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控制工程学术领域论文

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控制工程学术领域论文

学位申请者为申请学位而提出撰写的学术论文叫学位论文。这种论文是考核申请者能否被授予学位的重要条件。学位申请者如果能通过规定的课程考试,而论文的审查和答辩合格,那么就给予学位。如果说学位申请者的课程考试通过了,但论文在答辩时被评为不合格,那么就不会授予他学位。有资格申请学位并为申请学位所写的那篇毕业论文就称为学位论文,学士学位论文。学士学位论文既是学位论文又是毕业论文。学术论文是某一学术课题在实验性、理论性或观测性上具有新的科学研究成果或创新见解的知识和科学记录;或是某种已知原理应用于实际中取得新进展的科学总结,用以提供学术会议上宣读、交流或讨论;或在学术刊物上发表;或作其他用途的书面文件。在社会科学领域,人们通常把表达科研成果的论文称为学术论文。

随着现代工业的迅速发展,机械也越来越受到人们的关注,成为重要的研究课题之一。下面是由我整理的机械专业学术论文,谢谢你的阅读。 机械专业学术论文篇一 机械制造中的机械设计技术分析 [摘 要]随着社会的发展,生活和生产方式也发生了重大的变化。在机械设计与制造方面,工作技术也在不断的提高。机械设计与机械制造是密不可分的,机械设计其实为机械制造提供了理论,是机械制造的前提。机械制造在设计好的机械方案的基础上进行具体的实践与制造。但是无论在哪一个方面,技术是关键,特别是机械设计中要体现和应用的技术。 [关键词]机械制造 机械设计 技术分析 中图分类号: 文献标识码:A 文章编号:1009-914X(2015)36-0091-01 一、 机械设计的基本认识 机械设计的现状 机械设计伴随着社会生产力的发展逐渐走进生产活动中,给生产活动提供了科学的理论基础。在传统的机械制造过程中,机械设计人员根据原来的机械原理,按照传统的方式进行产品设计,并且是通过简单的设计构图和静态的计算分析得到方案数据的,这样一来,设计所需要的数据可能缺乏准确性,可能对机械制造工作带来不必要的麻烦。相对传统的设计理念来讲,采用增强安全性的机械设计方法是比较可靠的,但是它也具有一定的弊端。另外,科学技术的发展也为机械设计工作带来了科技化的成果,大大克服了之前传统方式设计的弊端。在产品开发周期、工作效率等方面得到了很大的提高,设计所需要的数据更加精确,设计水平大大提高,得到了社会上的广泛认同,机械设计的成果更加显著。 我国机械设计的特点 应用广泛性 伴随着我国科学技术的快速发展,先进的机械制造技术在机械制造中是越来越重要,更是得到了广泛的应用。任何机械制造都离不开技术的支持,设计与技术的结合更给生产工作提供了强大的后盾。 创新性强 在机械设计与机械制造过程中,任何技术与设备都需要进行不断的更新和创造。机械设计方面,所谓创新是指在原有的优秀技术的基础上,运用更加先进的技术作为发展动力,不断学习不断进取,通过更多的知识来填补现有工作中的不足,通过创新和发展,致力于将机械设计方案做的更好,为机械制造提供更好的设计方案,提高机械化水平。 针对性市场广泛 在当今社会,任何产业的发展大多都离不开机械的辅助,机械在各行各业中的应用广泛带动了针对性市场的广泛性。机械产品可能涉及到餐饮行业、零部件加工行业等方面。而现今的机械设计也出现在各行各业,机械设计针对的市场对象广泛,满足了当今市场竞争的要求,同时也增强了市场竞争力,为机械设计与制造行业带来广阔的发展前景。 