文献综述论文规范

毕业论文文献综述写作规范

为了培养学生独立从事学术研究的能力，特别是培养学生检索、搜集、整理、综合利用学术文献资料，根据所研究课题对文献资料进行有效的归纳、分析、总结的能力，从而提高毕业论文质量，所有毕业生在撰写毕业论文过程中必须完成毕业论文文献综述。

一、定义和要求

(一)毕业论文文献综述是指在学生在毕业论文研究课题或研究题目确定后，通过搜集、整理、阅读国内外相关学术文献资料，就与该课题或题目直接相关的主要研究成果、学术意义、研究方法、研究动态、最新进展等问题进行归纳总结、综合分析后所做的简要评述。

(二)毕业论文文献综述所评述的学术文献必须与学生所撰写论文保持高度一致，必须对可能影响所撰写论文主要论点、政策建议或反驳依据等主要学术结论的相关文献及其主要论断做出清晰、准确、流畅的说明，必须保证综述本身结构的完整性，能够反映学生的利用学术文献的综合能力。

(三)毕业论文文献综述是学生撰写毕业论文过程的有机组成部分，必须在论文指导教师的指导下完成;文献综述必须按学校要求的基本规范撰写，一般不少于3000字。文献综述的.成绩综合纳入学生毕业论文成绩之中，未完成毕业论文文献综述的学生不得参加毕业论文答辩。

二、基本格式

(一)毕业论文文献综述是一篇相对独立的综述性学术报告，应该包括题目、前言、正文、总结等几个部分。

题目：一般应以所研究题目或主要论题加“文献综述”的方式作为标题，如《中国与亚洲各国建立自由贸易区的比较分析文献综述》，文献综述的题目与论文题目应基本一致，但允许论文题目在实际写作过程进行微调。

前言：主要说明毕业论文论题的由来，重点说明当前相关领域与论题有关的主要研究成果，存在的错误观点或有待解决的问题，对作者要解决或要论述的问题及其所具有的学术意义做出简要的说明。

正文：应围绕索要解决或要论述的问题对当前的学术研究基本情况做出比较全面的说明，对作者所阅读主要参考文献分类、归纳、分析、比较、评述，应特别注意对主流、权威文献学术成果的引用和评述，注意发现已有成果的不足，说明作者研究的起点和可能得到的结论。

结论：对全文的评述做出简明扼要的总结，重点说明对毕业论文具有启示、借鉴或作为毕业论文重要论述依据的相关文献已有成果的学术意义、应用价值和不足，提出自己的研究目标。

(二)文献综述所评述的文献应与毕业论文的论题直接相关，与毕业论文的要求的参考文献数量完全一致，原则上不少于15篇，其中，外文文献不少于3篇;重要论点、论据不得以教材、非学术性文献、未发表文献作为参考文献;除非第一手资料散佚，否则，不得以第二手资料作为参考文献。

(三)文献综述中所涉及的文献应与毕业论文所列参考文献基本一致，在毕业论文中未加说明的与文献的采用有直接关联的问题，如版本问题，翻译问题等，应在文献综述中加以说明。文献综述原则上不采用注释，如确需注释者，应随文说明，不再另加脚注或尾注。

(四)文献综述的字体、字号、序号等应与毕业论文格式要求完全一致，引用图表、公式等资料的方式也应与毕业论文格式要求保持一致。

三、注意事项

(一)文献综述应与开题报告同时完成，但可在毕业论文完成之后稍加调整，与毕业论文其他材料一并存档。

(二)文献综述应根据指导教师的要求撰写，由论文评阅教师根据学校的有关标准评分;文献综述不及格的毕业论文，不得进入毕业论文答辩或其他评阅环节。

(三)文献综述与毕业论文同为学生毕业资格审核的基本文献，为永久性保存文档，学生应同时提供纸介和电子文档。

论文文献综述的格式及各部分要求

在现实的学习、工作中，大家都写过论文吧，论文是指进行各个学术领域的研究和描述学术研究成果的文章。写起论文来就毫无头绪？下面是我帮大家整理的论文文献综述的格式及各部分要求，欢迎大家分享。

文献综述

文献综述一般由题名、著者、摘要、关键词、正文、参考文献几部分组成。其中正文部分又由前言、主体和总结组成。

1、前言部分

主要提出问题，说明写作的目的，介绍有关的概念及综述的范围，扼要说明有关主题的现状、发展动态或争论焦点，选择这一专题的目的、应用价值和实践意义，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。

2、主体部分

主要包括历史发展、现状分析和趋向预测几个方面的内容，可以采取纵横结合式的写法，如写历史背景采用纵式，写目前状况采用横式。

①历史发展：要按时间顺序，简要说明这一课题的提出及各历史阶段的发展状况，体现各阶段的研究水平。

②现状分析：介绍国内外对本研究的现状，包括本人的观点，将归纳、整理的科学事实和资料进行排列和分析，对有创造性的理论要详细介绍，并引出论据;对有争论的问题要介绍各家观点，进行比较，指出可能的发展趋势，并提出自己的看法。

③趋向预测：在纵横对比中肯定所综述课题的研究水平、存在问题和不同观点，提出展望性意见。这部分内容要写得客观、准确，不但要指明方向，而且要提示捷径。

3、总结部分

主要是对主题部分所阐述的主要内容进行述评，提出结论，赞成什么，反对什么，还要说明本综述的局限性，前任研究的优缺点有什么，自己的创新之处有什么等。

4、参考文献

这是写作综述的基础，最重要的是使读者在探讨某些问题时，提供查找有关文献的线索，可按参考文献查阅原文。因此编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。

