清华大学自然科学论文

【新智元导读】 2月25日，清华大学工程物理系唐传祥研究组与合作团队在《自然》上发表研究论文《稳态微聚束原理的实验演示》，报告了一种新型粒子加速器光源「稳态微聚束」的首个原理验证实验。与之相关的极紫外光源有望解决自主研发光刻机中最核心的「卡脖子」难题。

最现代的研究用光源是基于粒子加速器的。

这些都是大型设施，电子在其中被加速到几乎是光速，然后发射出具有特殊性质的光脉冲。

在基于存储环的同步辐射源中，电子束在环中旅行数十亿转，然后在偏转磁体中产生快速连续的非常明亮的光脉冲。

相比之下，自由电子激光器(FEL)中的电子束被线性加速，然后发出单次超亮的类似激光的闪光。

近年来，储能环源以及FEL源促进了许多领域的进步，从对生物和医学问题的深入了解到材料研究、技术开发和量子物理学。

现在，一个中德团队证明，在同步辐射源中可以产生一种脉冲模式，结合了两种系统的优点。

2月25日，清华大学工程物理系教授唐传祥研究组与来自亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心（HZB）以及德国联邦物理技术研究院（PTB）的合作团队在Nature上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》（ Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching ）的论文。

报告了一种新型粒子加速器光源「稳态微聚束」（Steady-state microbunching，SSMB）的首个原理验证实验。

该研究与极紫外（EUV）光刻机光源密切相关，有望为EUV光刻机提供新技术路线。

SSMB光源首个原理验证实验，中德团队登上Nature

同步辐射源提供短而强烈的微束电子，产生的辐射脉冲具有类似于激光的特性（与FEL一样），但也可以按顺序紧密跟随对方（与同步辐射光源一样）。

大约十年前，斯坦福大学教授、清华大学杰出访问教授、著名加速器理论家赵午和他的博士生Daniel Ratner以提出了「稳态微束」（SSMB）。

赵午教授

该机制还应该使存储环不仅能以高重复率产生光脉冲，而且能像激光一样产生相干辐射。

来自清华大学的青年物理学家邓秀杰在他的博士论文中提出了这些观点，并对其进行了进一步的理论研究。

2017年，赵午教授联系了HZB的加速器物理学家，他们除了在HZB操作软X射线源BESSY II外，还在PTB操作计量光源（MLS）。

MLS是世界上第一个通过设计优化运行的光源，在所谓的 「低α模式 」下运行。

在这种模式下，电子束可以大大缩短。10多年来，那里的研究人员一直在不断开发这种特殊的运行模式。

HZB的加速器专家Markus Ries解释说：「现在，这项开发工作的成果使我们能够满足具有挑战性的物理要求，在MLS实证确认SSMB原理」。

「SSMB团队中的理论小组在准备阶段就定义了实现机器最佳性能的物理边界条件。这使我们能够用MLS生成新的机器状态，并与邓秀杰一起对它们进行充分的调整，直到能够检测到我们正在寻找的脉冲模式」，HZB的加速器物理学家Jörg Feikes说。

HZB和PTB专家使用了一种光学激光器，其光波与MLS中的电子束在空间和时间上精确同步耦合。

这就调制了电子束中电子的能量。

「这使得几毫米长的电子束在存储环中正好转了一圈后分裂成微束（只有1微米长），然后发射光脉冲，像激光一样相互放大」，Jörg Feikes解释道。

「对相干态的实验性探测绝非易事，但我们PTB的同事开发了一种新的光学检测装置，成功地进行了探测。」

SSMB概念提出后，赵午持续推动SSMB的研究与国际合作。

2017年，唐传祥与赵午发起该项实验，唐传祥研究组主导完成了实验的理论分析和物理设计，并开发测试实验的激光系统，与合作单位进行实验，并完成了实验数据分析与文章撰写。

揭示SSMB作为未来光子源潜力的关键一步，是在真实机器上演示其机制。在新的论文中，研究人员报告了SSMB机制的实验演示。

SSMB原理验证实验示意图

实验表明，存储在准等时环中的电子束可以产生亚微米级的微束和相干辐射，由1,064纳米波长激光器诱导的能量调制后一个完整的旋转。

结果验证了电子的光相可以在亚激光波长的精度上逐次相关。

SSMB原理验证实验结果

在这种相位相关性的基础上，研究人员通过应用相位锁定的激光器与电子轮流相互作用来实现SSMB。

该图示直观地展示了如何通过激光调制电子束来产生发射激光的微束，是实现基于SSMB的高重复性、高功率光子源的一个里程碑。

有望解决EUV卡脖子难题

没有顶尖的光刻机，是我国半导体行业发展的最大瓶颈。

光刻机的曝光分辨率与波长直接相关，半个多世纪以来，光刻机光源的波长不断缩小，芯片工业界公认的新一代主流光刻技术是采用波长为纳米光源的EUV（极紫外光源）光刻。

大功率的EUV光源是EUV光刻机的核心基础。简而言之，光刻机需要的EUV光，要求是波长短，功率大。

EUV光刻机工作相当于用波长只有头发直径一万分之一的极紫外光，在晶圆上「雕刻」电路，最后将让指甲盖大小的芯片包含上百亿个晶体管，这种设备工艺展现了人类 科技 发展的顶级水平。