我国机械制造技术的发展方向分析 我国的机械制造技术现如今也在逐渐走向高端,结合以往经验总结可以发现,机械设计技术发展方向主要有三大类的方向可循:第一方向就是机械制造的管理,即健全规范的计算机管理制度,所以我国机械制造业要注重设计方向,更应该加强对机械制造技术的计算机管理;在近年来的设计技术发展站过程中,会发现机械制造的设计现代的机械产品的设计要求越来越要求智能化的实现,如相关的设计软件以及虚拟的设计技术的出现,这些虚拟软件将机械产品进行模拟设计,其实验结果可以通过高科技的方式显示,比如计算机软件的荧屏显示,数据报告等;接下来,机械制造的工艺越来越成熟,逐渐向精细加工高精密加工等技术方向发展,机械设计技术更加贴近细节。 二、机械制造中的机械设计技术分析 对机械设计方案的分析 机械设计的设计方案是设计中的关键,绝对影响着机械设计成品的实际效果与水平。在设计方案的过程中,许多细小的问题需要耐心发现并解决。尤其要注意的是,理论和实际实践是否能够有效的结合在一起,在实际操作过程中是否能够实施等问题。机械设计所设计的方案应该要考虑两方面的要求。一是要能够满足机器自身的基本性能和功能要求,二还要考虑工作者是否能够有效操作,工作人员是否能够掌握机器、是否熟悉操作流程等问题。机械设计的设计方案的主要设计步骤包括以下几个方面: 机械设计的主要技术设计分析 在机械设计的主要技术设计过程中,主要设计是占到重要地位的。在机械设计的主要技术设计阶段,首先要对设计图纸进行认真的核查,并且要细心认真对设计图纸中的数据进行分析,通过计算等方式实现数据的汇总。还有值得注意的是要对总图与部分图进行精心的对比分析,保证总图与部分图的统一。其次,要严格审核机械设计的主要技术设计的每个部分环节,保证设计质量,避免制造中不必要的麻烦。如果在实验过程中发现问题,就应该及时对每个环节进行重新校对。 机械设计的技术发展方向探讨 智能化 现代机械产品的机械设计发展方向发生了极大的改变,发展方向更加多样化,这样给机械设计带来了更多可能性的同时也增加了难度。因为机械设计质量要求在不断提高,而机械设计在如今的高科技化趋势中抓住了机遇,为新技术的发展和创造提供了良好的环境。并且不得不承认,在当今的科技形势中,智能化逐渐成为现代的机械产品的设计一个重要发展方向。智能化的产品增强了产品的性能、产品精美的结构等相关功能,并且提高机械设计的质量与水平。 系统化 系统化也是现代机械产品发展方向之一,现代化的机械产品设计越来越注重系统化,在设计过程中通过系统化实现各个部分的优化,将各个部分有效的整合在一起,实现设计产品的整体效能的提高。 模块化 除了智能化与系统化的倾向之外,现代的机械产品的设计要求也体现出倾向于模块化的特征。相比较而言,模块化的设计思路比较清晰敏捷,在完成机械性能与功能的结合方面优势是比较突出的,从而在很大程度上提升了产品的整体优势,能够最佳的完成机械设计方案的要求。 未来机械设计设想 机械设计人员设计理念 伴随着人们的生活质量的提高,机械设计的要求也在提高,工作人员的意识也要更加为人们的生产着想,本着更加“贴近生活、注重细节”的理念设计出更好的产品。因此,要求机械产品设计人员在进行设计时要特别重视机械产品设计的性能、质量等问题,为产品质量做好保障。 机械设计的市场 现代机械产品在市场竞争中要占有优势,设计技术机械产品的设计就要将生产的最终目的视为各类市场。在当今的市场竞争趋势中,设计人员要积极开发和创新设计理论,运用创新精神和先进的科学技术,研究出机械产品的新技术与新功能,从而提高机械产品质量,实现能够在市场竞争中更占优势。针对各类市场进行多样的设计,占领市场才能有利润和发展前景。通过提升产品的市场竞争力来让适应当今市场经济的竞争趋势。 与时代相关 现代机械产品也要和时代要求相结合。比如,节能环保的绿色设计理念等新式健康理念等。近年来,绿色环保不断成为各行各业发展的主题,环保意识更是深入人心。如今生活中,处处可见低碳生活的影子,绿色产品也不断进入市场,并且受到大家的欢迎。所以机械设计也能结合低碳消耗、绿色生产等进行设计,更好实现其理念价值。 三、结语 本文主要对机械制造中的机械设计进行分析,对机械设计的特点以及设计过程中应注意的问题进行探究,结合未来发展趋势提出部分见解,为机械设计提供更多的意见。 