论文参考文献的基本格式

1、按论文中参考文献出现的先后顺序用阿拉伯数字连续编号，将序号置于方括号内，并视具体情况将序号作为上角标，或作为论文的组成部分。

2、参考文献中，每条项目应齐全。文献中的作者不超过三位时全部列出;超过三位时一般只列前三位，后面加“等”字或“etc.”;作者姓名之间用逗号分开;中外人名一律采用姓在前，名在后的'著录法。

3、参考文献的序号左顶格，并用数字加方括号表示，如[1],[2],……，以与正文中的指示序号格式一致。每一参考文献条目的最后均以“.”结束。

各类参考文献条目的编排格式及示例如下：

a. 连续出版物：[序号]主要责任者.文献题名[J].刊名，出版年份，卷号(期号)：起止页码.

b. 专著：[序号]主要责任者.文献题名[M].出版地：出版者，出版年：起止页码.

c. 论文集：[序号]主要责任者.文献题名[C].主编.论文集名.出版地：出版者，出版年：起止页码.

d. 学位论文：[序号]主要责任者.文献题名[D].保存地：保存单位，年份.

e. 报告：[序号]主要责任者.文献题名[R].报告地：报告会主办单位，年份.

f. 专利文献：[序号]专利所有者.专利题名[P].专利国别：专利号，发布日期.

g. 国际，国家标准：[序号]标准代号.标准名称[S].出版地：出版者，出版年.

h. 报纸文章：[序号]主要责任者.文献题名[N].报纸名：出版日期(版次).

i. 电子文献：[序号]主要责任者.电子文献题名[文献类型/载体类型].电子文献的出版或可获得地址，发表或)更新日期/引用日期(任选).

【拓展内容】

论文引用文献标注小技巧介绍

在论文的撰写过程中需要参考大量的文献资料，很多人对论文引用怎么标注不太清楚。因为不同的杂志社要求的文献格式不同，文中的插入方法和文章后面的文献排列格式都不一样，很多同学在论文写完后需要花费很多精力去调整引用文献的格式。国内大部分期刊杂志都要求按照文献插入顺序进行排列，如果后期文章有改动，参考文献的增减和排列都会发生改变，工作十分繁琐，杂志社审核编辑如果对格式要求严格，那么你的论文就有可能被打回去，参考论文引用在论文写作过程中占有重要的地位。

软件Reference manager是专门用来管理参考文献的，它功能很强大，能对文献进行二次检索、管理，与Word结合还可完成论文中参考文献的插入，相信很多高手在写毕业论文的时候都用它解决了参考文献的插入问题。Mendeley 、Endnote的文献管理方式也很好，以批量导入文件或文件夹，也可以直接拖动PDF到Mendeley，所有文献自动云同步。有的人不习惯用这些软件，如果写的是期刊类文章，可以采用Word插入“脚注/尾注”的方式标注参考文献，光标移到要插入参考文献的地方，菜单中“引用”—“脚注/尾注”。 当插入下一条参考文献的时候，选择“下一条脚注”这样标注论文引用文献也是非常方便的。

在科研工作中，我们写论文引用大量的文献，掌握几个文献检索工具、文本编辑技巧、软件使用小窍门等都是非常重要的辅助工具，在撰写论文的过程中会大大提高工作效率！

文献综述格式模板2000字

在社会的各个领域，大家都经常接触到论文吧，论文一般由题名、作者、摘要、关键词、正文、参考文献和附录等部分组成。那么，怎么去写论文呢？以下是我精心整理的文献综述格式模板2000字，欢迎阅读，希望大家能够喜欢。

一、什么是文献综述

文献综述是对某一方面的专题搜集大量情报资料后经综合分析而写成的一种学术论文，它是科学文献的一种。

文献综述与“读书报告”、“文献复习”、“研究进展”等有相似的地方，它们都是从某一方面的专题研究论文或报告中归纳出来的。但是，文献综述既不象“读书报告”、“文献复习”那样，单纯把一级文献客观地归纳报告，也不象“研究进展”那样只讲科学进程，其特点是“综”，“综”是要求对文献资料进行综合分析、归纳整理，使材料更精练明确、更有逻辑层次;“述”就是要求对综合整理后的文献进行比较专门的、全面的、深入的、系统的论述。总之，文献综述是作者对某一方面问题的历史背景、前人工作、争论焦点、研究现状和发展前景等内容进行评论的科学性论文。

二、撰写文献综述的目的

文献综述是反映当前某一领域中某分支学科或重要专题的最新进展、学术见解和建议的它往往能反映出有关问题的新动态、新趋势、新水平、新原理和新技术等等。学写综述的目的：

①通过搜集文献资料过程，可进一步熟悉法学文献的查找方法和资料的积累方法;在查找的过程中同时也扩大了知识面;

②查找文献资料、写文献综述是进行学术研究的第一步，因此学习文献综述的撰写也是为今后科研活动打基础的过程;

③通过综述的写作过程，能提高归纳、分析、综合能力，有利于独立工作能力和科研能力的提高;

