量化研究的论文的分析文献综述

撰写文献综述步骤：

1、搜索相关文献

2、评价来源

3、识别主题、辩论和差距

4、概述结构

5、写文献综述

文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文， 它是科学文献的一种。 格式与写法 文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，特别是阳性结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。 前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。 主题部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。 总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。 参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。

国内外关于教育教学的文献概括,主要是涉及你所写的方面的文献,他们的主要观点,发表时间,文章题目,(比如,<<文章题目>>（张三，2003）提出了那些观点，做了什么分析），进而引出你所做的研究与他们有什么不同,对他们的观点有哪些改进.,比如,可能他们并没有进行量化研究(举个例子而已),这样既显得你为了写这篇文章阅读了大量资料,做到了知己知彼,又体现了你文章的过人之处.最好参照你要投稿的杂志的格式，符合他们的要求。

文献综述范文

文献是指有历史意义或研究价值的图书、期刊、典章。下面是我整理的文献综述范文，希望大家喜欢！

一、序言

伴随我国成功加入世界贸易组织，市场更加开放，竞争日益激烈。相关领域(产业)不同程度、有条件、分步骤地放宽市场准入，大批外资企业涌入我国市场，参与市场竞争。

竞争力是市场竞争的产物。我国走市场竞争的道路不过20来年，企业竞争力的研究远远落后于西方发达国家，但是伴随市场竞争程度的不断深入，有关企业竞争力方面的研究愈发重要。企业竞争力研究对企业良性成长壮大至关重要，也是培育与提升企业综合实力的重要途径之一。

迄今为止，国内外众多学者和相关组织对企业竞争力的研究颇多，从不同的角度和假设前提出发，在研究对象、评价方法等方面重塑竞争力内涵，构建竞争力评价指标及体系，分析企业的优劣势，提升企业竞争优势。

本文浏览、搜集有限的文献资料，通过综合、归纳、分析，去伪存真、去粗取精，以求达到引导论文写作的目的。

二、关于竞争力的不同定义

从目前看，企业竞争力的概念(定义)各式各样，众说纷纭。研究方法、内容及侧重点也不尽相同。

刘晓斌在《零售企业竞争力定量评价分析》一文里通过综合能力论、生命论、功能论、状态论、机制论、素质论这不同研究角度和假设前提下的六方面得出零售企业竞争力的初步概念可以简单明了地归纳为：零售企业竞争力是零售企业在竞争过程中表现出来的综合能力。包括在服务、品牌和市场营销体现出来的外显竞争力，在经营能力、信息技术体现出来的内在竞争力，以及在企业文化、企业制度等方面体现出来的核心竞争力。

贾玉花在《企业竞争力评价研究》一文中通过美国《产业竞争力总统委员会报告》，世界经济论坛(WEF)1985、1994年《关于竞争力的报告》和日欧学者的比较研究等对企业竞争力归纳为：企业竞争力是指企业在竞争的市场环境中，通过配置或创造企业资源，在企业持续生存和发展方面所形成的比较能力。

这一概念体现了以下特征：

①企业竞争力最终体现在持续生存和发展能力上，即体现在企业的目标上。

②企业竞争力是个多层次含义的综合性范畴，不仅涉及到了企业内部要素结构和经营管理过程，而且涉及到企业的外部环境;不仅关系到了企业自身的市场占有率和盈利能力，还关系到国家福利的多寡;不仅仅是静态的比较能力，更是动态的进化的发展能力。

③企业竞争力是在生产经营过程中形成的，即它是动态的产物，不是静态的结果。企业只有通过各种资源的配置，在战略规划，产品设计，市场营销，采购，生产，销售及管理过程中逐渐形成企业的竞争力。

④企业竞争力是一种比较能力。这种比较能力是以厂商的竞争为前提的。它存在三种类型：强势竞争力，均衡竞争力和弱势竞争力，是被评价企业与竞争对手之间竞争力的对比关系。

⑤企业竞争力是一个系统性概念。它是由市场指标来表征，由企业内部素质(信息、知识、创新能力、人力资本、企业文化等)来决定的。竞争力的强弱用单一指标是无法衡量的，需设计一套综合性指标体系，对其进行科学评价。

同时该文还比较得出：“企业竞争力”是从经济学角度进行研究的，特指企业在竞争的市场环境中，通过配置或创造企业资源，在企业持续生存和发展方面所形成的比较能力;“企业核心能力”更多地是从管理学的角度进行研究的，强调企业组织内部的学习、协调、凝聚功能。