参考文献: [1] 王宝香.机械设计与机械制造的技术分析[J].煤炭技术,2013-04-12. [2] 王晓晨.浅析机械设计与机械制造技术[J].科技创新与应用,2014-08-11. 机械专业学术论文篇二 机械设计与机械制造技术 摘要:现代设计的特点是面向市场和用户的设计,现代设计不仅要实现产品的基本功能,更应体现人性化和环境保护的设计理念。同时,我国近年来机械设计制造技术得到了长足的发展,但是,与传统工业发达国家相比,我们还存在着十分明显的差距。由于技术、管理、投入不足等多方面的的因素,我国的制造业正承受着国际市场的巨大压力。本文就此阐述机械设计与机械制造的技术。 关键词:机械设计 机械制造 技术 引言 机械设计制造技术是衡量一个国家科技发展水平的重要标志。随着科技的发展,计算机网络技术的普及,机械设计方法已经有了实质性改变,科技新成果,不断丰富着机械设计的思想、理论以及方法,不断促进了机械设计发展和变革。在我国,机械制造技术经过多年的发展取得了极大的进步,但是相比较国外一些发达国家而言,还存在着一定的差距。不断地完善机械设计与加强机械制造技术,是保证我国机械制走向世界领先水平的前提条件。 1. 当前机械制造业设计的方法及内容 当前机械制造业设计方法是在对过去传统的机械设计理念进行深刻反思的基础上,综合运用现代化的设计技术手段实施的相应机械设计,可以概括为以下三个方面主要内容。 数字化成为当前机械设计的核心特点 随着科技的进步,尤其是数字化技术的高速发展,在机械设计进行之前久能够围绕整个设计生命周期进行相应的建模工作。同时可以充分利用计算机技术进行模拟设计,并对产品设计的整个生命周期进行过程模拟,给实际机械设计提供最佳的参考素材。在设计当中,还能够综合运用大量的数字化的设计技术及方法,广泛应用计算机辅助设计以及数字管理手段对全部设计的过程进行科学管理,确保资源配置最优化、设计效率最大化。 并行化成为当前机械设计的最大趋势 依托计算机支持,机械制造设计团队能够实现更多信息的共享,从而打破了时间和空间阻隔障碍。不同地区的机械设计工作者能够在同一平台下实现协同设计工作。在机械设计的过程中能够更多地赢得技术方面的支持和帮助,实现各种优势的互助互补,不断提高设计能力和设计水平。而过去传统的机械设计往往是单方面串行的设计,每项产品均需要实施分步骤设计,在一个设计步骤完成后,才能够进行下一个步骤的设计,设计资源利用度不高。此外在设计过程中各个设计环节也缺少必要的沟通手段,无法对设计中发现的问题在第一时间进行修正,使机械设计的开发周期变得更长,并增加了设计人员的工作量。随着当前机械大型化、综合化的发展,各种机械的构造及功能都变得更加多样和复杂,机械设计开发初期确立的思路对于后期影响较大,由于设计过程比较复杂,如果前期的设计思路一旦出现纰漏,那么将很难进行及时的修正。 智能化成为当前机械设计的迫切要求 随着自动化技术在机械设计领域的广泛应用,机械的自动化程度已经变得越来越高,相应地对机械自动化设计进程也提出了更高的要求。机械设计师需要充分利用智能技术进行相应的机械设计工作,构建完善的智能化的体系。 2. 我国机械设计制造技术发展的现状分析 机械设计制造包括研究产品的设计、生产、加工制造、销售使用、维修服务乃至回收再生的整个过程。它是以提高质量、效益、竞争力为目标,包含物质流、信息流和能量流的完整的系统工程。我国机械制造业的快速发展,主要依靠技术引进和赶超型发展战略,严重缺乏自主研发环节,这在很大程度上限制了中国机械制造业的发展,加之中国劳动力资源丰富而资金相对短缺,致使机械制造业的科技研发明显滞后。虽然中国机械制造业的产品数量已经位居世界前列,但主要依赖于劳动密集型产品,具有自主知识产权的高、精、尖产品比较少,在国际竞争中取得了相对的劣势。同时,我国械制造业产品的质量虽然有了很大程度的提高,但大量的机电产品的质量可靠性、外观设计、内在性能还存在一些问题。