④文献综述选题范围广，题目可大可小，可难可易，可根据自己的能力和兴趣自由选题。

三、撰写文献综述的步骤

写文献综述一般经过以下几个阶段：即选题，搜集阅读文献资料、拟定提纲(包括归纳、整理、分析)和成文。

1、选题和搜集阅读文献撰写文献综述通常出于某种需要，如从事某项科研、为某方面积累文献资料等等。文献综述选题范围广，题目可大可小，大到一个领域、一个学科，小到一个方法、一个理论，可根据自己的需要而定，初次撰写文献综述，所选题目宜小些，这样查阅文献的数量相对较小，撰写时易于归纳整理，否则，题目选得过大，查阅文献花费的时间太多，影响实习，而且归纳整理困难，最后写出的综述大题小作或是文不对题。选定题目后，则要围绕题目进行搜集与文题有关的文献。搜集文献要求越全越好。搜集好与文题有关的参考文献后，就要对这些参考文献进行阅读、归纳、整理，如何从这些文献中选出具有代表性、科学性和可靠性大的单篇研究文献十分重要，从某种意义上讲，所阅读和选择的文献的质量高低，直接影响文献综述的水平。因此在阅读文献时，要写好“读书笔记”、“读书心得”和做好“文献摘录卡片”。有自己的语言写下阅读时得到的启示、体会和想法，将文献的精髓摘录下来，不仅为撰写综述时提供有用的资料，而且对于训练自己的表达能力，阅读水平都有好处，特别是将文献整理成文献摘录卡片，对撰写综述极为有利。

2、格式与写法

文献综述的格式与一般研究性论文的格式有所不同。这是因为研究性的论文注重研究的方法和结果，而文献综述要求向读者介绍与主题有关的详细资料、动态、进展、展望以及对以上方面的评述。因此文献综述的格式相对多样，但总的来说，一般都包含以下四部分：即前言、主题(文献内容讨论和分析)、总结和参考文献。撰写文献综述时可按这四部分拟写提纲，在根据提纲进行撰写工。

前言部分，主要是说明写作的目的，介绍有关的概念及定义以及综述的范围，扼要说明有关主题的现状或争论焦点，使读者对全文要叙述的问题有一个初步的轮廓。

主题(文献内容讨论和分析)部分，是综述的主体，其写法多样，没有固定的格式。可按年代顺序综述，也可按不同的问题进行综述，还可按不同的观点进行比较综述，不管用那一种格式综述，都要将所搜集到的文献资料归纳、整理及分析比较，阐明有关主题的历史背景、现状和发展方向，以及对这些问题的评述，主题部分应特别注意代表性强、具有科学性和创造性的文献引用和评述。

总结部分，与研究性论文的小结有些类似，将全文主题进行扼要总结，对所综述的主题有研究的作者，最好能提出自己的见解。

参考文献虽然放在文末，但却是文献综述的重要组成部分。因为它不仅表示对被引用文献作者的尊重及引用文献的依据，而且为读者深入探讨有关问题提供了文献查找线索。因此，应认真对待。参考文献的编排应条目清楚，查找方便，内容准确无误。关于参考文献的使用方法，录著项目及格式与研究论文相同，不再重复。

四、注意事项

由于文献综述的.特点，致使它的写作既不同于“读书笔记”“读书报告”，也不同于一般的科研论文。因此，在撰写文献综述时应注意以下几个问题：

1、搜集文献应尽量全。掌握全面、大量的文献资料是写好综述的前提，否则，随便搜集一点资料就动手撰写是不可能写出好多综述的，甚至写出的文章根本不成为综述。

2、注意引用文献的代表性、可靠性和科学性。在搜集到的文献中可能出现观点雷同，有的文献在可靠性及科学性方面存在着差异，因此在引用文献时应注意选用代表性、可靠性和科学性较好的文献。

3、引用文献要忠实文献内容。由于文献综述有作者自己的评论分析，因此在撰写时应分清作者的观点和文献的内容，不能篡改文献的内容。

4、参考文献不能省略。有的科研论文可以将参考文献省略，但文献综述绝对不能省略，而且应是文中引用过的，能反映主题全貌的并且是作者直接阅读过的文献资料。

关于毕业设计(论文)文献综述的写作要求

文献综述是培养学生独立从事学术研究能力，特别是培养学生检索、搜集、整理、综合利用学术文献资料，根据所研究课题对文献资料进行有效的归纳、分析、总结能力，从而提高独立工作能力和科研能力。

毕业设计(论文)文献综述是指学生在毕业设计(论文)研究课题或研究题目确定后，通过搜集、整理、阅读国内外相关学术文献资料，就与该课题或题目直接相关的主要研究成果、学术意义、研究方法、研究动态、最新进展等问题进行归纳总结、综合分析后所做的简要评述。是提高毕业设计(论文)质量的有效途径。

文献综述所评述的学术文献必须与学生所撰写毕业设计(论文)保持高度一致，必须对可能影响所撰写毕业设计(论文)主要论点、政策建议或反驳依据等主要学术结论的相关文献及其主要论断做出清晰、准确、流畅的说明，必须保证综述本身结构的完整性，能够反映学生的利用学术文献的综合能力。

文献综述是学生撰写毕业设计(论文)过程的有机组成部分，必须在论文指导教师的指导下完成;文献综述必须按学院要求的基本规范撰写，一般应在3000字左右。文献综述的成绩综合纳入学生毕业设计(论文)成绩之中，未完成毕业设计(论文)文献综述的学生不得参加毕业论文答辩。

