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天津300071)摘要:综合论述了化学放大光刻胶类高分子材料,并着重介绍193nm光刻胶材料研究的最近进展关键词:光刻胶;化学放大;微版印刷术光刻胶是一种对光和射线敏感的混合高分子材料。.它通常由聚合物基质、光解产酸剂PAG(PhotoAcidGenerator)以及各种...
化学放大光刻胶高分子材料研究进展.docx,化学放大光刻胶高分子材料研究进展弘3王春伟,李,朱晓夏(南开大学高分子化学研究所,吸附分离功能高分子材料国家重点实验室,天津300071)摘要:综合论述了化学放大光刻胶类高分子材料,并着重介绍193...
高档光刻胶材料的分子结构.docx,中国感光学会成立30周年庆祝大会暨2011年学术年会论文摘要集高档光刻胶材料的分子结构许箭，陈力，田凯军，胡睿，李沙瑜，王双青，杨国强?（北京分子科学国家实验室，中国科学院化学研究所光化学重点实验室，北京100190）摘要：本文简述了光刻技术及其光刻胶...
研究者首先通过他们课题组近年开发的高活性无金属催化剂了高分子量PCHC（J.Am.Chem.Soc.,2020,142,12245），无金属催化剂的使用从源头上避免了金属离子对光刻胶品质的影响，而的高分子量聚碳酸环己撑酯又进一步提升了PCHC的光刻
光刻胶和光刻机是半导体产品制造必须打两大关键材料。光刻胶又称光致抗蚀剂(photoresist),是利用光化学反应进行图形转移的媒体,它是一类品种繁多、性能各异,应用极为广泛的精细化学品,本文主要介绍在电子工业中应用的各类光刻胶。
光刻胶又称光致抗蚀剂，是一种在光照后能具有抗蚀能力的高分子化合物，用于在半导体基件表面产生电路形状，是芯片制造的重要材料。提升光刻胶的分辨率是发展集成电路与芯片先进制造工艺的重要途径，而光刻胶的分子组成、结构形态、机械性能与其光刻分辨率密切相关。
以高分子化合物为基础的材料称之为高分子材料光能高分子材料论文。高分子材料按特性分为橡胶、纤维、塑料、高分子胶黏剂、高分子涂料和高分子基复合材料。光能高分子材料论文:什么是高分子
全光刻有机电子学关键材料！.复旦大学魏大程团队《ScienceAdvances》：研发出半导体性光刻胶.光刻是一种高精度制造技术，广泛应用于半导体行业。.基于光刻的硅基电子制造工艺已达到5纳米技术节点，单颗芯片上晶体管数量已达百亿级。.通过光刻有机...
光刻法聚合物/液晶光栅马骥;刘永刚;阮圣平;任洪文;宣丽将明胶涂覆在表面经过取向处理的带有ITO电极的玻璃基板上,以紫外灯为光源,通过光掩模法,使明胶在光场的引发下发生光化学反应,样品显影刻蚀处理后呈栅状,将液晶注入光栅盒中形成聚合物...
光刻胶是一种感光材料，在光的照射下发生溶解度的变化，可以通过曝光、显影及刻蚀等一系列步骤将掩膜板上的图形转移到基片上。.为了实现图形的精确转移，光刻胶的以下性能指标至关重要：.（1）分辨率.即在特定设备及工艺条件下光刻胶所能达到的最小...