从字面上来看，“企业竞争力”应当是较“企业核心能力”或“企业核心竞争力”含义更宽的概念，因为它不仅包括内部能力，还包括企业外部的'产品性能、价格或成本等方面的比较及由此形成的市场份额的重新划定能力。基于以上理由，可以用“企业竞争力”的概念统一“企业核心能力”和“企业核心竞争力”的概念，或者把“企业核心能力”作为“企业竞争力”的一个组成部分，意在消除概念之争和促进理论研究的深化。

刘忠敏《企业竞争力评价及其应用研究》一文中对比狄昂照、吴明录、波特、钱德勒、普拉哈拉德等国内外学者和相关组织的研究成果认为，企业具备强势竞争力或竞争优势的根源在于企业的核心能力，同时认为企业竞争力是竞争力的形态之一，是指企业在竞争的市场环境中，通过配置或创造企业资源，能够持续地、有效地向市场提供产品或服务的能力，主要体现占有市场、创造价值、持续发展等方面与其他企业在市场竞争中的比较能力。

这一定义包括以下几层涵义：

①企业竞争力是以企业之间的竞争为前提的。

②企业竞争力概念本身并不能表明竞争力的强弱，因为竞争力是一种比较中的能力。

③企业竞争力主要体现在占有市场的能力、创造价值和利润的能力，以及创新发展的能力。

④企业竞争力是在生产经营过程中形成的。

⑤企业竞争力受外界环境的影响。

张晓文等在《企业竞争力的定量评价方法》中认为：企业竞争力是指在市场经济条件下，企业作为竞争主体，在生产经营过程中，通过能力资源、制度与机制及与外部环境的交互作用，使其内外资源有效整合与优化配置，呈现比竞争对手更具优势的良性循环态势，以实现可持续发展的能力。

张东风、杜纲的《现代零售企业竞争力评价研究》中认为：现代零售企业竞争力是指零售企业在不断整合供应链资源，提高效率，使服务水平不断提升的同时达到市场份额的扩展和成本被有效降低的能力。其主要体现在零售企业的内部经营管理、顾客服务、关系营销、供应链管理、零售物流等方面。

三、关于企业竞争力的评价方法及其体系构建

刘晓斌在《零售企业竞争力定量评价分析》一文中运用层次分析法，把零售企业竞争力的评价因素和分析因素分成三部分，也即：

①基本要素(由外显竞争力、内在竞争力和制度竞争力组成)，

②评价要素，即在基本要素的基础上，依据零售企业的特点，选取表示三个层次企业竞争力的要素，

③指标层，把各种评价要素的状态进一步细化，用评价指标来表现。

由此建立的企业竞争力评价指标体系由10个评价要素，31项评价指标构成。最后从整体、全局出发，对竞争力进行综合评价。其中，对竞争力指标体系中的定性与定量采用不同的赋值方法，建立模型，归属数据权重，比较分析所研究零售企业的竞争力状况。

张晓文等的《企业竞争力的定量评价方法》从系统理论的观点出发，构建了企业竞争力的函数关系式以及企业竞争力综合评价指标体系和数学模型。从能力资源、能力制度与机制和能力状态三大方面外加环境因素构建竞争力体系。通过层次分析法结合定量与定性分析建立企业竞争力评价指标体系11个评价要素，21项评价指标。

邵一明、钱敏《零售企业竞争力指标与评价模型》一文中以市场占有能力、营运能力、获利能力、信息技术水平、人力资本这五大方面内容来设计竞争力评价体系，运用层次分析法确定以上及细分评价指标的权重，建立递阶层次结构，根据零售企业竞争力系统中各因素之间的关系，建立系统的递阶层次结构图。通过比较判别法确定及计算各项评价指标的相对权重。并且运用综合模糊评价的思想将各指标转换成相应的分值，然后加权平均，得出总分，以此确定零售企业竞争力高低。从而转换成具体的公式，进而建立模型，结合数据，最终计算得到零售企业竞争力的综合得分。即得出零售企业核心竞争力的强弱，为零售企业改善经营，抵制外资零售企业的强烈冲击，确立竞争的优势，缩短世界先进水平的差距提供了强有力的依据。

黄河在《企业竞争力的评价及提升研究》一文中建立了以财务报表数据为主要依据的评价指标体系，对企业的显在争竞力进行评价，同时力图反映企业未来竞争能力的真实状况。该评价指标体系分12大类，包括企业规模、营运能力、经营安全能力、盈利能力、市场控制力、技术创新能力、组织管理能力、人力资本、企业文化、资本运营能力、跨国经营能力、环境协调能力。各大类下又有若干小指标，共58项。