所有毕业生在撰写毕业设计(论文)后必须完成毕业设计(论文)文献综述。学院明确要求从20xx级学生毕业论文开始实施文献综述写作制度。为了进一步规范文献综述的写作，现将文献综述写作要求明确如下：

一、撰写文献综述的基本要求

文献综述是针对某一研究领域或专题搜集大量文献资料的基础上，就国内外在该领域或专题的主要研究成果、最新进展、研究动态、前沿问题等进行综合分析而写成的、能比较全面的反映相关领域或专题历史背景、前人工作、争论焦点、研究现状和发展前景等内容的综述性文章。“综”是要求对文献资料进行综合分析、归纳整理，使材料更精练明确、更有逻辑层次;“述”就是要求对综合整理后的文献进行比较专门的、全面的、深入的、系统的评述。

二、撰写文献综述的基本注意事项

1、文献综述是一篇相对独立的综述性学术报告，包括题目、前言、正文、总结等几个部分。

题目：一般应直接采用《文献综述》作为标题，经指导教师批准也可以所研究题目或主要论题加“文献综述”的方式作为标题。

前言：点明毕业设计(论文)的论题、学术意义以及其与所阅读文献的关系，简要说明文献收集的目的、重点、时空范围、文献种类、核心刊物等方面的内容。

正文：无固定格式，可以按文献的时空顺序，层次顺序，毕业设计(论文)的论点顺序等展开，总之要根据毕业设计(论文)的具体情况撰写，对毕业设计(论文)所采用的全部参考文献分类、归纳、分析、比较、评述，应特别注意对主流、权威文献学术成果的引用和评述，注意发现已有成果的不足。

结论，对全文的评述做出简明扼要的总结，重点说明对毕业设计(论文)具有启示、借鉴或作为毕业设计(论文)重要论述依据的相关文献已有成果的学术意义、应用价值和不足，提出自己的研究目标。

2、要围绕毕业论文主题对文献的各种观点作比较分析，不要教科书式地将与研究课题有关的理论和学派观点简要地汇总陈述一遍。

3、评述(特别是批评前人不足时)要引用原作者的原文(防止对原作者论点的误解)，不要贬低别人抬高自己，不能从二手材料来判定原作者的“错误”。

4、文献综述结果要说清前人工作的不足，衬托出作进一步研究的必要性和理论价值。

5、采用了文献中的观点和内容应注明来源，模型、图表、数据应注明出处，不要含糊不清。

6、文献综述最后要有简要总结(结论)，并能准确地反映主题内容，表明前人为该领域研究打下的工作基础。

7、所有提到的参考文献都应和所毕业论文(设计)研究问题直接相关。

8、文献综述所用的文献，与毕业设计(论文)的论题直接相关，与毕业设计(论文)的参考文献数量完全一致;重要论点、论据不得以教材、非学术性文献、未发表文献作为参考文献，应主要选自学术期刊或学术会议的文章，其次是教科书或其他书籍。至于大众传播媒介如报纸、广播、通俗杂志中的文章，一些数据、事实可以引用，但其中的观点不能作为论证问题的依据。

三、参考文献格式

参考文献的著录均应符合国家有关标准。参考文献的序号左顶格，并用数字加方括号表示，如[1],[2],?,以与正文中的指示序号一致。每一参考文献条目的最后均以“.”结束。各类参考文献条目的编排格式以及示例如下。

1、 连续出版物

[序号] 主要责任者、文献题名[J]、刊名，出版年份，卷号(期号)：起止页码、 例如：

[1] 毛峡,丁玉宽.图像的情感特征分析及其和谐感评价[J]、电子学报,20xx,29(12A):1923-1927.

2、 专著

[序号] 主要责任者、文献题名[M]、出版地：出版者，出版年：起止页码、例如：

[2] 刘国梁,王成.图书馆史研究[M]、北京:高等教育出版社,1979:15-18,31.

3、 会议论文集

[序号] 主要责任者、文献题名[A]//主编、论文集名[C]、出版地：出版者，出版年：起止页码、例如：

[3] 毛峡,孙云.和谐图案自动的生成研究[A].第一届中国情感计算及智能交互学术会议论文集[C].北京:中国科学院自动化研究所,20xx:277-281.

4、 学位论文

[序号] 主要责任者、文献题名[D]、保存地：保存单位，年份、例如：

[4] 张京、水利水电理论[D]、武汉:武汉大学,1997.

5、 报告

[序号] 主要责任者、文献题名[R]、报告地：报告会主办单位，年份、例如：

[5] 冯宜章、核反应堆压力容器的LBB分析[R]、北京:清华大学核能技术研究院,1997.

6、 专利文献

[序号]专利所有者、专利题名[P]、专利国别：专利号，发布日期、例如：

[6] 姜锡州.一种温热外敷药制备方案[P].中国专利:881056078,1983-08-12.

7、 国际、国家标准

[序号]标准代号，标准名称[S]、出版地：出版者，出版年、例如：

[7] GB/T16159-1996，汉语拼音正词法基本规则[S]、北京：中国标准出版社，1996、

8、 报纸文章

[序号]主要责任者、文献题名[N]、报纸名，出版日期(版次)、例如：

[8] 毛峡、情感工学破解‘舒服’之谜[N]、光明日报，20xx-4-17(B1)、

9、 电子文献

[序号] 主要责任者、电子文献题名[电子文献及载体类型标识]、电子文献的出处或可获得地址，发表或更新日期/引用日期(任选)、 例如：

[9] 王明亮、关于中国学术期刊标准化数据库系统工程的进展[EB/OL]. , 1998-08-16/1998-10-04.

