磁控溅射制备氮化铜薄膜及其掺杂研究,氮化铜薄膜,反应磁控溅射,氮气流量,Ni掺杂,晶体结构。Cu_3N薄膜是一种以共价键结合的亚稳态半导体材料,具有热分解温度低、电阻率高、在红外和可见光波段反射率低等 …
与其它技术相比,磁控溅射法最大的优势是它的沉积速率快,具有诱人的成膜效率和经济效益,该技术有望大幅降低太阳电池成本。. 本文在玻璃衬底上沉积硅薄膜,研究溅射工艺参数对薄膜的光学性能和结构组分的影响。. 本论文的主要研究内容和结论可总结如下: 1 ...
磁控溅射掺铝氧化锌薄膜的Ar气工艺条件研究，宋瑞良，刘玮，磁控溅射掺铝氧化锌（AZO）透明导电膜是大面积太阳能薄膜电池工业化生产的重要工艺手段。实验发现，在不同的Ar气进气方式的溅射过
影响磁控溅射均匀性的因素. 王军生 童洪辉 赵嘉学 韩大凯 戴彬. 【摘要】： 用中频孪生靶磁控溅射实验平台,对影响磁控溅射生成的薄膜厚度均匀性的因素进行了实验。. 结果表明,磁场的均匀性和工作气体的均匀性是影响成膜均匀性的主要因素。. 针对实验结果 ...
制备ZnO薄膜的方法有很多,其中磁控溅射法制备的薄膜具有膜厚均匀,附着力强,生长速率可控等优点。. 本文主要利用磁控溅射法在Mo缓冲层上制备出了ZnO薄膜,并对制备出的薄膜进行了测试,分析了其结构、表面形貌和发光性能,同时还分析了薄膜生长过程中不同参数 ...
Ti表面磁控溅射Nb膜的研究. 姚为 吴爱萍 邹贵生 任家烈. 【摘要】： Ti 表面磁控溅射 Nb 膜作为 Ti 与其他金属连接的合金层或过渡层有着重要的研究意义和实用价值。. 本文研究了基体温度、薄膜厚度、真空退火对 Nb 膜附着性和组织结构的影响,应用扫描电镜观察 ...
射频溅射时，采用高频射频电源（13.56MHz），分别将靶材和真空室的其他 部分耦合在电源的两极，衬底处于靶材对应的位置，与靶材间距为5cm， 射频磁控溅射时放电的过程（工作气体为Ar 1）无光放电打开射频电源及电流显示器，即会有十毫安以下以下的电流 ...
华中科技大学博士学位论文 磁控溅射制备氮化铜薄膜研究 姓名：李兴鳌 申请学位级别：博士 专业：材料物理与化学 指导教师：刘祖黎 20070126 本文全面系统的研究了沉积条件对直流磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构和性能的影响，以及金属铝、铁、镧掺杂对直流磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构和性能 ...
磁控溅射法制备Cu膜论文.doc,. word版本. 磁控溅射法制备Cu膜 摘 要 沉积速率高、基材温升低的磁控溅射工艺，已经成为半导体集成电路金属化工艺的主流。本文重点对在硅晶圆上溅射金属铜薄膜的实际镀膜过程中的淀积速率进行了理论和实验研究。
中国期刊网,期刊,杂志,读者服务,电子杂志,论文,文库,期刊网,电子刊 [导读] 摘要：本文基于磁控溅射的磁场分布水平和磁场强度在镀膜性能与质量上影响与价值分析，结合磁控靶材的结构及其磁场的计算方法和步骤的探讨，以及利用ANSYS软件对磁控溅射靶磁场的分布及其相关参数作二维的模拟与分析 ...
王奇,王艳辉,牟宗信,赵纪军(大连理工大学物理学院三束材料改性教育部重点实验室,辽宁大连116023)摘要:磁控溅射镀膜实验涵盖了理工科大学生所认知的真空、高电压、材料制备等...
论文>期刊/会议论文>磁控溅射Ti-Si-N超硬膜研究磁控溅射Ti-Si-N超硬膜的研究上海交通大学材料科学与工程学院200240摘要:本文栗用钛一硅复合靶,通过控制...
《射频磁控溅射沉积TiAlN薄膜的电阻率温度系数(英文期刊)》.pdf,Availableonlineat1^n『l,、^f.sciencedirect.comTransacfionsofNonferrousMetais登槊·乏:...
期刊文献+检索高级检索期刊导航磁控溅射Nb掺杂TiO_2薄膜的研究被引量:2EffectofNb-ContentonPropertiesofNb-DopedTiO_2FilmsGrownbyMagnetronSputtering...
第一篇sci投稿后被拒,主要是文章novelty不够。本人小硕是做磁控溅射镀膜方向的。求推荐一些对稿件要求低的sci期刊(毕业要求),看很多虫友说印度办的杂志比较容易中,求推荐。谢...
[3]董大银,潘傲秋,李培刚,等.磁控溅射制备Au纳米颗粒及其局域表面等离激元共振特性研究[J].浙江理工大学学报,2015,33(11):882-886.[4]周泽,段志光,刘咏松.压缩...
来自维普期刊专业版喜欢0阅读量:265作者:李芮摘要:磁控溅射是镀膜技术中最突出的成就之一.它以溅射率高,基材温度低,膜基结合力好,装置性能稳定,操作控制方便等优点,...
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【摘要】:磁控溅射以溅射温度低、沉积速率高的特点而被广泛应用于各种薄膜制造中,如单层或复合薄膜、磁性或超导薄膜以及有一定用途的功能性薄膜等,在科学领域以及工业生产中...
中国期刊全文数据库前10条1李春伟;田修波;刘天伟;秦建伟;杨晶晶;巩春志;杨士勤;;凹槽工件表面常规磁控与高功率脉冲磁控溅射沉积钒薄膜的研究(英文)[J];稀有金属材料与工程...