所以,就目前实际情况总体来说,中国的制造业大而不强,中国是制造大国而不是制造强国。 3. 机械产品的现代设计方法 智能化 智能化设计方法的主要特点是:根据设计方法学理论,借助于三维图形软件、智能化设计软件和虚拟现实技术,以及多媒体等工具进行产品的开发设计、表达产品的构思、描述产品的结构。 系统化 系统化设计方法的主要特点是:将设计看成由若干个设计要素组成的一个系统,每个设计要素既具有独立性又存在着有机的联系,并具有层次性,所有的设计要素结合后,即可实现设计系统所需完成的任务。 模块化 模块化设计方法的主要特点是:视具有某种功能的实现为一个结构模块,通过结构模块的组合,实现产品的方案设计。 基于产品特征知识 基于产品特征知识设计方法的主要特点是:用计算机能够识别的语言描述产品的特征及其设计领域专家的知识和经验,建立相应的知识库及推理机,再利用已存储的领域知识和建立的推理机实现产品的方案设计。 4. 机械制造中先进技术分析 随着科技的发展,产品的形状和结构的优化,对零件加工质量的要求也越来越高。数控加工技术就是在这种环境下发展起来的,适用于精度高,零件形状复杂的单件和中小批量生产的高效、柔性的自动化加工技术。目前,数控技术发展迅速,应用领域已从航空航天普及到汽车、机床等制造业及其他中小批量生产的机械制造行业中。 精密与超精密加工技术 随着航空航天、计算机、材料科学、激光和自动控制系统等高科技产业的迅猛发展,综合应用当今先进的加工技术,使机械加工精度已经提高到了μm的亚纳米级,并向纳米级发展。精密加工和超精密加工技术是现代制造技术的前沿和主要发展方向之一,它已经成为国际科技竞争中能否取得成功的关键技术,尤其是精密加工技术在尖端产品和现代武器制造中有举足轻重的地位。 超高速切削、磨削技术 超高速加工技术是指采用超硬刀具和磨具,利用能可靠实现高速运动的高精度、高自动化和高柔性的制造设备,以提高切削速度来达到提高材料去除率、加工精度和加工质量的先进加工技术。具有切削力小、热变形小、加工精度高和降低加工成本等优越性。 新一代制造装备技术 少无夹具制造技术 在常规制造系统中,产品生产所需大量夹具不仅耗费大量资金,更严重的是延长了产品的准备时间,形成制造过程中的“瓶颈”,这是造成柔性差、响应速度慢、生产成本高、企业竞争能力弱的主要因素之一。鉴于少无夹具制造技术所具有的重要学术意义和实用价值,国内外多个单位均在这一领域开展了研究工作。 虚拟轴机床 新型并联构型制造装备虚拟轴机床实质上是机器人与机床的混合物,其在结构上完全不同于传统的数控机床,具有模块化程度高,结构简单,速度、动态响应快,造价低等优点,克服了传统的机床设备一些无法避免的固有缺陷。 微细制造与纳米技术 随着人们对许多工业产品的功能集成化和外观小型化的需求,使零部件的尺寸日趋微小化。这些需求导致了自20世纪70年代起出现了微细加工和纳米制造技术,他们促使了微型机器向系统化方向发展,并形成了有广阔发展前景的微机电系统(MEMS)。 结束语 综上所述,随着科技水平的不断提升,我国机械制造业取得一定的成绩,但是我国的机械设计与制造技术还存在着一定的不足,这些都严重的影响到我国机械制造业的发展。在机械设计与制造中掌握时代发展的趋势,不断地对设计方法与制造技术进行完善,采用先进的机械制造技术,从而推动我国机械制造水平的提升。 参考文献: [1]张宝坤,王淑霞,王艳.机械设计制造及其自动化的发展方向[J].化工装备技术,2011. [2]陈静,机械设计技术的发展现状与趋势[J].中国石油和化工标准与质量,2011. [3]杨元红.浅谈机械设计制造及其自动化专业的前景[J].文艺生活・文海艺苑,2010看了"机械专业学术论文"的人还看: 1. 关于机械电子工程学术论文 2. 机电类学术论文格式范文 3. 机电传动控制学术论文 4. 机电学术论文 5. 有关电大机械毕业论文范文

