加以评论。 (二)选择阅读的书籍 读书报告格式及范文 (3): 2、学生自订； 3、老师指定范围，学生自订。 (三)确立写作的内容与范围 1、基本认知 读书 心得的内容，一般可分为客观描述与主观批评。 客观描述的重点在於所描述的书及其作者，如该书的- - 读书报告格式及范文 (3)- 2、学生自订； 3、老师指定范围，学生自订。 (三)确立写作的内容与范围 1、基本认知 读书心得的内容，一般可分为客观描述与主观批评。 客观描述的重点在於所描述的书及其作者，如该书的主题、大纲、范围以及依据该书对作者写作技巧所下的评语。 主观批评的重点则在於写读书心得者本身，即你对该书的反应与评价；对其主题的看法与认识。 务必：知之为知之，不知为不知。 2、写作的重点内容 （1）引言：关於书籍本书、作者、或书中议题加以概述。 （2）纵向之历史性回顾：对此问题的前人研究的回顾与其存在的优劣点。 （3）横向之生活经验：可以与书籍内容相启发的。 （4）个人感思：谈你的个人心得，阐述你的主题，对前人的褒贬等。 （5）结论：分析前人与你的研究后，提出几个问题，以及未来值得研究的方向。 3、写作的范围 （1）相关书讯：关於所阅读书籍的一些相关讯息，至少二百字。 （2）内容摘录：摘录书中有意义之文字，一百字以上，三百字以内，务需注明摘录文字出处之页码。 （3）个人观点：此部份即为分享文章的主要内容，需至少一千字。 （4）讨论议题：针对书籍内容至少提出一个相关的讨论议题。 4、注意事项 （1）读书心得报告的写法与传统作文的写法，在笔调上的不同，笔锋不一定要带感情。 （2）重要内容要在文章中显示撰写者的知识、逻辑与分析，个人感思需能使读者信服。 （3）以平实的方式叙述，少用“！”与“？”。 （4）写读书心得不一定是要写“书评”式的读书心得 。 (四)收集、参阅有关该书的任何其它资料 四、读书报告的写作规格 1、书目 将选读之书名、作者、出版处所、年月、版次，分项填写於题目左方（参见自校规定）。 2、全书提要 可经由书前序文、绪言或书后跋、后记等，写作该书之缘由、时代背景，书之结构重点，逐一介绍。（勿超过全文三分之一） （1）重点介绍作者及著书之时代背景。 （2）全书之题旨大意。 3、心得评论 （1）感发：说明该书之精神与特色 （2）论述 （3）批判 4、结语 （1）提出问题 （2）表达期许 （3）归纳主要意见 5、附注 引用资料，应注明出处，不可掠人之美。 6、参考书目 写作报告中，曾参阅哪些书籍、杂志、或其他资料，均应于报告后列出书名、作者。 五、力争做到 架构井然有序，层次条理清晰。 行文简洁明了，造句畅达易读。 批评态度客观，立论要讲证据。 恳切发掘疑问，培养洞视创见。 ● 由此，读书心得报告的格式，一般有下列几项： 一、书名 二、著者 三、出版社 四、页数 五、内容概要 六、读后心得 七、评语 八、附注 ●以下就这格式，介绍一篇读书心得报告做为范例： 一、书名：苦涩的成长 二、著者：朱炎 三、出版社：民国七十三年19版／台北市／尔雅出版社 四、页数：141 五、内容大意： 这本书包括十篇文章，可称为给青年的十封信，十个主题，每个都有对象。 首篇「爱」，阐释爱的作用，同时辨明时下对爱的曲解以及赢得真爱之道。 次篇「青春」，从描述误解青春的特质中，勉励青年应有刻苦耐劳，独立自主又淳朴谦虚气质，进而体认出一个人的价值，在於他对人类社会的实际贡献。 第三篇「火凤凰」，系以火凤凰的行径为喻，勉青年要有理想，要有为理想而献身的精神。 第四篇「挫折」，以「衣衫的领子、袖子最易磨损」之巧喻，勉青年要有面对挫折，不畏挑战的勇气，并体认领导人物，注定要比别人承受更大的挫折。 第五篇「孤独」，简介离群索居以独立思考的生活方法，鼓励能不畏寂寞，进而领略孤独的况味，以及学习多单独思考问题。 第六篇「怨尤」，说明报怨之害，便是自动地放弃了自己生存的权利与否定自己生命的意义，勉人行事宜务实，切忌好高骛远。 第七篇「蛊惑」，勉青年由自持、制欲、去私、不惑使自己清醒之后，进而慎思明辨，知保留自己文化的特质与优良传统，进而培养有为光明远景献身的气概。 第八篇「孝道」，阐明践行孝道，最重要的就是帮助年长的父母、祖父母适应这个变迁的社会，让他们由阴暗的角落里走进阳光，享受现代生活的乐趣。 第九篇「生活的艺术」，说明生活本是一种需要勇气与魄力的大艺术，并且唯有从生活的简化中，才能使心灵苏活，提高生活的境界。 末篇「人类的母亲」，阐释女性的尊严乃人性尊严的基石，肯定人性必须有尊严，就得从尊重女性人格做起，尽力维护女性尊严。 书末还有朱炎先生写作年表，可以看出他是一个从前吃苦，现在有成就而将来成就不可限量的人，其阅历足可为青年之导师。 六、读后心得： 朱炎先生是一个从前吃过苦，现在有成就的人，他的丰富阅历使他能穿过人生重叠的层面，看得深，看得远，有智慧。他在备尝生长的痛苦，又把痛苦转化为喜悦之后，用心写一本小书，一本形体小而价值大的书。他费尽苦心，辛苦写成，成果是甜美的。在这个纷纷用悲观来表示深度的时代，他这本书从深处发掘乐观，在这个用偏激表示造诣的时代，他这本书完备而中和，更显得难能可贵。他在走完了人生最艰难的一段长途之后，伫足回头，看看后面的人走得怎么样，鼓励能好好的走。这一份奉献，令我敬佩也使我感动。 这十篇文章虽各自独立，但脉络相通，浑然如一，像一条山脉十座山峰，根本上，他提供人生在世的一种观点，一种哲学。没有哲学和没有面包同样令人活不下去。他从上游解决人生问题，正本清源。这种建设工作，可以使医生、警察减少许多不必要的忙碌。这十篇文章，一方面探讨了人生潜藏於内的幽微，一方面勾勒了人生形之於外的峥嵘，同时也给理想的中国青年摹出风貌典型。人在青年时期辛苦寻觅的东西，大半都在这本书里。 七、评语： 朱炎先生是一位热爱学问而有学问，热爱真理而认识真理，热爱青年而了解青年，热爱人生而能奉献自己，不但是一个卓越的散文家，更是一个把墨水变成热血的人。他的笔是一座桥，从他的内心到读者内心，交流互通，如响斯应。 推销钢琴的广告有一句话：「学琴的孩子不会学坏」，意思是说音乐能净化人的心灵，提高人的境界，使人发现并追求较完美的模式。我也要说，熟读朱炎教授这本书的人也不会学坏，因为他不会走错路。 中国多一本这样的书，就可以少一座监狱。 八、附注：本书六十七年初版，时著者年四十二岁。 另外，除了封面要写校名、自拟的题目、专业、学号、姓名、读书时间之外，正文第一行要居中写上自拟的题目，且字数不超过20，允许有副标题。
