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微/纳米级微电子机械系统制造新技术
论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑 (LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术在MEMS产品中的应用前景。
发表时间:2016/03/19
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低功耗全集成微电子神经桥接电路的设计
神经传导束中断是脊髓损伤后功能障碍的主要原因。微电子神经桥是利用微电子芯片 或模块旁路受损神经传导束,重建因神经通路中断而丧失的功能。设计了一种基于0.5 ^m CMOS 工艺的低
发表时间:2016/03/19
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《微电子工艺》的理论教学与学生实践能力培养
就《微电子工艺》课程的理论与实验教学进行了探讨。结合笔者的教学实践,介绍了《微电子工艺》课 程教学内容的选取、教学方式的改革与探索,强调了将教师的理论教学、实验教学
发表时间:2016/03/19