微机电系统（MEMS）毕业论文.摘要微机电系统（MicroElectro-MechanicalSystem,MEMS）技术是一门新兴的技术,具有非常广阔的应用前景。近年来,MEMS技术越来越受到世界各国的重视。.微电子加速度计是MEMS技术的一个重要应用领域，是微机械技术中的一类有代表性...
MEMS晶圆级封装工艺研究ProcessStudyMEMSWaferLevelPackaging学科专业：仪器科学与技术教授天津大学精密仪器与光电子工程学院二零一二年十二月独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究...
MEMS器件设计、封装工艺及应用研究（专业）物理电子学。声明：知识水坝论文均为可编辑的文本格式PDF，请放心下载使用。需要DOC格式请发豆丁站内信。
南京理工大学硕士学位论文MEMS安全系统基本问题研究姓名：张昊申请学位级别：硕士专业：机械电子工程指导教师：席占稳20080521硕士论文MEMS安全系统基本问题研究MEMS微型化、大批量、微电子和微机械结合的特点能够大幅度提高引信的性能，但是要真正在引信中应用面临许多问…
微机电系统(MEMS)研究现状及展望-主要综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状,分析了存在问题。提出了今后的研...
MEMS压力传感器的设计及关键工艺技术研究技术,设计,研究,MEMS,工艺研究,压力传感器,关键技术,设计及,工艺技术,MEMS的厦门大学学位论文原创性声明本人呈交的学位论文是本人在导师指导下，完成的研究成果。
中国科学院电子学研究所博士学位论文基于MEMS技术的微型泵的研究姓名：赵强申请学位级别：博士专业：物理电子学指导教师：崔大付20040601摘要摘要在微流量控制系统中，微型泵作为核心的控制元件，在医学、化学、生物工程和电子工程...
基于MEMS的地震检波器研究和设计1．4本论文研究内容和意义本论文结构安排如下：第一章，介绍了MEMS传感器国内外研究现状和发展前景，提出了本课题的研究内容和研究意义；第二章，简要说明了地震检波器的分类方式，主要介绍了常规、超级
zno压电材料在mems器件中应用的研究论文.摘要摘要采用氧化锌压电薄膜制作的微悬臂梁，既可以作为微型执行器，也可以作为微型传感器。.采用氧化锌纳米棒制作的纳米谐振器，以其超小的体积与质量及超低的功耗，可以具有超高的灵敏度。.研究氧化锌压电...
【摘要】：随着电子系统对高性能、小型化器件需求的逐步增长,MEMS振荡器凭借其高Q值、易集成、抗冲击等优异性能成为研究热点。本文旨在探究高频MEMS振荡器的性能,而谐振器作为振荡器的核心部件,自然成为研究的重点。文中设计了一种新型的带有可动电极的10MHzMEMS方块谐振器。
河南大学物理与电子学院本科毕业论文MEMS研究毕业论文目录摘要10前言11MEMS的基础理论211MEMS概述212MEMS的发展历程32MEMS技术简介421...
越皇圣堂皇豳佳皇圣堂中匿惠京东南大学电子工程系2005年3月翻论文精选摘要随着微电子机械系统技术的飞速发展,由于MEMS器件在国防和民用领域有着广泛的...
本论文在分析常见工艺偏差形式的基础上,研究了这些偏差对器件性能的影响并进行了大量的分析计算,对有关计算理论提出了修正。论文工作为进一步开展MEMS可制造性设计建立了基础...
由于绝大部分的MEMS产品是基于硅片的微技术产品,MEMS封装技术最早是在微电子封装的基础之上发展起来,但是MEMS的封装并不是微电子封装的延伸,集成电路(IC)封...