引用参考文献类型及其标识说明如下：

根据GB3469规定，以单字母方式标示以下各种参数文献类型，如下表所示：

四、文献综述页面设置和字体大小

1、页眉

页眉内容一律为“师范学院本科生毕业设计(论文)文献综述”，小五号宋体，右对齐。

2、页边距

论文的上边距：30mm、下边距：30mm、左边距：35mm、右边距：35mm、页眉：30mm、页脚：30mm，行间距为固定值22磅行距。

3、页码的书写要求

页码从前言部分开始至结论，用阿拉伯数字连续编排，页码位于页面底端居中。封面不编入论文页码。

4、文献综述中一级标题为黑体4号，二级标题为黑体小四号。正文用宋体小四号，参考文献用宋体小五号。

5、文献综述字体样式见附件1，封面格式见附件2。

本科毕业设计（论文）文献综述院 （系）：专 业：班 级：学生姓名： 学 号:年 月 日本科生毕业设计（论文）文献综述评价表毕业设计（论文）题目综述名称 注意综述名称（综述内容中不要出现本课题怎么样等等）评阅教师姓名 职称评 价 项 目 优 良 合格 不合格综述结构 01 文献综述结构完整、符合格式规范综述内容 02 能准确如实地阐述参考文献作者的论点和实验结果03 文字通顺、精练、可读性和实用性强04 反映题目所在知识领域内的新动态、新趋势、新水平、新原理、新技术等参考文献 05 中、英文参考文献的类型和数量符合规定要求，格式符合规范06 围绕所选毕业设计（论文）题目搜集文献成绩综合评语：评阅教师（签字）：年 月 日文献综述： 小四号宋空一行标题 二号黑居中空一行1 XXX 三号黑XXX 小四号宋，行距20磅 XXXX 小三号黑XXX 小四号宋，行距20磅 XXX 四号黑XXX 小四号宋，行距20磅空一行2 XXXX 三号黑(空1行)参 考 文 献(空1行)[要求按国标GB 7714—87《文后参考文献著录规则》书写，例如：][1] 袁庆龙，候文义．Ni-P合金镀层组织形貌及显微硬度研究［J］．太原理工大学学报，2001，32(1)：51-53 ．（宋体五号，行距固定值20磅）[2] 刘国钧，王连成．图书馆史研究［M］．北京：高等教育出版社，1979：15-18，31．下面的是我的文献综述文献综述:FTO透明导电薄膜的溅射法制备1 前言为了更好的开展毕业论文及毕业实验工作，在查找和阅读与《DSSC用FTO透明导电玻璃的溅射法制备》相关的文献和资料，完成撰写了本文献综述。随着科技的日趋成熟，导电玻璃的制备方法也越来越成熟，种类也衍生得越来越多。本文章将对国内外的制备方法，种类，发展现状及趋势，工艺性能，退火处理对性能的影响等方面做一简要介绍。2透明导电玻璃的种类及制备方法简介透明导电玻璃的种类 .1 TCO导电玻璃TCO（Transparent Conductive Oxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜而形成的组件.主要包括铟、锡、锌、铬的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。 ITO透明导电玻璃ITO透明导电玻璃全称为氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。 ITO玻璃产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻璃、光电子和各种光学领域。透明导电玻璃FTO透明导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F)，简称为FTO。FTO玻璃可以做为ITO导电玻璃的替换用品，广泛用于液晶显示屏，光催化，薄膜太阳能电池基底等方面，市场需求极大. FTO玻璃因其特殊性，在染料敏化太阳能电池，电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求，其综合性能常用直属FTC来评价：FTC＝T10／RS。T是薄膜的透光率，RS是薄膜的方阻值；在光学应用方面，则要求其对可见光有好的透射性和对红外有良好的反射性。对其基本要求是：①表面方阻低，②透光率高，③面积大、重量轻，④易加工、耐冲击。透明导电玻璃制备方法FTO透明导电玻璃的制备方法有，物理方法：溅射法、真空蒸发镀膜法、离子辅助沉积镀膜法等；化学方法：喷雾热解法、溶胶-凝胶法和化学气相沉积法等。目前适合批量生产且研发较多的有真空蒸发镀膜法、磁控溅射法、化学气相沉积法和喷雾热解等方法！［1］化学气相沉积法和真空镀膜法制备的薄膜和玻璃基板的结合强度不够，溶胶-凝胶法制备的导电薄膜电阻较高。适合于批量生产且已经形成产业的工艺，只有磁控溅射法和溶胶－凝胶法。特别是，溅射法由于具有良好的可控性和易于获得大面积均匀的薄膜。磁控溅射法镀膜：溅射镀膜(sputtering deposition)是指用离子轰击靶材表面，使靶材的原子被轰击出来，溅射产生的原子沉积在基体表面形成薄膜。溅射镀膜有二级、三级或四级溅射、磁控溅射、射频溅射、偏压溅射、反应溅射、离子束溅射等装置。目前最常用的制备CoPt 磁性薄膜的方法是磁控溅射法。磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。氩离子被阴极加速并轰击阴极靶表面，将靶材表面原子溅射出来沉积在基底表面上形成薄膜。通过更换不同材质的靶和控制不同的溅射时间，便可以获得不同材质和不同厚度的薄膜。磁控溅射法具有镀膜层与基材的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点。真空蒸发镀膜：真空蒸发镀膜(vacuum vapor deposition)是在工作压强低于10-2 Pa，用蒸发器加热物质使之汽化蒸发到基片，并在基片上沉积形成固态薄膜的一种工艺方法。真空蒸发的加热方式主要有电阻加热蒸发、电子束加热蒸发、高频加热蒸发和激光加热蒸发等。对于镀制透明导电氧化物薄膜而言，其真空蒸发镀膜工艺一般有三种途径：(1)直接蒸发氧化物；(2)采用反应蒸发镀，即在蒸发金属的同时通入氧气进行化学反应生成金属氧化物；(3)对蒸发金属镀膜进行氧化处理。溶胶-凝胶法：溶胶-凝胶法(so1-gel)是近年来发展起来的能代替高温固相合成反应制备陶瓷、玻璃和许多固体薄膜材料的一种新方法。它将金属醇盐或无机盐经溶液、溶胶、凝胶而周化，再将凝胶低温处理变为氧化物的方法，是应用胶体化学原理制各无机材料的一种湿化学方法。溶胶-凝胶工艺是一种制备多元氧化物薄膜的常用方法。按工艺可分为浸涂法和旋涂法。浸涂法是将衬底浸人含有金属离子的前驱体溶液中，以均匀速度将其提拉出来，在含有水分的空气中发生水解和聚合反应，最后通过热处理形成所需薄膜；而旋涂法则是通过将前体溶液滴在衬底后旋转衬底获得湿膜。化学气相沉积法：化学气相沉积(chemical vapor deposition，CVD)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态薄膜沉积在加热的固态衬底表面，是一种重要的薄膜制各方法。CVD法所选的反应体系必须满足：(1)在沉积温度下，反应物必须有足够的蒸汽压；(2)化学反应产物除了所需的沉积物为固态外，其余必须为气态；(3)沉积物的蒸汽压应足够低，以保证能较好地吸附在具有一定温度的基体上，但此法因必须制各具有高蒸发速率的铟锡前驱物而使生产成本较高。影响化学气相沉积薄膜的工艺参数很多，包括基体温度、气压、工作气体流量和反应物及其浓度等。化学气相沉积技术的主要特点包括：设备及工艺简单、操作维护方便、灵活性强；适合在各种形状复杂的部件上沉积薄膜：由于设备简单，薄膜制备的成本也比较低。但是，薄膜的表面形貌很大程度上受到化学反应特性以及能量撒活方式的影响。喷雾热分解法：喷雾热分解法是化学法成膜的一种，其过程与APCVD法比较相似。它是将前驱体溶液在高压载气的作用下雾化，然后输送到基片表面，在高温作用下，前驱体溶液发生一系列复杂的化学反应，在基片表面上得到需要的薄膜材料。而反应副产物一般是通过气相形式排出反应腔。常用的高压载气主要有：压缩空气、氮气、氩气等等。但是由于压缩空气中常含有大量的水蒸气，所以用氮气作为载气的情形比较多。如果需要在基片表面上发生分解反应，基片温度一般在300℃以上，在玻璃上制备FTO薄膜的基片温度一般为500℃。影响最终薄膜性能的喷涂参数有：载气压力、前驱体溶液流量、基片温度、喷口与基片的距离、喷枪移动速度等等［2］。在成膜过程中基材的温度、液体的流速、压缩气体的压力以及喷嘴到基材的距离等参数均可实现精确控制［3］。3 FTO透明导电玻璃的研究现状、应用及发展趋势透明导电玻璃的研究现状自1907年Badeker首次报道了热氧化溅射的Cd薄膜生成半透明导电的CdO薄膜，引发了对透明导电氧化物(TCO)薄膜的研究。1950年前后出现了硬度高，化学稳定性好的SnO2基薄膜及综合光电性能优良的In2O3基薄膜，ZnO基薄膜的研究始于2O世纪80年代 。目前研究和应用较多的TCO薄膜主要有SnO2、In2O3。和ZnO基三大体系，其中以In203：Sn(ITO)，SnO2 ：F(FTO)和ZnO：Al(ZAO)最具代表性，这些薄膜具有高载流子浓度(1018～1021cm-3)和低电阻率(10-3～1O-4Ω•cm)，且可见光透射率8O％～90％，使这些薄膜已被广泛应用于平面显示、建筑和太阳光伏能源系统中。［4］ 已经商业化应用的TCO薄膜主要是In2O3Sn(ITO)和SnO2：F(FTO)2类，ITO由于其透明性好，电阻率低，易刻蚀和易低温制备等优点，一直是显示器领域中的首选TCO薄膜。FTO薄膜由于其化学稳定性好，生产设备简单，生产成本低等优点在节能视窗等建筑用大面积TCO薄膜中，具有很大的优势［5］。Sn02：F（FTO）掺杂体系是一种n型半导体材料，表现出优良的电学和光学性能，并且耐腐蚀，耐高温，成本低，化学稳定性好，是现在研究较多，应用范围较广的一类TCO薄膜。苗莉等［6］采用喷雾热解法，以NH4F、SnCl2•2H20为原料，在普通玻璃衬底上制备出了方块电阻最低达到Ω/口，可见光透光率为％的FTO薄膜，且薄膜晶粒均匀，表面形貌平整致密。