申请上海交通大学工学博士学位论文大型非球面超精密光学磨床设计关键技术研究博士生：洪海波业：机械电子工程上海交通大学机器人研究所2016DissertationSubmittedShanghaiJiaoTongUniversityDoctor’sDegreePhilosophyResearch...
300mm硅片超精密磨床设计与开发.【摘要】：硅片的超精密磨削技术主要用于硅片中的硅片平整化和IC后道制程中的背面减薄。.随着硅片直径的增大和厚度的减小,硅片超精密磨削技术及设备面临新的挑战：大的进给速度调速范围和高的进给稳定性,对磨床进...
超精密磨床监控系统的设计与开发.李伟健.【摘要】：硅片超精密磨床是半导体集成电路(IC)制造中的关键设备,主要应用在大直径硅片制造和背面减薄中。.在硅片超精密磨削中,为提高硅片的磨削精度,对磨削的过程进行动态监控是硅片超精密...
1.2磨床的现状及其发展趋势随着机械产品精度、可靠性和寿命的要求不断提高以及新型材料的应用增多，磨削技术正朝着超硬度磨料磨具、开发精密及超精密磨削（从微米、亚微米磨削向纳米磨削发展）和研制高精度、高刚度、多轴的自动化磨床等方向
目的利用ELID磨削技术对ZGMn13Cr2高锰钢进行精密超精密镜面磨削试验研究,解决其性能差的问题,以提升表面质量,采用二次回归通用旋转设计试验,探究不同试验因素对ZGMn13Cr2高锰钢表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进行
论文主要围绕平面和球面模具的超精密磨削工艺进行以下研究工作：(1)从现有的硬脆材料理论和相关背景出发,总结了硬脆材料现有技术的不足,并探讨和分析了成型砂轮斜轴磨削球面的方法；(2)根据硬脆材料的特殊性能,对其进行超精密磨削,变...
但是,现阶段我国在五轴联动超精密机床结构设计、运动控制、装配调试等方面都未成熟,研制水平有待提升,又要面临国外技术等问题。本课题为解决硬脆材料光学元件问题,开展了五轴联动超精密磨床结构设计与分析研究,选择液体静压丝杠作为直线运动系统的驱动装置,搭建实验平台开展...
超精密磨床气体静压主轴静动态特性研究.超精密技术是一项新兴的多学科交叉的技术,其发达程度影响着一系列军用和民用工业的发展水平,牵动着国家战略安全和国民经济增长。.而超精密设备作为超精密产品的母机,是超精密技术的直接实现者...
组合机床与自动化技术杂志2019年第2期超精密磨床多信号监测系统的设计与实现用户：朱小俊2021-03-11上传侵权/申诉导语本论文发表于组合机床与自动化技术杂志，属于工业相关论文范文材料。仅供大家论文写作参考。...
（5）设计硅片超精密磨床的精密空气电主轴的结构，为硅片超精密磨床的设计制造提供基础。（6）作者在硕十研究生期间，还完成了另一课题——人型轧辊磨床：I：ft：土轴的动态特性分析，将这部分内容作为第五章，一并写入论文。
超精密磨床645工作面修整轮型镀轮修整轮直径修整轮转速供给速度为首先磨削进给速度第二磨削进给速度共有深度砂轮转速表1.修整参数ZD107N200g1...
硅片超精密磨床的发展现状董志刚,田业冰,康仁科,郭东明,金洙吉(大连理工大学精密与特种教育部重点实验室辽宁大连116024)摘要:硅片超...硅片超...
超精密进给系统及其在磨床上的应用研究摘要磨床进给系统的爬行和频响问题是影响工件质量的关键问题之一。本文以上海科技攻关项目“面向精密磨床的压电驱...
纳米级超精密车床工程化研究;超精密磨床研究;关键基础件,如轴系、导轨副、数控伺服系统、微位移装置等研究;超精密机床总成制造技术研究。(3)超精密刀具...
《精密数控磨床的总体设计》-毕业论文(设计).doc,PAGE摘要本课题是集机,电,液一体化的高科技项目,所要解决的关键问题是主轴箱上两个同轴轴承孔的超精密。...
面向大尺寸薄硅片的超精密磨削技术及设备的需求,针对表面质量和磨削效率这对突出矛盾问题,以提高硅片表面质量、面型精度和效率为目的,作者深入研究了精密进给、面型控制...
精密和超精密论文.doc,精密和超精密技术【摘要】本世纪的精密发展到超精密历程比较复杂且难度大,目前超精密日趋成熟,已形成系列,它包括...
《【毕业论文】精密磨床-工作台纵向进给系统毕业设计说明书.doc》由会员分享,可免费在线阅读全文,更多与《(终稿)【毕业论文】精密磨床-工作台纵向进给系统毕业...
机械毕业设计论文课程设计摘要精密数控磨床的磨头设计目录摘要10引言20.1国内数控机床的现状20.2国外超精密的发展趋势30.3本课题研究方向41...
基于PMAC的超精密磨床开放式数控系统的研究(期刊论文),数控平面磨床,数控磨床,数控磨床进口,磨床精密工具,数控万能工具磨床,高精密磨床,二手数控磨床,数控...