华中科技大学博士学位论文磁控溅射氮化铜薄膜研究姓名：李兴鳌申请学位级别：博士专业：材料物理与化学指导教师：刘祖黎20070126本文全面系统的研究了沉积条件对直流磁控溅射氮化铜薄膜的结构和性能的影响，以及金属铝、铁、镧掺杂对直流磁控溅射氮化铜薄膜的结构和性能...
与Cu_3N薄膜比较,Al_xCu_3N薄膜的电阻率降低了,显微硬度增加了。铝掺杂既改变了氮化铜薄膜的结构,又改变了氮化铜薄膜的电学特性,还提高了薄膜的质量。(7)用磁控双靶反应共溅射了镧掺杂氮化铜薄膜,研究了掺杂镧原子的多少对氮化铜薄膜结构和性能的
磁控溅射氮化铜薄膜及其掺杂研究.白秋飞.【摘要】：Cu_3N薄膜是一种以共价键结合的亚稳态半导体材料,具有热分解温度低、电阻率高、在红外和可见光波段反射率低等特点,成为近年来光存储和微电子半导体等领域中备受瞩目的新型应用材料。.Cu_3N晶体为...
磁控溅射氮化铜及锰掺杂氮化铜薄膜的分析-analysisofpreparationofcoppernitrideandmanganese-dopedcoppernitridefilmsbymagnetronsputtering.docx,AbstractCoppernitridefilmhasagoodpropertyofphotoelectric,suchasthelow...
摘要：氮化铜薄膜是一种亚稳半导体材料，具有特殊的反三氧化铼(ReO3)结构的3d型过渡金属氧化物，即晶体中的铜原子未能紧密占据(111)面的密堆积位置，因此可以通过掺杂，如将其它原子(如铜、钯等原子)填充至晶体空位，使薄膜的电学、光学等性质发生极大的变化。
9、氮化铜薄膜及其钨掺杂的结构与性能研究，王海文，硕士论文，大连理工大学10、氮化铜薄膜的掺杂研究及进展，李晓峰，广州化工，201311、射频反应磁控溅射氮化铜（Cu3N）薄膜及其性能研究，袁晓梅，硕士论文，兰州大学12、氮化铜薄膜作为锂
论文|CuO/SiO_2纳米复合薄膜的和特性研究论文|Al/AlN纳米多层膜及氮化铜光记录薄膜材料的与性能研究论文|射频磁控溅射法沉积氮化铜纳米薄膜及PLZT薄膜论文|钕铁硼烧结磁体的化学镀表面防护处理研究会议|Ar对柱状靶
氮化钽金属薄膜干法刻蚀研究研究,金属,薄膜,氮化钽,薄膜研究,干法刻蚀,金属研究...在铜膜镀完之后，需要C入4P对表面进行平坦化，使表面的铜被去除，之后，再继续研磨掉表面的T本身不需要图形化，而是与铜膜一起，镶嵌入介质中己...
大马士革铜阻挡氮化硅薄膜沉积工艺优化研究.pdf5页内容提供方：jackzjh大小：352.44KB字数：约1.24万字发布时间：2017-06-29浏览人气：10下载次数：仅上传者可见收藏次数：0需要金…
【摘要】：采用不同的溅射工艺参数及基片材料了铜薄膜,用划痕法测试了薄膜结合强度,研究了溅射功率、溅射气压、溅射时间、基片温度及基片材料对铜薄膜结合强度的影响。结果表明,在功率85W,溅射气压1.5Pa,时间30min,基片温度150℃的条件下,薄膜结合强度为26.9N。
探针仪测得的掺铁cuN薄膜的电阻率相对高,这是因为氮化铁的电阻率较高”,掺铁氮化铜薄膜的电阻率增加。J.F.Pierson15j采用磁控溅射对鲰一cu—...
【摘要】:氮化铜薄膜是一种亚稳态的半导体材料,它是以共价键结合的,它的晶体是反三氧化铼型简立方的结构,氮化铜薄膜还具有较好的光电性能,它具有低温热分解的特性、较高的电...
掺杂后的氮化铜薄膜Cu-X-N(X=Al、Fe和La)的电阻率比未掺杂的氮化铜薄膜的电阻率略有增加,但是不同的金属掺杂,电阻率增加不同。本论文经过全面系统的实验研究得到,在我们的...
【物理论文】氮化铜薄膜及其钨掺杂的结构与性能研究,氮化钨,氮化硅薄膜,叠氮化钠,氮化硅,氮化硼,氮化镁,氮化铝,氮化处理,氮化钛文档格式:.pdf文档页数:60页...
华中科技大学博士学位论文磁控溅射氮化铜薄膜研究姓名:李兴鳌申请学位级别:博士专业:材料物理与化学指导教师:刘祖黎20070126本文全面系统的研究了沉...
论文查重开题分析单篇购买文献互助用户中心氮化铜薄膜的及其物理性能来自知网喜欢0阅读量:74作者:岳光辉,闫鹏勋展开摘要:氮化铜薄...
主题:氮化铜薄膜直流磁控溅射X射线衍射X射线光电子能谱摘要:采用反应直流磁控溅射的方法在室温下,在玻璃基底上成功了多晶氮化铜(Cu3N)薄膜.XRD显示薄膜是择优生长取...
万方数据南京邮电大学硕士研究生学位论文第一章绪论氮化铜薄膜应用氮化铜的应用探索起步于上世纪末,Asano等[,]对其应用前景进行了探讨,他们使用激光二极管在氮...
氮化铜薄膜的及性能研究课程学习教学资源教师信息教师姓名:肖剑荣所属院系:理学院个人简介:1、基本情况肖剑荣,男,湖南洞口人,博士(后),教授,硕士生导师。中国...
【2017年整理】氮化铜薄膜的研究.pdf,氮化铜薄膜的研究/肖剑荣等·115·氮化铜薄膜的研究肖剑荣,蒋爱华(桂林理工大学理学院,桂林541O04)摘要氮化铜(C...