而昂贵的EUV光刻机也正是实现7nm的关键设备，目前，荷兰ASML是全球唯一一家能够量产EUV光刻机的厂商，而由于禁令，我国中芯国际订购的一台EUV仍未到货。

如果中国大陆无法引入ASML的EUV光刻机，则意味着大陆将止步于7nm工艺。

目前ASML公司采用的是高能脉冲激光轰击液态锡靶，形成等离子体然后产生波长纳米的EUV光源，功率约250瓦。而随着芯片工艺节点的不断缩小，预计对EUV光源功率的要求将不断提升，达到千瓦量级。

SSMB光源的潜在应用之一是作为未来EUV光刻机的光源。它们产生的类似激光的辐射也超出了 "光 "的可见光谱，例如在EUV范围内，最后阶段，SSMB源可以提供一种新的辐射特性。脉冲是强烈的、集中的和窄带的。可以说，它们结合了同步辐射光的优势和FEL脉冲的优势。

可以说，基于SSMB的EUV光源有望实现大的平均功率，并具备向更短波长扩展的潜力，为大功率EUV光源的突破提供全新的解决思路。

EUV光刻机的自主研发还有很长的路要走，基于SSMB的EUV光源有望解决自主研发光刻机中最核心的「卡脖子」难题。

关于作者

本文的通讯作者唐传祥教授是清华大学的博士生导师。

1992年9月－1996年3月，考入 清华大学工程物理系硕博连读。1996年3月获得工学博士学位， 博士学位论文为“用于北京自由电子激光装置的多腔热阴极微波电子枪的研究”。

1996年4月获得博士学位后，留校工作。

1996年7月 1998年6月期间，作为访问学者到德国DESY工作2年。在DESY工作期间，主要进行超导加速结构的优化及测量研究，并与J. Sekutowicz, 等合作提出了Superstructure的超导加速结构。

1998年6月回国后，继续在清华大学从事加速器物理、高亮度注入器、汤姆逊散射X射线源、自由电子激光、新加速原理与新型加速结构、电子直线加速器关键物理及技术、加速器应用等方面的研究。

