半导体制程有机废气处理技术探讨相关文档半导体制程废气处理技术实践TechnologyColumn技术专栏半导体制程废气处理技术实践...和有机排气这四种工艺废气处理设备的应用和处理...发表相关论文多篇,目前主要从事关键电子元器件的...半导体制程废气处理技术实践
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制程尾气(如SiH…)经机台后方的Drypump抽气并以N2purge后进入LocalScrubber，经LocalScrubber处理过的尾气再排到厂务风管。位于Scrubber前、后端的FTIRs分别利用ㄧ台抽气马达将制程尾气引进FTIR的气体腔(Gascell)，经红外光照射后，尾气再排至同类制程之Scrubber。
不锈钢是工业领域普遍使用的耐腐蚀金属材料。在工业实践中,某些工况下不锈钢也会发生腐蚀和开裂。以某半导体多晶硅还原尾气环管内管开裂事故管道为例,进行了尾气环管内管的化学成分分析、硬度分析、金相组织分析、电镜扫描分析以及能谱分析。
目前处理尾气的方法有很多种，主要有高温炉再一次热分解，随后用硅油或高锰酸钾溶液处理；也可以把尾气直接通入装有H2SO4+H202及装有NaOH的吸滤瓶处理；也有的把尾气通入固体吸附剂中吸附处理，以及用水淋洗尾气等等。总之要将尾气处理到符合环保
上海交通大学硕士学位论文集成电路行业废水处理新工艺及中水回用的研究与实践姓名：张国栋申请学位级别：硕士专业：化学工程指导教师：陈虹锦;高汉东20070101上海交通大学工程硕士学位论文摘要国内半导体行业近几年来的发展令人注目，特别是大型芯片制造企业在上海等沿海地区...
论文服务：摘要：针对半导体材料、器件生产工艺中的废气和废水的治理,介绍了三种不同的方法和相关设备.①利用碘盐、铜盐和锰盐以及多级逆向喷淋的设备对实验室MOVPE工艺尾气及砷化镓材料中砷烷、磷烷污染的治理.②生产规模的半导体材料砷化镓,磷化姻,重掺砷硅单晶材料及器件的工艺中...
硕士论文致谢—《废弃印刷电路板热拆解过程尾气成分分析及处理方法研究》致谢第1-8页摘要第8-9页ABSTRACT第9-12页插图清单第12-14页表格清单第14-15页第一章绪论
论文一般应有摘要，有些为了国际交流，还有外文（多用英文）摘要。它是论文内容不加注释和评论的简短陈述。其他用是不阅读论文全文即能获得必要的信息。摘要应包含以下内容：①从事这一研究的目的和重要性；②研…
专业:半导体电子器件[求助]ICP刻蚀氮化镓，氯基气体的尾气处理怎么做已有1人参与要做Cl2和BCl3刻蚀氮化镓材料的实验，想搭一个尾气处理装置，气体流量很小。
文献期刊学者订阅收藏论文查重开题分析单篇购买文献互助用户中心半导体生产中废气的污染及治理喜欢0阅读量:186作者:秦学礼摘要:当今社会已进入以半导体技...
本发明提供了一种半导体生产设备尾气处理系统和方法,涉及半导体生产技术领域,所述系统包括:半导体生产设备,包括至少两个腔室,各个腔室排出的废气分别通过管道连接到尾气处理...
暂无简介文档格式:.doc文档页数:20页文档大小:160.38K文档热度:文档分类:论文--毕业论文文档标签:尾气毕业技术研究处理汽车尾气处理技术...
(54)发明名称半导体生产设备尾气处理系统(57)摘要本实用新型提供了一种半导体生产设备尾气处理系统,涉及半导体生产技术领域,所述系统包括:半导体生产设备,包括至少两个...
发明名称半导体生产设备尾气处理系统和方法(57)摘要本发明提供了一种半导体生产设备尾气处理系统和方法,涉及半导体生产技术领域,所述系统包括:半导体生产设备,包括至少...
安徽理工大学小论文硕士研究生课程论文(或读书报告)课程名称:高等化学反应工程题目:汽车尾气催化剂处理题目类型(课程论文或读书报告):课程论文学院:...
SO2废气与Cr(Ⅵ)废水的综合治理星级:9页半导体工业废水、废气中砷、磷、硫、氟、氯及氮氧化物和重金属的综合治理星级:4页六氟磷酸锂的生产工艺及含氟废气废水的治理(毕业论...
小型尾气处理设备（LocalScrubber）根据处理废气方式，大致分四类：水洗式、氧化式、吸附式和等离子燃烧式，今天给大家介绍的是吸附式尾气处理设备，和该设备中设计、结构和功能上...
密级:学号:自考本科生毕业(设计)论文汽车尾气处理技术研究学士学位论文原创性申明本人郑重申明:所呈交的设计(设计)是本人在指导老师的指导下进行研究,所...
多晶硅具有半导体性质,是极为重要的优良半导体材料,但微量的杂质即可大大影响其导多晶硅需求主要来自亍半导体和太阳...参考文献月,青海人,现供职亍亚洲硅业(...