1.撰写毕业论文是检验学生在校学习成果的重要措施,也是提高教学质量的重要环节。大学生在毕业前都必须完成毕业论文的撰写任务。申请学位必须提交相应的学位论文,经答辩通过后,方可取得学位。可以这么说,毕业论文是结束大学学习生活走向社会的一个中介和桥梁。毕业论文是大学生才华的第一次显露,是向祖国和人民所交的一份有份量的答卷,是投身社会主义现代化建设事业的报到书。一篇毕业论文虽然不能全面地反映出一个人的才华,也不一定能对社会直接带来巨大的效益,对专业产生开拓性的影响。实践证明,撰写毕业论文是提高教学质量的重要环节,是保证出好人才的重要措施。2.通过撰写毕业论文,提高写作水平是干部队伍“四化”建设的需要。党中央要求,为了适应现代化建设的需要,领导班子成员应当逐步实现“革命化、年轻化、知识化、专业化”。这个“四化”的要求,也包含了对干部写作能力和写作水平的要求。3.提高大学生的写作水平是社会主义物质文明和精神文明建设的需要。在新的历史时期,无论是提高全族的科学文化水平,掌握现代科技知识和科学管理方法,还是培养社会主义新人,都要求我们的干部具有较高的写作能力。在经济建设中,作为领导人员和机关的办事人员,要写指示、通知、总结、调查报告等应用文;要写说明书、广告、解说词等说明文;还要写科学论文、经济评论等议论文。在当今信息社会中,信息对于加快经济发展速度,取得良好的经济效益发挥着愈来愈大的作用。写作是以语言文字为信号,是传达信息的方式。信息的来源、信息的收集、信息的储存、整理、传播等等都离不开写作。