黄河在设计的企业竞争力评价指标体系在指标设置、评价准则，尤其是度量方法上遵循指数化原则。根据资产类和过程类的分类处理原则将58项指标分为六类，且按上述六类指标将各企业的每类指标内所含的具体指标的数值进行加总并求出平均值，从而便利相互间比较。再通过将每类指标各个被评企业的平均值加总然后再求出行业的平均值，以行业平均值作为标准参数同各企业的数值进行比较。最后分别用各个标准参数与各企业相对应的综合指标平均值相除，得出各企业六类指标相应的竞争力指数。评价体系建立及方法的运用关键在于权数的合理分配及方程的准确建立。

李飞、刘明葳的《中外大型零售企业竞争能力比较研究》将零售企业竞争力的内容分为作为竞争资源的核心层、作为核心能力的中间层以及作为竞争优势的表现层，而文中着重强调中间层竞争能力的比较，也是该文的一大核心支出，文中提及的中间层比较包括业态创新能力、店铺扩张能力、营销管理能力、成本控制能力、财务运作能力。

祝波、吕文俊的《商业零售企业竞争力评价体系及模糊综合判断》把对商业零售企业的评价指标重点放在财务指标的数据上，通过企业的财务数据,计算企业的财务状况,从表面反映企业的竞争力状况。

祝波、吕文俊从企业的基本资源状况、经营能力、学习能力、创新能力和文化亲和力等主因素方面入手，衍生出包含人力资源状况、经营管理能力、营销服务能力、市场创新、管理创新等多项评价的零售企业竞争力的子因素，从而构建了零售企业竞争力的综合评价体系，最后运用AHP方法，确定各层级评价指标的权重，对零售企业竞争力进行模糊判断，建立零售企业竞争力模糊综合判断模型，并运用层次分析法求解模型。

王桂根在《我国零售企业竞争力研究》一文中认为国内外的竞争力研究文献中，对零售企业竞争力测评的研究主要集中在对企业总体层面上，大多偏重于定性分析,没有做出定量分析，缺乏直观性和实际应用意义，也很难为企业提升竞争力提供依据。

因而作者采用量化的财务指标体系(选取了4个财务指标体系，即盈利能力、营运能力、偿债能力和增长能力)，运用因子分析法对企业竞争力进行实证分析研究。

张东风、杜纲的《现代零售企业竞争力评价研究》中独辟溪径地吸收“供应链”理论和“平衡计分卡”原理来设计现代零售企业的竞争力评价体系，作者认为完整的零售企业竞争力评价体系由2部分构成，即服务绩效(顾客服务绩效+供应链服务绩效)和内部绩效，同时从从财务、客户、流程、学习、成长4个角度形成了同样是4个角度的现代零售企业竞争力评价的“四流评价体系，依据四流评价体系,构建了现代零售企业竞争力评价指标体系。

对定性和定量评价指标分别采用多指标的综合评价(数据标准化)和语义差别隶属度赋值方法进行竞争力评价。

四、内外资企业的选取及相关竞争力指标比较

刘晓斌在《零售企业竞争力定量评价分析》认为，销售额排名第一的零售巨头沃尔玛，它的发展运营策略、顾客策略、人力资源策略创造其骄人的业绩。天天平价，始终如一、自有品牌全新感受、物流配送世界第一、营销互补共生共容等是沃尔玛成功的关键。沃尔玛的竞争优势在于后勤物流配送(存货补充)能力和吸引客户忠诚的经营能力，由沃尔玛的例子得出竞争力具有时间性，难于评价，受影响的因素很多。进一步讲，对竞争力指标体系设计，要理论与实践相结合。

李飞、刘明葳的《中外大型零售企业竞争能力比较研究》选取了10家进入中国的世界零售50强公司和10家中国本土最具竞争力的零售公司，着重在中间层的竞争力的五方面(创新能力、店铺扩张能力、营销管理能力、成本控制能力、财务运作能力)进行差别比较研究。最终得出中外零售企业的均值和最优值。

刘星原的《零售企业核心竞争力研究_兼析中外零售企业的竞争力》从中外零售企业出发，对这两大团体在拥有良好的商业门店地理位置、拥有经营管理人才以及员工学习与培训体系、掌握能满足顾客需求的、具有异质性特点、其他企业难以模仿的经营内容或经营模式、具备对企业运行环节全过程的管理、成本控制、销售能力、资金筹集能力与利润率水平、企业的利润率、销售额、资本积累与资金筹集能力这些方面进行了定性的陈述。

