摘要：非电量检测中,压力的检测量最大,所以压力传感器的也是使用最为广泛,技术更新最快的传感器.特别是硅桥式压阻压力传感器以其线性好,灵敏度高,体积小,便于集成等诸多优点,是目前使用最广泛的一种压力传感器.但是由于半导体材料的温度特性,硅压阻式压力传感器的输出信号会随着温度的...
西北工业大学硕士学位论文（学位研究生）Y85＂／349题目：压阻式压力传感器温度补偿的研究与实现学科专业：检测技术与自动化装置指导教师：杨建华2006年摘要压阻式压力传感器是利用半导体材料硅的压阻效应制成的传感器，具有灵敏度高，动态响应快...
1.本发明涉及传感器技术领域，特指一种硅压阻式压力传感器校准补偿方法。背景技术：2.mems传感器凭借其体积小、重量轻、能耗低、可高精度低成本批量生产等优点，在航空航天、汽车电子、工业自动化等领域均有广泛的应用空间。其中硅压阻式压力传感器是应用最普遍的压力传感器，但是以...
硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究,硅压阻式压力传感器,漂移,惠斯顿电桥,补偿,优化。微电子技术的发展促进了硅传感器的工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压...
压阻式压力传感器温度补偿的设计摘要：基于MAX1457实现了一种多路硅压阻式压力传感器温度补偿系统。MAX1457是一种专用传感器信号调理芯片。此芯片集成化程度较高,可以补偿硅压阻式压力传感器的温度误差和非线性误差。经调理后的综合误差不超过0.1
论文的主要内容如下：利用膜的应力形变等力学、电学知识、压阻效应、大（小）挠度理论、惠斯通电桥等相关知识设计了硅基压阻式压力传感器薄膜与电阻结构尺寸及布置方式。
最新扩散硅压阻式压力传感器实验模块.doc,实验二扩散硅压阻式压力传感器实验模块2.1实验目的：实验2.1.1：了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。工作原理：是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。
压阻式传感器就是基于压阻效应制成的，用于测量压力、加速度等值。硅压阻式传感器，除了灵敏度高这一优点外，还具有高分辨率，高响应频率可以测量低频加速度和直线加速度的优点，在很多方面得到了广泛的应用[20]。
压阻式传感器原理压阻式传感器piezoresistancetypetransducer是指利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。单晶硅材料在受到力的作用后，电阻率发生变化，通过测量电路就可得到正比于力变化的电信号输出。
提供实验六扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验文档免费下载，摘要:实验六扩散硅压阻式压力传感器的压力测量实验一、实验目的：二、实验仪器(略)三、实验原理在具有压阻效应的半导体材料上用扩散或离子注入法，形成4个阻值相等的电阻条。并将它们连接成惠斯通电桥，电桥电源端和输出...
硅压阻式压力微传感器的设计与制造工艺研究毕业论文.doc,硅压阻式压力微传感器的设计与制造工艺研究摘要:硅压阻式压力传感器是最早开始研究并实用化的微传感...
阅读量:7作者:朱目成,夏季,张立红,刘强展开摘要:对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析,并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析,给出了部分实验数据与理论分析.展...
但是MEMS压力传感器对环境的依赖度较高,必须考虑在严酷的使用环境下传感器独特的失效模式。本文基于硅压阻式MEMS压力传感器的结构和工作原理等信息,反推至芯片相关工艺参数,并设计针...
内容提示:第1期2012年1月机械设计与制造MachineryDesign&Manufacture103文章编号:1001—3997(2012)01-0103-03一种硅微压阻式压力传感器的研究+刘珍妮谭晓兰杨峻松(北方工业大...
硅压阻式压力传感器的设计与实验研究龚雄辉【摘要】:传感器技术是MEMS领域的一个重要分支,经过几十年的迅猛发展,传感器技术越来越成熟,并被广泛的应用到各行各业中。国外传...
进一步研制小体积高精度的微传感器,扩大其适用范围是未来的趋势。本文首先叙述了压阻式压力微传感器的原理和设计方法,然后针对硅压阻式压力微传感器的制造,...
硅压阻式压力传感器时漂研究文档格式:.pdf文档页数:4页文档大小:101.14K文档热度:文档分类:论文--期刊/会议论文文档标签:硅压阻式压力传感器时漂...
摘要:针对静压桩贯入模型试验,基于多晶硅材料的扩散硅膜片制成的硅压阻式传感器,用于静压模型桩贯入过程桩端阻力数据实时采集.试验结果表明,该种传感器适用于...
1.5课题来源及论文安排第17-19页2压力传感器芯片的设计第19-29页2.1压力传感器芯片输出计算第19-21页2.2压力传感器芯片受力分析及设计第21-24页2.3传感器芯片加...
7230硅压阻式压力传感器时漂研究.云南农业大学计算机科学系,昆明650201.齐齐哈尔科达敏感器件厂,哈尔滨161006)收稿日期:2004-09-02作者简介:黄晓因(1...