工程领域ecam期刊

在三年制工程师学院中排名靠前的学校为:综合理工学院、巴黎中央理工、巴黎矿业学院、路桥学院、高等电力学院、高等电信工程学院等。在五年制工程师学院中排名靠前的学校为:里昂国立应用科学学院、贡比涅技术大学、图卢兹

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软件工程领域论文

软件工程论文题目

软件工程是一门研究用工程化方法构建和维护有效的、实用的和高质量的软件的学科,我们看看下面的软件工程论文题目吧!

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67、基于树型结构模型足球成绩系统的研究与设计

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69、数据结构课程中栈和队列实验教学方案设计

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72、基于VSTO技术的Office计时器插件的设计与实现

73、基于分布式结构的医学影像归档和通信系统设计

74、一种基于移动手机的大学生体质测试软件设计

75、移动APP在数字器检中的应用及意义

76、电子护理文书质控管理平台建设

77、基于手机客户端APP的移动学习资源开发研究

78、刍议软件无形性对计算机科学和软件工程教育的影响

79、电气技术人员提高PLC编程能力的思考

80、基于移动化、云化的轨道交通工程建设管理信息化架构设计

81、基于iOS的个人健康管理系统客户端的开发

82、预防性维护管理与设备管理系统的集成性分析

83、试论软件工程保护中软件防篡改技术

84、基于TCSP的实时并发系统测试方法

85、MapWindowGIS插件机制及应用

86、基于Android的手机助手设计的研究

87、档案自动化管理系统

88、基于LabVIEW技术的宏观观测动物信息管理系统研究

89、特种设备作业人员动态管理系统设计

90、基于时间索引的0-N数据结构在序列模式挖掘算法中的应用

91、基于Linux的USB摄像头驱动程序的实现

92、基于Android系统的主变差动保护装置调试软件研究及应用

93、环境保障信息传输与控制中间件研制综述

94、三维模型与属性数据同步的批处理方法研究

95、权限管理在成绩管理系统中的设计与实现

96、基于移动物联的安全生产数据服务云平台的设计与实现

97、单链表辅助教学系统的设计与实现

98、软件开发质量管理研究

99、影楼后期物件管理系统设计

100、一种基于三角形非结构化网格SIMPLE算法的程序设计

101、城市突发公共事件应急管理平台研究

102、河北省气象灾害预警应急服务系统

103、智能气象站气象要素数据测试软件设计

104、一种杀毒软件升级流程的安全性分析方法

105、基于IMS的气象信息传输智能语音通知系统设计与实现

106、电子商务平台的设计

107、计算机程序设计课程中计算思维的培养

108、基于Agent的微信平台自适应负载均衡算法

109、高等学校移动信息化建设的研究

110、软件构造课程设计及其课程群

软件工程硕士的论文选题方向:. 专业硕士软件工程硕士方向的专业硕士论文选题,按照目前培养方案的要求,必须是与软件工程有关的内容。关于选题的官方说法,参见:==>【2011年校学术委员会签发的文件】。所谓与软件工程硕士有关的内容包括:1. 软件的开发这是最常见的选题方向,也是最正规、最容易得到认可的方向。一般来说,软件开发的题目,可以是一个系统,也可以是一个或者几个模块。不过,不论是系统还是模块,都要包括如下几个阶段:a) 需求分析b) 概要(总体)设计和详细设计c) 编码(是指重要的、关键的算法部分)d) 部署和测试2. 软件工程硕士的其它方向内容例如:a) 软件需求管理、变更b) 软件体系架构c) 软件测试 (软件测试方向的论文大纲参见博文《软件测试相关硕士论文大纲》)d) 软件过程改进e) 更多内容,参见《软件工程知识体系指南》3. 论文覆盖的内容及范围按照软件工程硕士学科的论文要求,软件工程方向的论文,需要至少覆盖软件工程的两个阶段,例如:需求+设计,设计+实现,需求+设计+实现,需求+设计+实现+测试,设计+实现+测试,......如果是测试领域的论文,则应该涉及到:测试设计+测试执行+结果分析如果是需求管理领域的论文,则应涉及到:需求获取、需求变更管理、需求分解、需求跟踪等方面. 工学硕士工学硕士选题一般均按照导师要求执行,与工程硕士依据自己实际工作或者实习内容选题有所不同。总体上,工学硕士选题与工程硕士类似,但论文的内容应当偏学术。工学硕士也可以选择研究性的课题。

可以发表软件工程类的论文,如自制一个带有某功能的某工程。针对软件开发这个专业,很容易想出来的论文类别就是软件工程,这种论文也非常好写,只需要开发一个软件并对其进行阐述即可。软件开发是根据用户要求建造出软件系统或者系统中的软件部分的过程。

通信工程领域的期刊

《移动通信》杂志社 <<移动通信》杂志——移动通信领域的权威技术刊物,由信息产业部主管,中电集团公司第七研究所主办。1977年创刊,是我国电子、电信学科的核心期刊。信息产业部优秀电子期刊。办刊使命:◆ 推介·新观点 --- 新技术先人一步 ◆ 扩展·新思域 --- 新思路先入为主 ◆ 绽放·新色彩 --- 新内容先读为快编辑特色:紧跟行业热点,推介前沿技术,分析行业市场趋势,打造精品栏目全国公开发行,月发行量:40,000册 发行比例明细:电信运营商 34% 设备制造商 26% 系统集成商 15% 通信产品经销商10% 研发机构 8% 通信管理机构3% 专网用户2% 其它2%

去网上下中国通信magazine 电子杂志 了解下现在的3G及其发展光通信就是光纤通信与SDH嘛 像武汉的烽火科技就是搞这个的传输分无线传输和有线传输 主要是交换、移动通信方面的通信工程以后出去要么进规划设计院(江苏、山东、四川邮电规划设计院等)要么进运营商 (移动、电信、联通)还有就是设备制造商(中兴、华为)

《通信技术》 月刊 信息安全与通信保密杂志社《通讯世界》月刊 通讯世界杂志社《移动通信》半月刊 移动通信编辑部《电信技术》月刊 电信技术编辑部刊号自己去 “国家新闻出版总署网址” 查询。

磁控技术应用领域研究论文

1985 年,Window 和Savvides首先引入了非平衡磁控溅射的概念。不久,多种不同形式的非平衡磁场设计相继出现,磁场有边缘强,也有中部强,导致溅射靶表面磁场的“非平衡”。磁控溅射靶的非平衡磁场不仅有通过改变内外磁体的大小和强度的永磁体获得,也有由两组电磁线圈产生,或采用电磁线圈与永磁体混合结构,还有在阴极和基体之间增加附加的螺线管,用来改变阴极和基体之间的磁场,并以它来控制沉积过程中离子和原子的比例。

非平衡磁控溅射系统有两种结构,一种是其芯部磁场强度比外环高,磁力线没有闭合,被引向真空室壁,基体表面的等离子体密度低,因此该方式很少被采用。另一种是外环磁场强度高于芯部磁场强度,磁力线没有完全形成闭合回路,部分外环的磁力线延伸到基体表面,使得部分二次电子能够沿着磁力线逃逸出靶材表面区域,同时再与中性粒子发生碰撞电离,等离子体不再被完全限制在靶材表面区域,而是能够到达基体表面,进一步增加镀膜区域的离子浓度,使衬底离子流密度提高,通常可达5 mA/cm2 以上。这样溅射源同时又是轰击基体表面的离子源,基体离子束流密度与靶材电流密度成正比,靶材电流密度提高,沉积速率提高,同时基体离子束流密度提高,对沉积膜层表面起到一定的轰击作用。