王桂根在《我国零售企业竞争力研究》选取30个零售业上市公司作为评价对象，结合统计因子分析法的原理和挑选出的30个零售业上市公司2005年的数据资料，进行零售企业竞争力评价分析。选取分析变量，计算相关系数矩阵以及各特征向量，确定主成分，然后分析出各个因子及其贡献率后，构造出F函数。计算各个样本在每个因子上的得分并得出其F值，以F值为标准进行判别。

五、企业竞争力研究的普遍意义

刘忠敏的《企业竞争力评价及其应用研究》认为对企业竞争力进行评价，具有以下几方面的意义：

①进行企业竞争力的定量评价，可以从定量角度科学、准确地描述和把握企业竞争力的状况及其变化趋势。

②企业可以根据综合评价的结果，进行竞争力的综合排序(特别是行业内部排序)及分布状况研究，从而激励企业发挥优势，弥补不足，全面提高竞争力。

③开展企业竞争力综合评价，便于企业对影响竞争能力的内部因素进行分析，为企业提供自我诊断的有效方法。

④企业竞争力综合评价方法研究可以为形成长期评价制度奠定基础。

⑤企业竞争力评价有助于优化社会资源配置，提高一国的综合国力，并为政府政策及宏观决策提供依据。

六、小结

近年来，中外学者对企业竞争力的研究方兴未艾，企业竞争力也愈发受到有关人士特别是企业管理者的注意。虽然研究成果较多，成果也较丰富，但是作为核心力本身是一个矛盾的集合体。一方面，不同的学者可以从不同的角度、不同的方法来研究、诠释有关竞争力的不同方面;另一方面，关于企业核心竞争力的指标体系的构建及评价向来纷繁复杂，也由于竞争力评价的定性与定量比例不当(后者较难，前者较空洞)，此外，对于内外资企业的数据对比分析实例由于种种原因往往涉及较少。正因为如此，也为论文的写作选取了不错的突破口。

相信通过本文的概述能够为论文写作指路。

1、前言

我通过登陆中国期刊网全文数据库和查找有关文献，共搜集有关社会体育指导员的文献资料二十几篇，其中大部分都集中在04、05年。现将有关的资料归纳如下：

2、社会体育指导员的培养

2.1不同类型社会体育指导的培养

刘平江、赵立《浅谈社会体育专业人才的培养》(2002年)一文中提出：“要培养一专多能的社会体育专业的学生。”在邓星华《论我国社会体育指导员的培养》(2001年)一文中提出：“我国社会体育的特点和锻炼群众的需要，可以将社会指导员分为健身健美类、医疗保健类、竞技运动类、休息娱乐类等四类。”从上述文献资料可以看出，培养各个层次类别的体育指导员，可以全方位地为社会体育指导服务。

2.2加大高校培养社会体育指导员的力度

廖军在《充分发挥高校优势培养社会体育指导员》(2003年)一文中表明：“高校体育专业担负着为国家培养高层次体育专业人才的任务，根据社会对个类体育人员的客观要求，其培养目标应主要是适应面广一专多能的复合型人才。”因此高校应该把培养和培训社会体育指导员列入其职责范围。

3、社会体育指导员的管理

3.1管理社会体育指导员应更加细化

倪同云、白云、陈琳等在《完善我国社会体育指导员的管理体制的研究》(2002年)一文中明确指出：“对我国社会体育指导员进行具有国情特色的较细分类，如在大类上可分为管理型、经济型、技术型等，再在每个大类上分细，如技术型可分为：青少年指导员、老年指导员、妇女指导员等。”

3.2建立健全的我国社会体育组织管理体制

早在1987年，日本由文部省公布了《关于社会体育指导员知识，技能审核事业来认定规程》。在《邓星华我国社会体育指导员的培养》(2001年)一文中指出：“完善社会体育指导员管理法规，从社会体育指导员的申报、培训、考核、授予称号、上岗经营、年审注册、晋级权利和义务以及法律责任等方面都做出了明确规定。”从上可以看出，建立完善的社会体育组织管理体制的重要性。

4、我国社会体育指导员的现状

4.1社会体育指导员总体数量情况及分布

如付明、李飞杰在《武汉社会体育指导员现状调查与研究》(2005年)一文中归纳出：“武汉三镇社会体育指导员队伍表现出第一总体数量偏少，第二等级结构失调，国家级一级所占比例太少，而三级比例过大。”何敏学、都晓鹃在我《国社会体育指导员的特点研究》(2005年)一文中指出：“我国人均社会体育指导员约为1：3994，京津沪辽江浙等市处于领先地位。”

