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常亮;孙彬;徐品烈;种宝春; 通过对自动键合机送线装置的构成和原理进行研究,并结合键合工艺对送线系统进行分析,提出送线装置的结构优化方案,进而为提高自动键合机的效率和稳定性提供理论支持。2021年04期 v.50;No.289 19-22+67页 [查看摘要] [在线阅读][下载
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层间介质 (ILD)CMP工艺分析. 【摘要】： 论述了层间介质 (ILD)的类型及其在集成电路设计中的作用。. 以典型层间介质SiO_2为例,分析其CMP (化学机械平坦化)工艺过程的化学和机械作用机理,并在此基础上阐述影响CMP工艺的各项关键因素。. 结合分析得出以SiO_2作为层间 ...
PVT在同步运动控制中的应用. 王慧 黄帅. 【摘要】： 介绍了T型及S型曲线的轨迹规划,与之相对应的位置规划曲线分别是2阶和3阶多项式,尽管这些标准的规划满足点对点运动,但是对于更为复杂的位置轨迹规划却是不适应的,尤其是多轴联动,介绍了一种更为弹性的 ...
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中国最早从事可靠性研究的权威机构. 工业和信息化部电子第五研究所（中国赛宝实验室），又名中国电子产品可靠性与环境试验研究所，始建于1955年，是中国最早从事可靠性研究的权威机构。. 实验室可提供从材料到整机设备、从硬件到软件直至复杂大系统的 ...
1 难波进;喻德政;;微细加工现状及发展趋势[J];电子工业专用设备;1981年02期 2 海洋;;1∶1全反射投影光刻技术[J];电子工业专用设备;1979年04期 3 Noelc·Magdonard;喻德政;;未来的光刻技术及设备[J];电子工业专用设备;1983年01期 4 姚汉民,周明宝,田宏;迈向21世纪的光刻技术[J];光电工程;1999年01期
常亮;孙彬;徐品烈;种宝春;2021年04期v.50;No.28919-22+67页[查看摘要][在线阅读][下载2634K][下载...电子专用设备研究AMOLED除泡工艺中智能搬送及分拣系统的设计与实现田娜;王毅;姜慧慧;刘...
5黄杏利;傅增祥;杨红艳;马彬睿;;晶圆化学机械抛光中保持环压力的有限元分析[J];西北工业大学学报;2007年04期6种宝春;;CMP加工过程中均匀去除率的研究[J];电子工业专用设备...
参考文献:种宝春.CMP加工过程中均匀去除率的研究.电子工业专用设备。2007(5):58.[2]LogitechMaterialsTechnologists&Engineers.Technology&equip-mentmanualso...
回答：本刊主要面对国内外从事电子专用设备研究、设计、制造及应用领域的科学工作者、工程技术人员、大专院校师生及管理干部等。其宗旨是:坚持四项基本原则、贯彻“双百”方针,报导国...
[J]电子工业专用设备,28,(166):1115[8]种宝春,靳永吉,罗嘉辉多线切割机的切割运动分析[J]电子工业专用设备,21,39(2):3134[9]张宝玉浅谈摆动式多线切割机原...
中国期刊全文数据库前1条1种宝春;切片机主轴系统的设计、装配与维修[J];电子工业专用设备;2001年04期相关期刊>电子工业专用设备相关机构>信息产业部电子第四十五研...
CMP加工过程中均匀去除率的研究.pdf,·前道制造·电子工业专用设备EPEICCMP加工过程中均匀去除率的研究种宝春(中国电子科技集团公司第研究所北京东燕...
【摘要】:KDP(化学式KH2PO4)晶体是一种重要的非线性光学材料,被广泛应用于激光领域。目前,KDP晶体加工的第一道工序——切片,多采用环形金刚石带锯切割技术,但环形金刚石带锯...
1种宝春.切片机主轴系统的设计、装配与维修[J].电子工业专用设备,2001,30(4):22-26.被引量:32Lael.笔记本电脑重返“大”时代[J].数码,2005(12):20-20.3三星19英寸宽屏笔...
中国期刊全文数据库前1条1李凌杰;雷惊雷;贺东海;徐辉;张胜涛;潘复生;;原位椭圆偏振光谱法研究镁合金在模拟冷却水中的腐蚀[J];腐蚀科学与防护技术;2009年03期【共引文献】...