非平衡磁控溅射离子轰击在镀膜前可以起到清洗工件的氧化层和其他杂质,活化工件表面的作用,同时在工件表面上形成伪扩散层,有助于提高膜层与工件表面之间的结合力。在镀膜过程中,载能的带电粒子轰击作用可达到膜层的改性目的。比如,离子轰击倾向于从膜层上剥离结合较松散的和凸出部位的粒子,切断膜层结晶态或凝聚态的优势生长,从而生更致密,结合力更强,更均匀的膜层,并可以较低的温度下镀出性能优良的镀层。

非平衡磁控溅射技术的运用,使平衡磁控溅射遇到的沉积致密、成分复杂薄膜的问题得以解决,然而单独的非平衡磁控靶在复杂基体上较难沉积出均匀的薄膜,而且在电子飞向基体的过程中,随着磁场强度的减弱,一部分电子吸附到真空室壁上,导致电子和离子的浓度下降。对此研究人员开发出多靶非平衡磁控溅射系统,以弥补单靶非平衡磁控溅射的不足。多靶非平衡磁控溅射系统根据磁场的分布方式可以分为相邻磁极相反的闭合磁场非平衡磁控溅射和相邻磁极相同的镜像磁场非平衡磁控溅射,如图2 所示(a)为双靶闭合磁场,(b)为双靶镜像磁场。

图2 (a)闭合磁场磁控溅射(b)镜像磁场磁控溅射

比较闭合磁场非平衡靶对和镜像靶对的磁场分布情况,可以看出在靶材表面附近磁场差别不大,内外磁极之间横向磁场对电子的约束形成一个电离度很高的等离子体阴极区,在此区域内的正离子对靶面的强烈溅射刻蚀,溅射出大量靶材粒子飞向基体表面。在内部和外环磁极的位置,特别是较强的外环磁极处,以纵向磁场为主,成为二次电子逃离靶面的主要通道,进而成为向镀膜区域输送带电粒子的主要通道。再比较闭合磁场和镜像磁场在镀膜区域内磁场分布,差别就大了,对于镜像靶对,由于两个靶磁场的相互排斥,纵向磁场都被迫向镀膜区外(真空室壁)弯曲,电子被引导到真空室壁上流失,总体上降低了电子进而离子的数量。由于镜像磁场方式不能有效地束缚电子,因而等离子体的溅射效率未有得到提高。而闭合磁场非平衡靶对在镀膜区域的纵向磁场是闭合的。只要磁场强度足够,电子就只能在镀膜区域和两个靶之间运动,避免了电子的损失,从而增加了镀膜区域的离子浓度,大幅度提高了溅射效率。

Teer比较了平衡磁控溅射靶,镜像非平衡磁控靶和闭合非平衡磁控靶三种模式工件上偏压电流的伏安特性,结果表明了闭合非平衡磁控靶和镜像非平衡磁控靶的工件偏压电流依次比平衡磁控溅射靶工件偏压电流提高了近2 和6倍。Sproul比较了镜像结构与闭合结构系统在中位线位置的磁场强度和基体自偏压电流,镜像结构在中位线位置的磁场强度几乎都为零,基体自偏压电流最高为 A,而闭合结构中位线位置的磁感应强度可高达20×10-4T,对应基体自偏压电流 A。多靶闭合磁场非平衡磁控溅射系统可以获得高的沉积速率和较高质量的薄膜,因此实际应用中较多采用的是闭合磁场非平衡磁控溅射系统。

