多晶硅薄膜工艺及其的应用发展.doc,多晶硅薄膜工艺及其的应用发展摘要：多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低，效率稳定性好、光电转换效率高，多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件的制造，其用途...
由于多晶硅薄膜同时具有单晶硅材料高迁移率及非晶硅材料可大面积、低成本的优点因此多晶硅薄膜在大面积微电子器件及大面积低成本薄膜太阳能电池等方面有着越来越重要的应用价值。.文章结合国内外多晶硅薄膜材料及其器件的研究动态综述...
李海博++尹延昭++郑丽摘要：多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低，效率稳定性好、光电转换效率高，多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用于各种微电子器件
APCVD法多晶硅薄膜的及其性能研究.摘要摘要多晶硅薄膜作为一类新型半导体材料，具有较高的光吸收率及光电导等优异性能，同时还兼有单晶硅材料高迁移率及非晶硅材料可大面积、低成本的优点。.目前已被广泛应用于一些半导体器件和集成电路中...
多晶硅薄膜的方文.doc,多晶硅薄膜的方文摘要：低压化学气相沉积、固相晶化、准分子激光晶化、快速热退火、金属诱导晶化、等离子体增强化学反应气相沉积等是目前用于多晶硅薄膜的几种主要方法。它们具有各自不同的原理、晶化机理、及其优缺点。
多晶硅薄膜太阳能电池材料及其技术研究进展评述1前言1.1研究背景近年来，随着可持续发展，环境保护等观念的深入人心，以及常规化石能源的日渐枯竭，太阳能的光伏应用已给我们展示了非常广阔的前景。因此，可将太阳能转化为电能的太阳能电池的研制和发展，正日益引起关注硅...
毕业论文。西门子，多晶硅，生产及发展！前景频道豆丁首页社区企业工具创业微案例会议热门频道...11级材料3学生姓名：郭永康光伏材料系指导教师：2013年101.1多晶硅的应用1.2多晶硅在我国的发展1.3全球多晶硅的...
PECVD法多晶硅薄膜课件.ppt,毕业论文题目PECVD法多晶硅薄膜研究总纲1太阳能光伏行业2太阳能电池3论文主要任务4...
多晶硅太阳能电池工艺16参考文献单晶硅太阳能电池生产工艺的研究：[硕士学位论文].长沙：湖南大学微纳光电器件及应用教育部重点实验室，2010刘志刚.多晶硅太阳电池新腐蚀液的研究及其应用：[博士学位论文].
【优秀论文】薄膜太阳能电池的应用、类型及发展方向2019-03-1816:30来源:仰山智库编者按：2018年10月8日至15日，第四届军民融合发展高技术装备成果展览暨论坛活动在北京成功举办。为配合本次活动，主办方组织开展了“第四届军民融合发展高...
摘要:低压化学气相沉积、固相晶化、准分子激光晶化、快速热退火、金属诱导晶化、等离子体增强化学反应气相沉积等是目前用于多晶硅薄膜的几种主要方法。它们...
摘要:多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低,效率稳定性好、光电转换效率高,多晶硅薄膜的研究备受关注。目前多晶硅薄膜已广泛地用...
科学技术的快速发展,使得多晶硅薄膜的制作工艺得到了完善优化,并且,多晶硅薄膜也已经得到了广泛的应用.本文介绍了结合现有工艺条件制作多晶硅纳米薄膜的多种工艺方法,细致研...
内容提示:多晶硅薄膜工艺及其应用发展摘要:多晶硅薄膜在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于多晶硅生产成本低,效率稳定性好、光电转换...
科技论坛近年来,由于多晶硅具有生产成本低,效率稳定性好、光电转换效率高等优点,在一些半导体器件及集成电路中得到了广泛的应用。由于其实用价值,对多晶硅薄...
王阳元等.多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用.科学出版社.2001王阳元,TI卡明斯,赵宝瑛.多晶硅薄膜及其在集成电路中的应用[M].北京:科学出版社,2001.王阳元,T.I.卡明斯,赵宝...
微电子学与固体电子学指导教师:秦福文20060601大连理工大学硕士学位论文多晶硅(Poly～Si)薄膜以其优异的光电性能与较低的成本在能源信息产业中,日益成...
板侨肝隔蓄恢财霉安轿论文范文题目多晶硅薄膜的方法编辑小摘要低压化学气相沉积、固相晶化、准分子激光晶化、快速热退火、金属诱导晶化、...
综述了多晶硅薄膜材料及其器件的特点、方法及研究进展。关键词:多晶硅薄膜;多晶硅薄膜器件;应用自1694年多晶硅薄膜开始在集成电路中...
多晶硅薄膜的方法的论文.doc,多晶硅薄膜的方法的论文摘要:低压化学气相沉积、固相晶化、准分子激光晶化、快速热退火、金属诱导晶化、等离子体增强化...