本论文依托现有等离子体放电系统,通过调研和材料表面处理特殊要求,分析,设计、搭建研制了新型RF等离子体放电系统,相关放电系统的研制,实现了设计思想,达到了预期目标。主要表现在：(1)搭建研制了中等磁场(～6300G)的螺旋波等离子体(HWP)放电...
容性耦合等离子体放电均匀性研究.【摘要】：低温等离子体工艺已经被广泛应用于微电子、印刷电路板封装、材料处理、航空及医学工业等工业领域。.在实际生产中,随着被处理样品尺寸的增加,等离子体应用的最大挑战就是等离子体的均匀性。.均匀的等离子...
【摘要】：本论文简要回顾了大气压放电等离子体的发展历史,介绍了大气压放电等离子体的产生方式和分类,从基础研究和应用两个不同的层面分析了大气压与低气压放电等离子体的异同点。在此基础上,就大气压放电等离子体在生物医学、环境保护、先进材料、主动流动控制以及辅助燃烧等典型...
本论文在常压下对氮气均匀介质阻挡放电的电学特性和放电等离子体的发射光谱进行了研究，取得如下主要研究成果：1．通过在电源与反应器之间配置一个并联阻抗匹配电路，使放电负载可从电源得到更多的能量，从而提高了放电效率。.利用介质阻挡平行板...
大气压放电等离子体研究进展综述.PDF,第42卷第12期：3697-3727高电压技术Vol.42,No.12:3697-37272016年12月31日HighVoltageEngineeringDecember31,2016DOI:10.13336/j.1003-6520.hve.20161128001大气压放电等离子体研究进展...
本论文的主要目的是:分别研究在以上三种放电模式下等离子体状态参数的特征,以及系统地考察由外界参数(驱动频率、工作气压、电压和极板间距等)变化引起的放电模式的转变。
放电等离子体EUV光源美国卡罗拉多州立大学（ColoradoStateUniversity）学者Rocca1988年发表论文，首次提出用毛细管放电产生软x射线或极紫外激光的台式激光器的构想。1994年，Rocca小组首次实现了毛细管放电类氖氯产生46.9nm的激光，射线...
近日，等离子体及应用专委会副主任委员、西安交通大学高压放电与等离子体团队张冠军教授在电气工程领域著名期刊IEEETransactionsonDielectricsandElectricalInsulation上发表了题为“PulsedFlashoveracrossaSolidDielectricinVacuum”的综述论文。
等离子体放电及与材料相互作用示意图鉴于等离子体放电与材料相互作用领域关键物理问题研究的挑战性与紧迫性，《物理学报》特组织“等离子体物理及其材料处理”专题，邀请国内部分活跃在该领域前沿的专家撰稿，以综述和研究论文的形式，从等离子体物理及其材料处理的角度，较全面...
摘要本文概述了2016年首届全国高电压与放电等离子体学术会议。根据会议的学术报告，结合近年来大气压低温等离子体领域中经典的综述论文，从理论研究和实际应用两方面总结和分析了大气压低温等离子体的研究现状及发展趋势。