百度上的磁控靶图片

出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,最终沉积在基片上。磁控溅射就是以磁场束缚和延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量。电子的归宿不仅仅是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿。但一般基片与真空室及阳极在同一电势。磁场与电场的交互作用(exbdrift)使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是仅仅在靶面圆周运动。至于靶面圆周型的溅射轮廓,那是靶源磁场磁力线呈圆周形状形状。磁力线分布方向不同会对成膜有很大关系。在exbshift机理下工作的不光磁控溅射,多弧镀靶源,离子源,等离子源等都在次原理下工作。所不同的是电场方向,电压电流大小而已。磁控溅射的基本原理是利用ar一02混合气体中的等离子体在电场和交变磁场的作用下,被加速的高能粒子轰击靶材表面,能量交换后,靶材表面的原子脱离原晶格而逸出,转移到基体表面而成膜。磁控溅射的特点是成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面积镀膜。该技术可以分为直流磁控溅射法和射频磁控溅射法。

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磁控溅射技术的应用有,主要用于在经予处理的塑料、陶瓷等制品表面蒸镀金属薄膜(镀铝、铬、锡、不锈钢等金属)、七彩膜仿金膜等,从而获得光亮、美观、价廉的塑料,陶瓷表面金属化制品。广泛应用于工艺美术、装璜装饰、灯具、家具、玩具、酒瓶盖、女式鞋后跟等领域,JTPZ多功能镀膜技术及设备(加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机),针对汽车、摩托车灯具而设计的,在一个真空室内完成蒸发镀铝和射频等离子体镀保护膜,这种镀膜后灯具具有“三防”功能。射频等离子体聚合膜还应用于光学产品、磁记录介质、军事国防保护膜;防潮增透膜;防锈抗腐蚀;耐磨增硬膜。   用户选择在灯具基体上喷底漆、镀铝膜、镀保护膜或灯具基体在真空室进行前处理(不喷底漆)、镀铝膜、镀保护膜工艺。在ABS,PC,PBT,PE,PP,PA66等塑料基体上直接镀膜,不需喷底漆,也不需喷面漆(不需要投资喷涂设备),在镀完铝膜后直接镀一层保护膜。滴1%NaOH溶液10分钟铝层不腐蚀,去离子水中浸饱96小时铝层不脱落。磁控溅射镀膜设备及技术介绍a旋转磁控溅射镀膜机;旋转磁控溅射镀膜技术,是国内外最先进的磁控溅射镀膜技术,靶材利用率达到70~80%以上,基体镀膜均匀,色泽一致。 b平面磁控溅射镀膜机; c中频磁控溅射镀膜机;  d射频磁控溅射镀膜机。可以在金属或非金属(塑料、玻璃、陶瓷)的工件镀金属铝、铜、钛金、锆、银、不锈钢、镍、钼、硅、钛铝及金属反应物(氧化物、氮化物、炭化物)、半导体金属及反应物。所镀膜层均匀、致密、附着力好等特点。多弧离子镀膜设备及技术该技术在各种金属和非金属表面上,如不锈钢、铝合金、铜、铁以及陶瓷、玻璃等涂镀各种金属、非金属及其化合物的膜层和复合膜层,如Ti、Zr、TiN、TiC、TiO2、ZrN、ZrC|、ZrO等,产生耐磨、耐蚀、耐用的各种颜色装饰效果:如金色系列、彩色系列、黑色系列等等可广泛用于建筑、家具、机械工模具等行业。等离子扩渗镀膜设备及技术离子渗氮:可以在辉光放电条件下,将N、C等元素渗入到零件和模具内部、明显提高表面硬度、抗疲劳等性能和耐腐蚀性,相对于总体渗氮处理时间短、湿度低、变形小、表面性能可控,可用于各种钢铁及钛合金结构件,各种模具和各种不锈钢制品。等离子体化学气相沉积设备与技术(离子渗氮,氮碳共渗)等离子体化学气相沉积(PCVD)是一种新型的脉冲直流等离子体辅助沉积硬质镀膜新技术。在一定压力、温度的真空炉内,加入适当比例的不同工作气体,在脉冲电压的作用下,通过辉光放电产生均匀等离子体。在不同工艺条件下,可在被处理工件表面形成各种硬质膜如TiN、TiC、TiCN、(Ti、Si)N、(Ti、Si)CN及多层复合膜等,显微硬度高达HV2000--2500。与CVD和PVD相比,PCVD技术可实现离子渗氮、渗碳和镀膜在同一炉内依次进行,高效率地实现渗透复合工艺。该设备适用于要求提高表面耐磨损、耐腐蚀、抗高温氧化、抗疲劳的零部件和工模具。被处理材料主要包括:高速钢、冷热钢、冷热模具钢、结构钢、不锈钢、钛合金、硬质合金等

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