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大连理工大学博士学位论文单晶硅片超精密磨削表面层损伤的研究姓名:张银霞申请学位级别:博士专业:机械制造及其自动化指导教师:康仁科20060601大连理工大学博士学位论文单晶硅片是集成电路(IC)制造过程中最常用的衬底材料,硅片的表面层质量直接影响着器件的性能、成品率...
超精密技术论文.doc,超精密技术简介论文学校:XXXXX学院:XXXX班级:XXXXX专业:XXXXX姓名:XXXX学号:XXXX指导教师:XXX目录目录-II-一、概述-1-1、超精密的内涵-1-2.、发展超精密技术的重要性-1-二、超精密...
精密超精密技术论文班级:机械09-4姓名:侯艳飞学号:20091058精密超精密技术的发展,直接影响到一个国家尖端技术和国防工业的发展,因此世界各国对此都极为重视,投入很大力量进行研究开发,同时实行技术保密,控制关键技术及设备出口。
超精密切削、磨削技术能有效提高效率,CMP、EEM技术能够保证精度,而半固着磨粒方法及电解磁力研磨、磁流变磨料流等复合方法由于能兼顾效率与精度的方法,成为超精密的趋势。
目的利用ELID磨削技术对ZGMn13Cr2高锰钢进行精密超精密镜面磨削试验研究,解决其性能差的问题,以提升表面质量,采用二次回归通用旋转设计试验,探究不同试验因素对ZGMn13Cr2高锰钢表面质量的影响规律,并对各因素工艺参数进行
硅晶片的超精密经过上述过程所形成的硅晶片其平面度小于但还需进一步以提高其平面度和降低表面粗糙度。.其主要过程为粗磨一精磨一化学刻蚀一抛光一电路层制作一背面磨削一切割成小块。.超精密切削的研究现状单点金刚石切削。.单点金刚石...
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超精密技术的发展与展望精密与特种技术结课论文题目:超精密技术的发展与展望指导教师:沈浩学院:机电工程学院专业:机械工程姓名:学号:超精密技术的发展与展望摘要:超精密是多种技术综合的一种技术,是获得高形状精度.表面精度和表面完整性的必要...
精密和超精密砂带磨削精密砂带磨削:砂带粒度W28~W63,精度1μm,Ra0.025μm;超精密砂带磨削:砂带粒度W28~W63,精度0.1μm,Ra0.0025~0.008μm。20...
郑州工业安全职业学院毕业论文题目:磨削技术及精密、超精密姓08机电二班指导教师:1第一章磨削理论的研第一节磨削机理第二节表面完整性2第二章砂带磨...
超精密论文精密论文运用于超精密上的开放式数控系统摘要:数控技术经过多年的发展已日益成熟,开放性数控系统技术的进取将取代以往专用数控系统的...
《中国职协2014年度优秀科研成果获奖论文集(中册)》2014年收藏|手机打开ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密中的应用分析周霞瑜洪文仪【摘要】:硬脆材料带有偏大的...
(6)根据被件的材料和形面的不同,常用的超精密工艺方法主要分三大类:切削法、磨削(含研、抛)法和电物理法。三、切削法切削法主...
超精密切削-3-1、超精密切削对•***的要求-3-2、金刚石***的性能特征・3.3、超精密切削时的最小切削厚度-3-四、超精密磨削-4-1、超精密磨削...
【摘要】:正第四届中—日超精密技术学术研讨会于1992年11月3日至6日在日本举行。会上共宣读讨论论文41篇,其中关于磨削方面的文章13篇,按会议发言顺序综述如下:“树...
第四届中—日超精密技术学术研讨会于1992年11月3日至6日在日本举行.会上共宣读讨论论文41篇,其中关于磨削方面的文章13篇,按会议发言顺序综述如下:"树脂结合剂CBN砂...
然而传统的方法已经满足不了石英玻璃的应用要求,超精密磨削具有精度高、表面质量好、亚表面损伤小、效率高和成本低等优势,越来越多的应用到光学硬脆材料领域...
导读:关于免费磨削论文范文在这里免费下载与阅读,为您的磨削相关论文写作提供资料。文/高彤在科学的道路上没有平坦的论文范文,只有不畏劳苦沿着陡峭...