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浙江大学硕士学位论文玻璃基氮氧化硅薄膜形成机制与性能研究姓名孟祥森申请学位级别硕士专业材料学指导教师杨辉200031浙江大学硕士学位论文，化硅薄膜为三维成核，沉积速率与温度、气体流量之间有密切关系。纽积速率随温度的升高有所增加，但并不成线性关系；在NHJSIH20／1，混合茂体流量为...
氮氧化硅薄膜的光学特性及其在光波导中的应用.但亚平岳瑞峰王燕刘理天.【摘要】：氮氧化硅(SiO_xN_y)有许多优良的特性,特别是其折射率可调、击穿电场高,因而在光学器件和深亚微米MOS技术方面有广阔的应用前景。.本文重点介绍SiON的光学特性及其在光...
氮化硅薄膜在很多领域得到了广泛的应用，其可以作为氧化掩膜、保护钝化层、栅极绝缘层、腐蚀停止层和层问绝缘体。.本论文采用射频磁控溅射法，靶材是纯度为99．99％的硅靶，基底为普通载玻片，工作气体采用纯度为99．999％的氩气和氮气。.使用x射线...
浙江大学硕十论文姚日英PEcVD沉积的氮化硅薄膜热处理性质研究摘要氮化硅薄膜是一种多功能材料，在许多领域有着广泛的运用：在微电子材料及器件生产中，氮化硅作为钝化膜、绝缘层和扩散掩膜：硅基太阳能电池中，氮化硅用作钝化膜和减反射膜；在硅基发光材料中作为硅纳米团簇的包埋母体...
（凝聚态物理专业优秀论文）氮化硅薄膜的光吸收及光致发光性质研究凝聚态物理学（CONDENSEDMATTERPHYSICS）是从微观角度出发，研究由大量粒子（原子、分子、离子、电子）组成的凝聚态的结构、动力学过程及其与宏观物理性质之间的联系的一门学科。凝聚态物理是以固体物理为基础的外向延拓...
PECVD氮化硅薄膜的研究进展毕业设计（论文）（2013届）题目PECVD氮化硅薄膜的研究进展学号1003020147姓名钟建斌所属系新能源科学与工程学院专业材料及技术应用班级10材料（1）班指导教师胡耐根新余学院...
富硅氮化硅薄膜的及其发光特性.材料、结构及工艺富硅氮化硅薄膜的及其发光特性华侨大学信息科学与工程学院,福建泉州362021中国科学院半导体研究所,北京100083)射线衍射谱(XRD)、红外光EDS)和光致发光谱(PL),通过与氮气中和空气中退火薄膜比较...
蓝宝石和硅基底氧化锌薄膜的光学性质研究-光学专业毕业论文.docx,锌薄膜在相应温度下ZnO／sap的内量子效率高于ZnO／Si。对325nm激发的锌薄膜在相应温度下ZnO／sap的内量子效率高于ZnO／Si。对325nm激发的变温PL光谱的高斯拟合，确定...
PECVD氮化硅薄膜的研究进展毕业设计（论文）（2013届）题目PECVD氮化硅薄膜的研究进展学号1003020147姓名钟建斌所属系新能源科学与工程学院专业材料及技术应用班级10材料（1）班指导教师胡耐根新余学院教务处制...
3北京市科技新星计划资助项目H020821480130收稿日期2003211206PECVD沉积氮化硅薄膜在退火过程中的特性变化及在太阳电池中的应用3叶小琴1许颖2李艳1顾雅华1周宏余1王文静21北京师范大学...
内容提示:人连理大学硕士学位论文摘要氮化硅薄膜具有高的化学稳定性、高电阻率、绝缘性好、硬度高、光学性能良好等特性在半导体器件、微电子工业、光电子工...
内容提示:·110·材料导报:综述篇2009年11月(上)第23卷第11期氮氧化硅薄膜的研究进展。张宗波1’2,罗永明1,徐彩虹1(1中国科学院化学研究所,北京100190t2中国...
【摘要】:氮氧化硅薄膜综合了SiO2膜和Si3N4膜的优点,具有优秀的光电性能,力学性能和稳定性能,已经在光电领域获得了广泛地应用,此外在材料改性方面也有广阔的应用前景。本文综...
氮氧化硅薄膜综合了SiO2膜和Si3N4膜的优点,具有优秀的光电性能,力学性能和稳定性能,已经在光电领域获得了广泛地应用,此外在材料改性方面也有广阔的应用前景.本文综合评述了几...
氮化硅薄膜在很多领域得到了广泛的应用,其可以作为氧化掩膜、保护钝化层、栅极绝缘层、腐蚀停止层和层问绝缘体。本论文采用射频磁控溅射法,靶材是纯度为99.99%...
第32卷第10期2011年10月兵工学报.1Vol3NO0_2ACTAARMAMENTARII0c.t2011氮氧化硅薄膜红外吸收特性的研究周J,刘卫国蔡长龙一顷一,,刘欢...
氮氧化硅薄膜的光学特性及其光波导中的应用.pdf,氮氧化硅薄膜的光学特性及其在光波导中的应用但亚乎岳瑞峰王燕刘理天(清华大学徽电子研究所.北京100084)■要...
【摘要】:氮化硅薄膜具有高的化学稳定性、高电阻率、绝缘性好、硬度高、光学性能良好等特性,在半导体器件、微电子工业、光电子工业、太阳能电池等方有广泛的应用。近年...
【摘要】:氮氧化硅(SiO_xN_y)有许多优良的特性,特别是其折射率可调、击穿电场高,因而在光学器件和深亚微米MOS技术方面有广阔的应用前景。本文重点介绍SiON的光学特性及其在光...
由于薄膜材料带隙大因此它可以用作光波导材料在蓝宝石衬底上溅射的薄膜激光器的模式而在氧化硅衬底上溅射的薄膜经过激光退火处理其被导光波的损耗可以减...