Yadav等［7］采用喷雾热解法，制备了不同厚度的FTO薄膜，最低电阻率达到 X 10-4 Ω•cm。Moholkar等［8］采用喷雾热解法，制备了不同掺F浓度的FTO薄膜，研究了氟的掺杂浓度对Sn02薄膜的光学，结构和电学性能的影响。中国科学院等离子体物理研究所的戴松元小组［9、10］将FTO用于染料敏化太阳电池的透明电极，并获得较高的光电转换效率。射频溅射：射频溅射的基本原理是射频辉光放电。国内外射频溅射普遍选用的射频电源频率为13．56MHz,以防止射频信号与无线电信号的相互干扰。通常直流溅射的基本过程是，从阴极发出的电子，经过电场的加速后获得足够的能量，可以使气氛气体发生电离。正离子在电场作用下撞击阴极表面，溅射出阴极表面的原子、分子到衬底表面发生吸附、凝聚，最终成膜。直流溅射不能用于绝缘体材料的薄膜制备，因为绝缘材料在受到正离子轰击时，靶材表面的正离子无法中和，使靶表面的电位逐渐升高，导致阴极靶与阳极问的电场减小，当靶表面电位上升到一定程度时，可以使气体无法电离，溅射无法进行。而射频溅射适合于任何一种类型的阻抗耦合，电极和靶材并不需要是导体，射频溅射非常适合于制备半导体、绝缘体等高熔点材料的薄膜。在靶材表面施加射频电压，当溅射处于上半周时，由于电子的质量比离子的质量小很多，故其迁移率很高，用很短时间就可以飞向靶面，中和其表面积累的正电荷，从而实现对绝缘材料的溅射，并且在靶表面又迅速积累起了大量的电子，使其表面因空间电荷而呈现负电位，导致在射频溅射正半周期，也可吸引离子轰击靶材。从而实现了在电压正、负半周期，均可溅射。磁场的作用是将电子与高密度等离子体束缚在靶材表面，可以提高溅射速度。［11］用JPGF一450型射频磁控溅射系统在玻璃衬底上制备SnO2：F薄膜，系统的本底真空度为10-3Pa．溅射所用陶瓷靶是由纯度为％SnO2和NH4F，粉末经混合、球磨后压制成坯，再经1300℃烧结而成，靶中NH4F的重量比是％，用纯度为99．99％ 的氩气和氧气作为工作气体，由可控阀门分别控制气体的流量。溅射过程中，控制真空室内氩气压强为1Pa，氧分压为— Pa，靶与衬底间的距离为5cm．溅射功率为150W，溅射时间为25 min，衬底温度为100℃。用RIGAKU D／MAX—yA型x射线衍射(XRD)仪(CuKa辐射波长， nm)测试样品的结构，用APHM一0190型原子力显微镜(AFM)观测样品的表面形貌，使用 rv一1900型紫外可见光分光光度计测量样品的吸收谱，使用激发源为325 nm的He—Cd激光器的光谱仪测量样品的室温光致发光谱，使用普通的万电表测试它的导电性（前提是尽量保持测量条件的一致性）。透明导电玻璃的应用FTO透明导电玻璃具有优良的光电性能，被广泛用于太阳能电池的窗口材料、低损耗光波导电材料及各种显示器和非晶硅太阳能电池中作为透明玻璃电极等，与生活息息相关。在薄膜太阳电池上的应用太阳能电池是利用光伏效应，在半导体p-n结直接将太阳光的辐射能转化成电能的一种光电器件。TCO薄膜是太阳电池关键材料之一，可作为染料敏化太阳电池(dye-sensitized solar cells，DSCS)［12］等的透明电极，对它的要求是：具有低电阻率(方块电阻Rsh约为15Ω/□)；高阳光辐射透过率，即吸收率与反射率要尽可能低；化学和力学稳定性好的特点。在薄膜太阳电池中，透明导电膜充当电极，具有太阳能直接透射到作用区域几乎不衰减、形成p-n结温度较低、低接触电阻、可同时作为防反射薄膜等优点。在显示器上的应用显示器件能将外界事物的光、声、电等信息，经过变换处理，以图像、图形、数码、字符等适当形式加以显示。显示技术的发展方向是平板化。在众多平板显示器中，薄膜电致发光显示由于其主动发光、全固体化、耐冲击、视角大、适用温度宽、工序简单等优点，引起广泛关注，并发展迅速。FTO薄膜具有可见光透过率高、电阻率低、较好的耐蚀性和化学稳定性，因此被广泛用作平板显示器的透明电极。在气敏元件上的应用气体传感器是把气体的物理、化学性质变换成易处理的光、电、磁等信号的转换元件。半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件，与气体相互作用时产生表面吸附或反应，引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。二氧化锡薄膜气敏器件具有灵敏度高、响应速度和恢复速度快、功耗低等特点，更重要的是容易集成。随着微电子技术的发展，传感器不断向智能化、微型化方向发展。［13］在建筑幕墙玻璃及透明视窗上的应用喷雾热解法制各的FTO薄膜能用于阳光节能玻璃，对可见光高透射，但对红外光高反射，其反射率大于70％。让阳光中可见光部分透过，而红外部分和远红外反射。阳光中的可见光部分对室内采光是必需的，但可将红外部分的热能辐射反射回去，能有效调节太阳光的入射和反射。利用FTO薄膜在可见光区的高透射性和对红外光的高反射性，可作为玻璃的防雾和防冰霜薄膜。 