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文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。
如果你不知道如何写，但是又急着交。一个非常简便的方法，就是去知网上面找你要写的那方面的硕士论文，上面有完整的文献综述（那最好，你稍稍改动即可），如果是开题报告形式，你就可以找好它上面的内容（其实跟文献综述写的内容差不多，只是格式和形式不太一样）。你按照以下的提纲自己复制粘贴内容即可（我们这学期写了一篇文献综述），也有可能每个学校的要求提纲不太一样，不过都是差不多的不用太担心，主要是内容要找准： 论文题目：一般不超过25个字，要简练准确，副标题统一为“文献综述及研究思路”可分两行书写； 摘要：中文摘要字数应在300字左右，英文摘要与中文摘要内容要相对应； 关键词：关键词以3—5个为宜，应该尽量从《汉语主题词表》中选用，分号隔开； 正文：正文要符合一般学术论文的写作规范，内容层次分明，数据可靠，文字简练，观点正确，能运用现代经济学、管理学的分析方法，并能学会利用计量经济学、统计学等相关工具对所涉及的问题进行分析，文章主体字数为4000字以上。正文基本结构如下： 一、选题背景及选题意义 二、有关国内外研究成果综述 （一）国外研究成果 （二）国内研究成果 （三）对研究成果的评述（这个地方就不要把引用的写出来了，我被我们老师就批了） 三、基本研究思路（最好有图，把你参考的文章所有的提纲画一个简易图即可，不单是自己的文献综述，是你参考的整篇论文的内容） 四、研究方法及创新处 参考文献：参考文献应按文中引用出现的顺序列出，只列出作者直接阅读过、在正文中被引用过的文献资料，一律列在正文的末尾，特别在引用别人的科研成果时，应在引用处加以说明。每篇论文的参考文献一般不应少于五条。 希望对你有用~~
论文文献综述怎么写
本科毕业设计（论文） 文献综述 院 （系）： 专 业： 班 级： 学生姓名： 学 号: 年 月 日 本科生毕业设计（论文）文献综述评价表 毕业设计（论文）题目 综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等） 评阅教师姓名 职称 评 价 项 目 优 良 合格 不合格 综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范 综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果 03 文字通顺、精练、可读性和实用性强 04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等 参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范 06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献 成绩 综合评语： 评阅教师（签字）： 年 月 日 文献综述： 小四号宋 空一行 标题 二号黑居中 空一行 1 XXX 三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXXX 小三号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 1 XXX 四号黑 XXX 小四号宋，行距20磅 空一行 2 XXXX 三号黑 (空1行) 参 考 文 献 (空1行) [要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：] [1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅） [2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31． 下面的是我的文献综述 文献综述: FTO透明导电薄膜的溅射法制备 1 前言 为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。 本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。 2透明导电玻璃的种类及制备方法简介 1透明导电玻璃的种类 1 1 TCO导电玻璃 TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 2 ITO透明导电玻璃 ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。 3FTO透明导电玻璃 FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大 FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。 2FTO透明导电玻璃制备方法 FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。 1磁控溅射法镀膜： 溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。 目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。 2真空蒸发镀膜： 真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。 3溶胶-凝胶法： 溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。 4化学气相沉积法： 化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。 化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。 