4.2社会体育指导员的性别构成

李小燕在《宜昌市城区社会体育指导员现状调查与分析》(2002年)一文中指出：“女性社会体育指导员大多为职业女性和离退休人员，这一分布是与女性工作生活生理结构以及对体育的价值观念相应的。”在武笑玲、马美荣等《城市社会体育指导员队伍现状调查及对策研究》(2004年)一文中指出：“目前洛阳市城区社会体育指导员性别结构与国家1998年的统计基本吻合，性别结构基本合理，男性高于女性，调查还发现女性社会体育指导员多为职业女性如文艺工作和离退休人员。”

4.3社会体育指导员的年龄结构

孙培初年《龄结构偏大文化层次偏低---社会体育指导员队伍现象调查》(2005年)一文中明确指出：“以上海为例：70%以上的社会体育指导员由街道社区聘请专业教师授课培训各区省自己发证，除少量街道社区文教干部外，绝大部分是离退休人员和下岗职工，其中年龄最大的78，岁最小的34岁，平均57岁。”

4.4社会体育指导员的文化素质状况

庄永达在《我国社会体育指导员的问题研究》(2004年)一文中提到：“我国已经拥有各级社会体育指导员约20万人，这样的发展速度和规律应该来说是来之不易的，说明我国的各级体育部门对社会体育指导员的发展给予了高度的重视，但我们也应该清楚地认识到如此高速度大规律地发展背后的质量保证问题。”

4.5社会体育指导员的职业分布状况

付明李、飞杰在《武汉市社会体育指导员现状调查和研究》(2005年)一文中表明：“武汉市社会体育指导员的职业分布中专业社会体育指导员占5.9%，兼职的人员最多达到62.2%，其次是离退休人员占26%，体育教师所占的比例最少为0.5%，其他的为3.4%。我们可以看出体育教师所占的比例过少，说明体育教师的积极性还没充分的调动起来。专职的社会体育指导员所占的比例不大，说明社会体育指导员在先阶段还不能作为一种主要的谋生手段。”

5、总结

通过以上的文献资料可以了解到，我国社会体育指导员的培养管理等方面的理论以及它的一些现状。荆州地处我国中南部，社会环境经济实力体育发展水平和体育人口与东部沿海发达地区相比还处于落后状态。社会体育指导员队伍建设虽然要顺应我国这个大环境，但也必须体现指导员鲜明的地方特色，因时、因地制宜建立适合本地区的社会体育指导员队伍。

本科毕业设计（论文）文献综述院 （系）：专 业：班 级：学生姓名： 学 号:年 月 日本科生毕业设计（论文）文献综述评价表毕业设计（论文）题目综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）评阅教师姓名 职称评 价 项 目 优 良 合格 不合格综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果03 文字通顺、精练、可读性和实用性强04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献成绩综合评语：评阅教师（签字）：年 月 日文献综述： 小四号宋空一行标题 二号黑居中空一行1 XXX 三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1 XXXX 小三号黑XXX 小四号宋，行距20磅1.1.1 XXX 四号黑XXX 小四号宋，行距20磅空一行2 XXXX 三号黑(空1行)参 考 文 献(空1行)[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：][1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．下面的是我的文献综述文献综述:FTO透明导电薄膜的溅射法制备1 前言为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。2透明导电玻璃的种类及制备方法简介2.1透明导电玻璃的种类2.1 .1 TCO导电玻璃TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件.主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。2.1.2 ITO透明导电玻璃ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。2.1.3FTO透明导电玻璃FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。2.2FTO透明导电玻璃制备方法FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。2.2.1磁控溅射法镀膜：溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。2.2.2真空蒸发镀膜：真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。2.2.3溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。2.2.4化学气相沉积法：化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。2.2.5喷雾热分解法：喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势3.1FTO透明导电玻璃的研究现状自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到6.2Ω/口，可见光透光率为86.95％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到3.91 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。射频溅射：射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为99.99％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是1.78％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为0.5—1.5 Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长，0.154178 nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。3.2FTO透明导电玻璃的应用FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。3.2.1在薄膜太阳电池上的应用太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。3.2.2在显示器上的应用显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。3.2.3在气敏元件上的应用气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］3.2.4在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。3.3 FTO透明导电玻璃的发展趋势随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：(1)导电性能好，电阻率较低；(2)可见光内透光率较高：(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；(6)表面形状良好，没有针孔；(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。4 制备条件对膜结构及光电性能的影响长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了4.1——4.3的结论。4.1制备条件对膜厚的影响文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。4.2制备条件对膜结构的影响晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。4.3制备条件对膜光电性质的影响在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。4.4 退火对薄膜的影响退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］5 退火后处理对膜结构与成分的影响光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］6 FTO导电玻璃制备相关参数根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为2.54%［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：1.5h，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。7 参考文献1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K 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广西师范大学学报（自然科学版）

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