FTO透明导电玻璃的发展趋势随着LCD的商品化、彩色化、大型化和TFT的驱动或太阳能电池的能量转变效率的提高，人们对透明导电氧化物（TCO）薄膜的要求越来越严格，至少需要满足如下条件：(1)导电性能好，电阻率较低；(2)可见光内透光率较高：(3)镀膜温度更接近室温，能大面积均匀地镀膜；(4)膜层加工性能好，可以进行高精度低损伤腐蚀；(5)热稳定性及耐酸、碱性优良，硬度高；(6)表面形状良好，没有针孔；(7)价格较低，可实现大规模工业化生产。目前，TCO薄膜已普遍达到下列水平：膜厚为500 nm的情况下电阻率在10-4 Ω•cm数量级，在可见光区透光率达80％，载流子迁移率一般达到40cm2／(v•s)。虽然TCO薄膜的性能指标可以满足当前应用需要，但随着器件性能的不断提升，对TCO薄膜提出了更高的性能要求。一些学者提出了TCO薄膜发展的一个量化的前景指标：禁带宽度>3 eV，直流电阻率～5×10-5 Ω•cm，可见光段在自由电子作用下的吸收系数<2x103 cm-1，载流子迁移率>100 cm2／(v•s)。几十年来，人们一直在努力提高透明导电薄膜的透明性和导电性。SnO2：F（TFO）透明导电薄膜由于其兼备低电阻，高的可见光透过率，近红外高的反射率，优良的膜强度和化学稳定性等优点，越来越受到人们的青睐，必将在平板显示器件、建筑物玻璃和气敏传感器等众多领域中得到更广泛的应用。利用溅射法制备FTO透明导电玻璃它的生产工艺简单，操作方便，利于控制。成本较低，原料易得，但在制备过程中NH4F加热分解放出有污染的氮氧化物和氨烟，这对以后商业化生产造成了很大的制约。所以对原料的改进和污染的控制方面还有待开发。4 制备条件对膜结构及光电性能的影响长安大学材料科学与工程学院段理等做了磁控溅射制备银掺杂ZnO薄膜结构及光电性质研究实验，发表了文献［14］，并在文献14中得出了——的结论。制备条件对膜厚的影响文献中采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了银掺杂ZnO薄膜，当薄膜淀积时间从30rain延长到90min时，薄膜的厚度几乎按照线性关系从约270nm增加到820nm，即薄膜的淀积速率大致稳定在9nm／min左右，为匀速生长。溅射功率与膜厚呈线性增长，及沉淀速率与溅射功率大致呈线性关系。制备条件对膜结构的影响晶体质量随溅射功率的增大而降低，随溅射气压的增大而降低。制备条件对膜光电性质的影响在固定溅射总气压的条件下，增大氧分压可以增强薄膜的紫外发光强度，增大薄膜的载流子浓度。 退火对薄膜的影响退火能显著提高薄膜晶体质量，并增强薄膜的PL发光强度和导电能力，其原因是退火能使银离子完成对锌离子的替代从而形成受主。［15］5 退火后处理对膜结构与成分的影响光敏薄膜的光电、形貌性能与退火处理密切相关，退火处理优化了薄膜表面形貌、减小了光学能隙、增大了薄膜的导电率和载流子迁移率。光敏薄膜性能的优化，有利于增大聚合物太阳电池的填充因子、开路电压和短路电流，对于提高其能量转换效率、改善器件光伏性能具有非常重要的意义。［16］分别对较低氧分压反应磁控溅射制备的 薄膜进行氧化性气氛和惰性气氛退火。通过XRD和SEM 分析，发现氧化性气氛退火薄膜为表面多孔的金红石结构 ，而惰性气氛退火薄膜表面较为致密，结构分析不仅观察到金红石结构的 ，还发现了四方结构的 。XPS表面分析进一步表明，氧化性气氛退火后，薄膜成分单一，未氧化的 完全氧化成稳定的 ，而且具有稳定结构的 薄膜表面吸附水很少。相对而言，惰性气氛退火后，薄膜表面 、 和 共存，表面化学吸附氧和吸附水较明显，薄膜的稳定性降低。［17］6 FTO导电玻璃制备相关参数根据范志新等所提出的理论表达式： 带入相关数据可得到，SnO2:F（FTO）的最佳掺杂含量为［18］通过对比总结，参考大量数据，选择溅射功率：100W，溅射压力：5Pa，溅射时间：，溅射靶距：38mm［13、19］做产品。进行相关参数的选择与优化。7 参考文献1、张志海， 热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 合肥工业大学2、汪振东， 玻璃基TiO<,2>-SiO<,2>/SnO<,2>：F薄膜的喷雾热分解法制备和表征 武汉理工大学3、郝喜红， 喷雾热解法制备掺杂二氧化锡导电薄膜 西安建筑科技大学4、张明福等， 透明导电氧化物薄膜研究的新进展 压电与声光5、方俊 杨万莉， n型透明导电氧化物薄膜的研究新进展 陶瓷6、苗莉等， SnO2:F导电薄膜的制备方法和性能表征 材料导报7、Yadav A A，Masumdar E U，Moholkar A V，et a1．Effect of quantity of spraying solution on the properties of spray deposited fluorine doped tin oxide thin films[J]．Physiea B：Condensed Matter，2009，404(12—13)：1874 - 1877．8、Moholkar A V，Pawar S M，Rajpure K Y，et 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广西师范大学学报（自然科学版）