参考资料：

截至2015年12月底，清华大学正在运行的科研机构共317个，其中：国家实验室（筹）1个，重大科技基础设施1个，国家大型科学仪器中心2个，国家重点实验室13个，国家工程实验室7个，国家工程研究中心4个，国家工程技术研究中心3个，教育部重点实验室17个，北京市重点实验室17个。 国家实验室：清华信息科学与技术国家实验室（筹） 重大科技基础设施：国家蛋白质科学基础设施（北京基地） 国家大型科学仪器中心：北京电子显微镜中心、北京电子能谱中心 国家重点实验室：化学工程联合国家重点实验室、环境模拟与污染控制联合国家重点实验室、低维量子物理国家重点实验室、膜生物学国家重点实验室、精密测试技术及仪器国家重点实验室、集成光电子学国家重点实验室、微波与数字通信技术国家重点实验室、智能技术与系统国家重点实验室、水沙科学与水利水电工程国家重点实验室、摩擦学国家重点实验室、汽车安全与节能国家重点实验室、电力系统及发电设备控制和仿真国家重点实验室、新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室 国家工程实验室：数字电视国家工程实验室（北京）、电子商务交易技术国家工程实验室、神经调控技术国家工程实验室、抗肿瘤蛋白质药物国家工程实验室、下一代互联网核心网国家工程实验室、特高压工程技术（昆明、广州）国家工程实验室、工业酶国家工程实验室（联合） 国家工程研究中心：光盘系统及应用技术国家工程研究中心、工业锅炉及民用煤清洁燃烧国家工程研究中心、燃气轮机与煤气化联合循环国家工程研究中心、生物芯片北京国家工程研究中心 国家工程技术研究中心：国家计算机集成制造系统工程技术研究中心、国家企业信息化应用支撑软件工程技术研究中心、国家道路交通管理工程技术研究中心（清华大学分中心） 教育部重点实验室：生命有机磷化学及化学生物学教育部重点实验室、工业生物催化教育部重点实验室、应用力学教育部重点实验室、地球系统数值模拟教育部重点实验室、蛋白质科学教育部重点实验室、生物信息学教育部重点实验室、普适计算教育部重点实验室、粒子技术与辐射成像教育部重点实验室、信息系统安全教育部重点实验室、生态规划与绿色建筑教育部重点实验室、土木工程安全与耐久教育部重点实验室、固体废物处理与环境安全教育部重点实验室、先进成形制造教育部重点实验室、热科学与动力工程教育部重点实验室、先进反应堆工程与安全教育部重点实验室、先进材料教育部重点实验室、有机光电子及分子工程教育部重点实验室 其他政府批准机构、学校自主批建机构和学校与校外独立法人单位联合共建机构详见参考资料 科研项目 “十二五”以来，该校每年从各类科技计划（包括国家科技支撑计划、“863”计划、“973”计划、国家自然科学基金、国家科技重大专项、部委及北京市科技计划等）获得资助立项的科研项目超千项，合同额超15亿元。2014年，清华大学文科新开课题699项。其中，国家社科基金重大招标项目立项6项，转为重点项目1项，国家社科基金年度项目23项，国家社科基金后期资助项目6个，中华学术外译项目4项，国家社科基金艺术学科项目2项；教育部年度项目（含一般、专项）7个；教育部人文社会科学重点研究基地重大项目5项，教育部哲学社会科学研究后期资助重大项目1项，教育部哲学社会科学研究普及读物项目1项。 部分重大项目、重点推广项目名单详见参考资料 科研成果和知识产权 成果奖励截至2015年底，全校累计获国家级科技三大奖共507项，省部级科学技术奖2420项。2015年，学校共获各类科技成果奖励181项，其中：获国家科学技术奖19项；省部级科技奖61项，其他各类科技专项奖101项。2015年，学校通过科技成果鉴定项目47项，进行国家科技成果登记项目44项。重要科研成果名单详见参考资料 专利技术2015年学校国内、国外及地区专利继续保持较高的申请和授权数量。国内申请总数2130项，国外申请总数530项；国内授权总数1810项，国外授权总数390项；国内授权专利维持年限超过10年的占总授权总数约45%；国防专利申请总数23项，授权总数37项；计算机软件著作权登记227项，集成电路布图设计1项。2015年在美国专利授权量名列全球大学第三位。2015年，学校共获得专利金奖1项，专利优秀奖5项，获奖总数继续踞国内高校首位。 论文著作根据中国科学技术信息研究所公布的数据，该校被《工程索引》（EI）收录论文数，自1993年以来，已经连续21年保持全国高校首位；被《科学引文索引》（SCI网络版）收录论文，在数量保持稳定的同时，质量有稳步提升；SCI论文被引用篇数及被引用次数继续在全国高校名列前茅。该校2005-2014年被SCI收录的论文截至2015年9月共有31623篇，计377292次被引用。2014年，被网络版《科学引文索引》（SCI）收录的总数为4235篇，被《工程索引》（EI）收录的论文数4195篇，被《科学技术会议录索引》（ISTP）收录的论文972篇，被《社会科学引文索引》（SSCI）收录的论文数为182篇。2015年该校出版理工农医类学术著作82部，人文社会科学类学术著作196部。 馆藏资源 截止到2015年底，清华大学图书馆（含专业图书馆及院系资料室）的实体馆藏总量约万册（件），形成了以自然科学和工程技术科学文献为主体，兼有人文、社会科学及管理科学文献等多种类型、多种载体的综合性馆藏体系。除中外文印刷型图书外，读者可使用的文献资源还包括：古籍线装书22万多册；期刊合订本约万册；校馆统筹年订购印刷型中外文报刊2,394种；本校博、硕士论文万余篇；缩微资料万种；各类数据库551个；全文电子期刊69737种；电子图书万册，电子版学位论文万篇。 学术期刊 《清华大学学报》清华大学学报包括三种期刊：《清华大学学报（自然科学版）》、《Tsinghua Science and Technology》、《清华大学学报（哲学社会科学版）》，均由清华大学主办。其中《清华大学学报（自然科学版）》被多家国际性文献检索机构，如Ei、CA、MR、РЖ、INSPEC、Zbl等及国内多家全国性文献检索机构收录。在国内历次全国性科技期刊评比中均获一等奖，1999年建国50年评优活动中获“首届国家期刊奖”，2001年《 清华大学学报 （自然科学版） 》以“双高”期刊进入“中国期刊方阵”，2002年获“第二届国家期刊奖”。《清华大学学报（哲学社会科学版）》是全国中文核心期刊、中国人文社会科学核心期刊、中文社会科学引文索引（CSSCI）来源期刊，入选“教育部高校哲学社会科学名刊工程”，“中国高校系列专业期刊”成员单位。《世界建筑》作为国家一级杂志和建筑科学类核心期刊的《世界建筑》，不仅是中国建筑界了解世界建筑动态的一个窗口，也架设了一座联络世界建筑和中国建筑发展的桥梁，成为一个促进建筑文化交流的广阔平台。《装饰》为中文社会科学引文索引CSSCI来源期刊、中国艺术类核心期刊、国家期刊奖获奖期刊、中国期刊方阵双奖期刊、全国百种重点社科期刊。《清华法学》为CSSCI来源期刊、CSSCI来源期刊（正版）、北京大学图书馆《中文核心期刊要目总览》核心期刊、中国人文社会科学核心期刊、《2014年版“复印报刊资料”重要转载来源期刊》。《清华大学教育研究》为国家社科基金资助期刊、CSSCI来源期刊、全国中文核心期刊。