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MEMS频率器件技术发展综述中兴通讯公司杜良桢作者简介：杜良桢，现任中兴通讯公司材料委员会专家。1967年毕业于天津大学精密仪器专业。主要从事光纤通信、时间与频率器件以及微机电系统（MEMS）技术开发与应用研究。曾获省部级科技进步...
MEMS文献综述报告.doc,微机电系统（MEMS）的主要工艺姓名：曹光浦班级：02321202学号：1120120403指导老师：何光前言微电子机械系统（MEMS）的出现，极大地扩展了微电子领域的研究空间。从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型...
1陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年2张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年3陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A...
半导体所等发表《红外光电探测技术研究现状及展望》综述论文MEMS2021-10-1700:00241浏览0评论0点赞红外光电探测器是红外产业链的核心，其最早应用于军事领域，如今在现代战争中仍是重要战略手段。随着红外探测技术的逐渐成熟，适用于...
MEMS陀螺仪发展综述和技术研究.ppt,MEMS陀螺仪发展综述及技术研究12MEMS陀螺仪研究背景MEMS陀螺仪基本知识目录31、MEMS陀螺仪研究背景MEMS陀螺仪应用领域MEMS陀螺仪国外研究现状MEMS陀螺仪基本概念MEMS陀螺仪国内...
微机械加速度计的研究现状综述.张霞.【摘要】：随着微机械技术的不断进步以及微机械加速度计市场占有率的逐步扩大,各种类型的微机械加速度计层出不穷,其中以电容检测式微机械加速度计发展的最为迅速且产业化水平最高,其次是压阻式、压电式、热...
MEMS技术很容易将气敏元件和温度探测元件制作在一起，保证气体传感器优良性能的发挥。谐振式气敏传感器不需要对器件进行加热，且输出信号为频率量，是硅微气敏传感器发展的重要方向之一。北京大学微电子所提出的1种微结构气体传感器...
鬼斧神工的MEMS，10种主流MEMS器件原理全解析.MEMS（MicroElectroMechanicalSystem，微机电系统），也叫做微电子机械系统，指采用微米甚至纳米工艺制造的微型智能化机电系统。.MEMS是在微电子技术基础上发展起来的，工艺基础也是微电子常用的光刻技术，并融合硅...
我国MEMS传感器发展现状与趋势剖析.MEMS传感器即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems）在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。.经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。.随着物联网时代的逐步到来，传感器现正被广泛...
摘要：随着MEMS技术的快速发展,惯性器件微陀螺得到了广泛的发展和应用.MEMS陀螺具有体积小,重量轻,成本低和可批量生产等独特优点,在军事领域有着广阔的发展和应用前景,受到了各军事强国的青睐.本文对MEMS陀螺的军事需求进行了初步介绍,重点针对国内外典型MEMS陀螺器件的结构形式,基本原理,优...
1,序MEMS英语全称为MicroElectroMechanicalSystem,即微电子机械系统.半导体微电子系统,集成电路IC系统和超大规模集成电路系统国际上发展得很快,工艺相对来讲已很成...
2005年上海市电镀与表面精饰学术年会论文集微电子机械系统(MEMS)综述吴茂钧黄锦斐(复旦大学化学系,上海200433)1、序(5)微电子系统已不再限于以前的单一的...
【摘要】:随着MEMS(MicroElectro-MechanicalSystem),即微电子机械系统的技术发展与商用化的进程,其制造中的良品率问题日益严峻,可制造性设计(DFM)的必要性凸显。在MEMS器件...
SIP是使用成熟的组装和互连技术,把各种集成电路如CMOS电路、GaAs电路、SiGe电路或者光电子器件、MEMS器件以及各类无源元件如电容、电感等集成到一个封装体内,...
《中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集》2003年收藏|手机打开手机客户端打开本文材料微细技术及其在MEMS元器件中的应用李敬锋【摘要】:正综述近年来与微机电...
随着MEMS器件的广泛研究和快速进步,非硅基材料被广泛用于MEMS器件中.键合技术成为MEMS器件制作、组装和封装的关键性技术之一,它不仅可以降低工艺的复杂性,而且...
:在综合分析国内外含能薄膜相关文献的基础上,认为金属复合含能薄膜桥、含能半导体桥及纳米多孔硅/氧化剂复合薄膜制作工艺与微机电系统(器件技术具有良好的兼容性,在此基...
SIP是使用成熟的组装和互连技术,把各种集成电路如CMOS电路、GaAs电路、SiGe电路或者光电子器件、MEMS器件以及各类无源元件如电容、电感等集成到一个封装体内,实...
通常,微机电系统(MEMS)是指微型化的器件或器件组合,把电子功能与机械、光学或者其他功能相结合的综合集成系统。MEMS技术具有小尺寸(miniaturization)、多样化(mu...