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3、电子枪系统操作①当真空计低于6.7x10a时。可以开启电子束蒸发镀膜机,电子枪后圆圈为黑色;②开店子枪总电源。这时候柜门灯亮,同时观察上部四个灯全亮且为绿色;③开枪灯丝电源。注意观察电流至~0.5A,电压~60V,预热3到5分钟;
镀膜机按照其应用领域的不同可以分为电子枪热蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子镀膜机、射频镀膜机等,但是他们的结构都一样,以光学镀膜机为例,主要有三大部分组成:真空主体——真空腔,辅助排气系统(包括排气系统、真空测量系统)、蒸发
试验电子束蒸发镀膜试验.PDF,实验三、电子束蒸发镀膜实验一、实验目的学习并了解电子束蒸发镀膜机的工作原理掌握基本的操作步骤。二、实验基本原理将蒸发材料置于水冷坩埚中,利用电子束直接加热使蒸发材料汽化并在衬底上凝结,形成薄膜。
采用电子束蒸发,行星机构在沉积薄膜时均匀转动,各个基片在沉积Al膜时的几率均等;行星机构的聚焦点在坩埚蒸发源处,各个基片在一定真空度下沉积速率几乎相等。.采用磁控溅射镀膜方法,由于沉积电流和靶电压可以控制,也即是溅射功率可以调节并控制...
电子束蒸发镀膜机行业调研报告-市场现状分析与发展前景预测(2021-2027)电子束蒸发镀膜机市场的企业竞争态势该报告涉及的主要国际市场参与者有AppliedMaterials、Scotech、Optorun、VonArdenne、Intlvac…
电子束蒸发和磁控溅射镀膜区别?发布时间:2014-10-31浏览:11133次1.两种镀膜原理不同:电子束蒸发镀膜:利用高能电子束轰击靶材,使材料表面产生很高的温度,由固态直接升华到气态,沉积到工件表面所形成的薄膜,主要运用在...
电子枪加热蒸发源:有时很多材料不能用电阻加热的形式蒸发,例如常用于可见光和近红外光学器件镀膜的绝缘材料。在这种情况下,必须采用电子束加热方式。电子束加热所用的电子枪有多种类型可供选择。多坩埚电子枪可采用一个源对多种...
因为溶点高,蒸发太慢,而溅射的速度比蒸镀快很多。溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料。溅射不适用于非导电材料。蒸镀不能控制厚度,而溅射可以用时间控制厚度。蒸镀不适应大规模的生产。蒸镀的电子动能比溅射小很多,虽然含气量少,但是膜层易脱落。
带电子枪)使用说明书广东省肇庆振华真空机械有限公司厂址:端州一路端州科技园内电话:0光学镀膜机(带电子枪)(以下简称镀膜机)。它们主要由真空镀膜室、真空抽气机组及控制电柜三大部组成(带电子枪的另配有电子枪电源柜),广泛应用于微电子及光学成膜技术领域,在极限真空...
最近看到一篇文献用电子束蒸发设备蒸镀出线状的Ag薄膜,我也想尝试,但周围只有离子束溅射机和热蒸镀机,就用这两种设备代替,其它条件都差不多,可是怎样都做不出文献中的形貌。本来以为离子束溅射、电子束蒸发和热蒸镀只是蒸发机制不同,最终效果应该差不多,现在看来好像不是,因此...
现在,人类已经能通过特制的容器获得超高真空,同时,制作了各种仪表测量真空度,不仅如此,还制作各种设备,比如:真空镀膜机器,就是应用最广泛的仪器。镀膜机按照...
当把一些好的基板材料放在其中时,蒸发出来的原子或分子就会吸附在基板上逐渐形成一层薄膜。真空镀膜有两种方法,一是蒸发,一是溅射。在真空中把制作薄膜的材...
本蒸发源系干过由电机直接驱动、电子束偏转角为270°、用于蒸镀各种金属和非金属材料的磁偏转E型电子束蒸发装置。商品对比(0)ATTO10-E高真空电子枪镀膜系统阴极电压6KV-15KV,阴极加热电源AC3...
1.一种电子枪蒸发镀膜机,包括转台(2),蒸发组件(3),磁极(5)和真空泵(9),其特征在于:所述蒸发组件(3)与转台(2)固定连接,所述转台(2)与基座(1)可转动连接,所述转台...
背景技术对于采用电子蒸发方式的真空镀膜机,其原理是镀膜机内通过电极产生电子束打到镀膜药剂上从而使镀膜药剂蒸发附着在被镀膜产品上。对于大批量及多膜层的镀膜作业中,需要...
内容提示:蒸发镀膜系统及其电子枪的设计机械设计制造及其自动化目录摘要...IAbstract...
镀膜设%’161年生工程师2’18&年毕业于鞍山钢铁学院自动化系工程师2’18)年毕业于电子科技大学现从事专用设备的设计镀膜机基础上改进的可蒸镀各种高低...
(1)评估分析电子枪蒸发镀膜机项目是否符合国家和地方的法律、法规、规划、产业政策、行业准入条件以及相关标准、规范等的要求。(2)对电子枪蒸发镀膜机项目工艺工序以及工...
日常生活中,电子束蒸发镀膜机镀膜技术最常见应用在电子产品上面,如屏幕,手机壳,镜头,玻璃等等,具有熔点高,效率快,膜层均匀好,可镀各种膜材等优点,因此应用在电...
东莞汇驰真空制造有限公司引进母公司日本光驰的先进技术,专业生产电子束蒸发光学镀膜机.现在由汇驰小编为大家介绍一下电子束蒸发光学镀膜机的运作原理,优点及应用.光学镀膜机(一)运作原理电子...