5喷雾热分解法： 喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。 3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势 1FTO透明导电玻璃的研究现状 自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。 Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到2Ω/口，可见光透光率为95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。 射频溅射： 射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。 直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］ 用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为5—5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。 2FTO透明导电玻璃的应用 FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。 1在薄膜太阳电池上的应用 太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。 2在显示器上的应用 显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。 3在气敏元件上的应用 气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］ 4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用 喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 3 FTO透明导电玻璃的发展趋势 随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件： (1)导电性能好，电阻率较低； (2)可见光内透光率较高： (3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜； (4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀； (5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高； (6)表面形状良好，没有针孔； (7)价格较低，可实现大规模工业化生产。 目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。 几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。 4 制备条件对膜结构及光电性能的影响 长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了1——3的结论。 1制备条件对膜厚的影响 文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。 2制备条件对膜结构的影响 晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。 3制备条件对膜光电性质的影响 在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 4 退火对薄膜的影响 退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］ 5 退火后处理对膜结构与成分的影响 光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］ 6 FTO导电玻璃制备相关参数 根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。 7 参考文献 1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学 2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学 3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学 4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光 5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷 6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报 7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877． 8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et a1．Effect of fluorine doping on highly transparent conductive spray deposited nanocrystalline tin oxide thin films[J]．Applied Surface Science，2009，255(23)：9358—9364． 9、Dai S，Wang K，Weng J，et a1．Design of DSC panel with efficiency more than 6％[J1．Solar Energy Materials and Solar Ceils，2005，85(3)：447—455． 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